JPH0170141U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0170141U
JPH0170141U JP1987165948U JP16594887U JPH0170141U JP H0170141 U JPH0170141 U JP H0170141U JP 1987165948 U JP1987165948 U JP 1987165948U JP 16594887 U JP16594887 U JP 16594887U JP H0170141 U JPH0170141 U JP H0170141U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capacitor
resistor
thin film
capacitance
resistance value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1987165948U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0317233Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP16594887U priority Critical patent/JPH0317233Y2/ja
Publication of JPH0170141U publication Critical patent/JPH0170141U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0317233Y2 publication Critical patent/JPH0317233Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案の例を示すもので、第１図は薄膜熱
伝導真空計の１例の電気回路構成を示す図、第２
図は他の例の電気回路構成を示す図である。 １，３，５……抵抗、２，４……コンデンサ、
７……パワーオペアンプ、３０……電流計、Ｂ…
…ウイーンブリツジ発振回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 第一の抵抗及び第一のコンデンサからなる直列
    回路と、第二の抵抗及び第二のコンデンサからな
    る並列回路と、抵抗―温度特性を有し被測定真空
    雰囲気中に置かれる薄膜真空センサと、第三の抵
    抗とがブリツジ接続され、前記直列回路と並列回
    路との接続点にはパワーオペアンプが接続されて
    ウイーンブリツジ発振回路を構成し、前期第一の
    抵抗の電気抵抗値Ｒ４及び前記第一のコンデンサ
    の静電容量Ｃ２と、前記第二の抵抗の電気抵抗値
    Ｒ３及び前記第二のコンデンサの静電容量Ｃ１と
    が、 （Ｒ３Ｃ１＋Ｒ３Ｃ２＋Ｒ４Ｃ２）／Ｒ３Ｃ２
    ≧５ となるように決められ、前記薄膜真空センサは前
    記ウイーンブリツジ発振回路における利得安定化
    素子をなし、前記ウイーンブリツジ発振回路の出
    力側に発振出力測定手段が設けられていることを
    特徴とする薄膜熱伝導真空計。
JP16594887U 1987-10-28 1987-10-28 Expired JPH0317233Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16594887U JPH0317233Y2 (ja) 1987-10-28 1987-10-28

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16594887U JPH0317233Y2 (ja) 1987-10-28 1987-10-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0170141U true JPH0170141U (ja) 1989-05-10
JPH0317233Y2 JPH0317233Y2 (ja) 1991-04-11

Family

ID=31452895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16594887U Expired JPH0317233Y2 (ja) 1987-10-28 1987-10-28

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0317233Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0317233Y2 (ja) 1991-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0170141U (ja)
JPS6335310U (ja)
JPH0312144U (ja)
JPH03115827U (ja)
JPH0158154U (ja)
JPS60183866U (ja) 風速検知装置
JPS61129142U (ja)
JPS6246364U (ja)
JPH0243680U (ja)
JPH01107930U (ja)
JPH0372335U (ja)
JPS6165348U (ja)
JPH0325148U (ja)
JPS62121525U (ja)
JPS62133142U (ja)
JPS6279126U (ja)
JPH047655U (ja)
JPH02128571U (ja)
JPS6148356U (ja)
JPH01117728U (ja)
JPS6367913U (ja)
JPS6059131U (ja) 圧力測定装置
JPH0335476U (ja)
JPS6347244U (ja)
JPS6371504U (ja)