JPH0160529U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0160529U JPH0160529U JP15634987U JP15634987U JPH0160529U JP H0160529 U JPH0160529 U JP H0160529U JP 15634987 U JP15634987 U JP 15634987U JP 15634987 U JP15634987 U JP 15634987U JP H0160529 U JPH0160529 U JP H0160529U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- resistant
- insulating layer
- furnace
- heat insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Resistance Heating (AREA)
Description
第１図は本考案電気炉の一実施例の要部を示す
側断面図、第２図は第１図の―線断面図、第
３図は従来電気炉の一例の一部を示す側断面図、
第４図は第３図の―線断面図、第５図は従来
電気炉におけるコイル状発熱体素線の変形状態を
示す一部の断面図である。 １……本考案横形管状電気炉、２……コイル状
発熱体素線、３……コイルセパレータ、４……耐
熱断熱層、５……電気炉ケース、６……ライナ管
、８……長コイルセパレータ、９……硬質耐熱性
保持台、１１……上下移動機構（ボルト類）。
側断面図、第２図は第１図の―線断面図、第
３図は従来電気炉の一例の一部を示す側断面図、
第４図は第３図の―線断面図、第５図は従来
電気炉におけるコイル状発熱体素線の変形状態を
示す一部の断面図である。 １……本考案横形管状電気炉、２……コイル状
発熱体素線、３……コイルセパレータ、４……耐
熱断熱層、５……電気炉ケース、６……ライナ管
、８……長コイルセパレータ、９……硬質耐熱性
保持台、１１……上下移動機構（ボルト類）。
Claims (1)
- 電気炉ケースの内周に耐熱断熱層４を設け、こ
の耐熱断熱層４の内側にコイルセパレータ３によ
り支えられたコイル状発熱体素線２と更にその内
側にライナ管６を設けた横形管状電気炉において
、ライナ管６の両端部を上方の長コイルセパレー
タ８と下方の硬質耐熱性保持台９とで保持すると
共に、当該保持台９に上下移動機構１１を設けて
なる半導体熱処理用横形管状電気炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15634987U JPH0160529U (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15634987U JPH0160529U (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0160529U true JPH0160529U (ja) | 1989-04-17 |
Family
ID=31434812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15634987U Pending JPH0160529U (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0160529U (ja) |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP15634987U patent/JPH0160529U/ja active Pending