JPH0171223U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0171223U JPH0171223U JP1987167679U JP16767987U JPH0171223U JP H0171223 U JPH0171223 U JP H0171223U JP 1987167679 U JP1987167679 U JP 1987167679U JP 16767987 U JP16767987 U JP 16767987U JP H0171223 U JPH0171223 U JP H0171223U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnet
- magnetic bearing
- sensor
- elastic member
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
図面は実施例を示し、第１図は吸振機構を搭載
したターボ分子ポンプの磁気軸受装置の断面図、
第２図は第１図の要部拡大図、第３図は一部変形
例を示す部分の拡大図である。 ２……回転軸（ロータシヤフト）、３……ケー
シング、３ａ……内周面、３ｂ……段部、５……
電磁石（上部ラジアルステータ）、６……電磁石
（下部ラジアルステータ）、６ａ……外周面、６
ｂ……上端面、６ｃ……外周溝、６ｄ……下端面
、７，８……ラジアルセンサ、９……スラストラ
ンナ、１０ａ，１０ｂ……電磁石（スラストステ
ータ）、１１……スラストセンサ、１４……弾性
部材（Ｏリング）、Ａ……空〓、１５……センサ
ホルダ、１６……スプリング、１７……ウエーブ
ワツシヤ。
したターボ分子ポンプの磁気軸受装置の断面図、
第２図は第１図の要部拡大図、第３図は一部変形
例を示す部分の拡大図である。 ２……回転軸（ロータシヤフト）、３……ケー
シング、３ａ……内周面、３ｂ……段部、５……
電磁石（上部ラジアルステータ）、６……電磁石
（下部ラジアルステータ）、６ａ……外周面、６
ｂ……上端面、６ｃ……外周溝、６ｄ……下端面
、７，８……ラジアルセンサ、９……スラストラ
ンナ、１０ａ，１０ｂ……電磁石（スラストステ
ータ）、１１……スラストセンサ、１４……弾性
部材（Ｏリング）、Ａ……空〓、１５……センサ
ホルダ、１６……スプリング、１７……ウエーブ
ワツシヤ。
Claims (1)
- センサで回転軸の位置を検出しつつ電磁石を制
御する能動形の磁気軸受において、前記電磁石を
弾性部材を介してケーシングに変位可能に保持さ
せたことを特徴とする磁気軸受の吸振機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167679U JPH0171223U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167679U JPH0171223U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0171223U true JPH0171223U (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=31456191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987167679U Pending JPH0171223U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0171223U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482396U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-17 | ||
| JPH04339197A (ja) * | 1991-05-15 | 1992-11-26 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987167679U patent/JPH0171223U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482396U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-17 | ||
| JPH04339197A (ja) * | 1991-05-15 | 1992-11-26 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |