JPH0176045U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0176045U JPH0176045U JP1987171478U JP17147887U JPH0176045U JP H0176045 U JPH0176045 U JP H0176045U JP 1987171478 U JP1987171478 U JP 1987171478U JP 17147887 U JP17147887 U JP 17147887U JP H0176045 U JPH0176045 U JP H0176045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- electrode
- electrostatic chuck
- attracted
- ring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図および第２図は本案装置の構造を示す概
略縦断面図、第３図は従来の静電チヤツクの構造
を示す概略縦断面図、第４図はプラズマ発生装置
の概略断面図、第５図および第６図は絶縁体に生
ずる温度分布を示す図、第７図は絶縁体の内部応
力分布を示す図である。 １…電極、２…絶縁体、３…端子、４…リング
。
略縦断面図、第３図は従来の静電チヤツクの構造
を示す概略縦断面図、第４図はプラズマ発生装置
の概略断面図、第５図および第６図は絶縁体に生
ずる温度分布を示す図、第７図は絶縁体の内部応
力分布を示す図である。 １…電極、２…絶縁体、３…端子、４…リング
。
Claims (1)
- 絶縁体の一表面近傍に電極を埋設し、被吸着物
と前記電極との間に電圧を印加し前記絶縁体の前
記一表面上に前記被吸着物を吸着すべくなした静
電チヤツクにおいて、前記絶縁体の、前記一表面
と相対する他表面側の周囲に焼嵌め等の締め嵌め
にて密接させたリングを具備することを特徴とす
る静電チヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987171478U JPH0176045U (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987171478U JPH0176045U (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0176045U true JPH0176045U (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=31463346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987171478U Pending JPH0176045U (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0176045U (ja) |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP1987171478U patent/JPH0176045U/ja active Pending