JPH0171196U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0171196U JPH0171196U JP1987165746U JP16574687U JPH0171196U JP H0171196 U JPH0171196 U JP H0171196U JP 1987165746 U JP1987165746 U JP 1987165746U JP 16574687 U JP16574687 U JP 16574687U JP H0171196 U JPH0171196 U JP H0171196U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turbo
- casing
- water
- electric motor
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図はこの考案の他の実施例を示す水平方向断面
図、第３図は従来装置の断面図である。 図中、１１はステータフレーム、１１ａは冷却
用水路、１２，１３はフイルターである。なお、
各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
２図はこの考案の他の実施例を示す水平方向断面
図、第３図は従来装置の断面図である。 図中、１１はステータフレーム、１１ａは冷却
用水路、１２，１３はフイルターである。なお、
各図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- ケーシング内に軸方向に多段に設けられた固定
翼と、上記ケーシング内の軸心線上に位置し、電
動機により回転される翼車と、この翼車に設けら
れた多段の回転翼と、上記電動機を水冷する水路
とを備えたターボ分子ポンプにおいて、上記水路
にフイルターを備えたことを特徴とするターボ分
子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165746U JPH0171196U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165746U JPH0171196U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0171196U true JPH0171196U (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=31452511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165746U Pending JPH0171196U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0171196U (ja) |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP1987165746U patent/JPH0171196U/ja active Pending
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