JPH0165869U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の液相成長装置の一実施例を示
す分解斜視図、第２図は同装置の一部を断面にし
た斜視図、第３図は本考案のボートの要部を示す
斜視図、第４図は第１図に示す装置を装置の収容
部において切断した断面図である。第５図は本考
案の液相成長装置の他の実施例を示す分解斜視図
、第６図は第５図に示す装置を装置の長手方向に
切断した断面図、第７図および第８図は従来の装
置を示すもので、夫々装置の長手方向に切断した
断面図である。 １ａ〜１ｃ……第１乃至第３ボート、２……溶
液溜、３……枠体、４ａ〜４ｃ……第１乃至第３
スペーサ、１０……収容部、１１……貯液部、２
０……成長用メルト、３０……基板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板を水平に収納する凹部が設けられたボ
   ートと、このボート上に配置され成長用メルトを
   収容する貯液部が設けられた溶液溜とを備え、上
   記ボートと上記溶液溜とを相対的に摺動自在に配
   設した液相成長装置において、側面を相互にずら
   して積層配置した複数のボートと、各ボートと夫
   々同一の幅で且つ夫々同一の深さに形成され上記
   溶液溜の貯液部から供給される成長用メルトが溜
   まる収容部とを備え、少なくとも液相成長時に上
   記ボートの凹部上に上記収容部が互いに重畳する
   位置に配置させたことを特徴とする液相成長装置
   。 (2) 上記収容部は、上記ボートの凹部上に設け
   られた溝部と、この溝部の両端に所定の高さに形
   成された側壁とで構成されたことを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項記載の液相成長装置
   。 (3) 上記収容部は、上記ボートの上面と、上記
   ボートに密接配置するスペーサに設けられた矩形
   状の穴部とで構成されたことを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第１項記載の液相成長装置。