JPH0168512U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0168512U JPH0168512U JP1987161676U JP16167687U JPH0168512U JP H0168512 U JPH0168512 U JP H0168512U JP 1987161676 U JP1987161676 U JP 1987161676U JP 16167687 U JP16167687 U JP 16167687U JP H0168512 U JPH0168512 U JP H0168512U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- objects
- adjustment device
- position adjustment
- reference voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
図は本考案の一実施例の略示図である。
１……取付物体、２……被取付物体、３……可
動ステージ、３ａ……ベース、３ｂ，３ｃ……可
動板、３ｄ……載置台、４……支持手段、５……
ステージ駆動手段、５ａ……電磁コイル、５ｂ…
…ワイヤ、５ｃ……鉄芯、５ｄ……電源、６……
圧力センサ、７……制御手段、７ａ……設定器、
７ｃ……減算回路、７ｄ……加算回路。
動ステージ、３ａ……ベース、３ｂ，３ｃ……可
動板、３ｄ……載置台、４……支持手段、５……
ステージ駆動手段、５ａ……電磁コイル、５ｂ…
…ワイヤ、５ｃ……鉄芯、５ｄ……電源、６……
圧力センサ、７……制御手段、７ａ……設定器、
７ｃ……減算回路、７ｄ……加算回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 取付物体を載置するステージと被取付物体
を支持する支持手段とを有し、上記ステージと支
持手段とが相対的に３次元に移動することができ
るようにした２物体間の取付位置調整装置におい
て、上記ステージと支持手段とを相対的に引き寄
せて上記取付物体と被取付物体とを密着させる駆
動手段と、上記取付物体と被取付物体との間の密
着圧力を検出する圧力検出手段と、その圧力検出
手段からの圧力信号により上記駆動手段の動作を
制御する制御手段とよりなることを特徴とする２
物体間の取付位置調整装置。 (2) 上記駆動手段が、電磁コイルと、そのコイ
ル内に可動に配置され上記電磁コイルの電磁力に
よつて動作して上記ステージと上記支持手段とを
相対的に引き寄せる鉄芯とを有する実用新案登録
請求の範囲第１項記載の２物体間の取付位置調整
装置。 (3) 上記制御手段が、設定値に応じた基準電圧
を出力する設定手段と、上記圧力検出手段からの
出力を増幅する増幅手段と、その増幅手段からの
出力電圧と上記基準電圧との差をとつて出力する
減算回路と、その減算回路からの出力電圧を基準
電圧に加えて上記駆動手段に出力する加算回路と
を有する実用新案登録請求の範囲第１項又は第２
項のいずれかの項に記載の２物体間の取付位置調
整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161676U JPH0168512U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161676U JPH0168512U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0168512U true JPH0168512U (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=31444827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987161676U Pending JPH0168512U (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0168512U (ja) |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP1987161676U patent/JPH0168512U/ja active Pending
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