JPH0176208U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0176208U JPH0176208U JP1987172124U JP17212487U JPH0176208U JP H0176208 U JPH0176208 U JP H0176208U JP 1987172124 U JP1987172124 U JP 1987172124U JP 17212487 U JP17212487 U JP 17212487U JP H0176208 U JPH0176208 U JP H0176208U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- slits
- principal surface
- facing
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
第1図a,bは本考案の実施例を示し、第1図
aは側面図、第1図bは同図aの―′線断面
図、第2図a,bは共にvan der pau
w法を説明するための斜視図である。 11……半導体、12,13……第1、第2ホ
ルダ、14a〜14d,15a〜15d……スリ
ツト、18a〜18d……回転刃(切込手段)。
aは側面図、第1図bは同図aの―′線断面
図、第2図a,bは共にvan der pau
w法を説明するための斜視図である。 11……半導体、12,13……第1、第2ホ
ルダ、14a〜14d,15a〜15d……スリ
ツト、18a〜18d……回転刃(切込手段)。
Claims (1)
- 一主面に斯る主面の周辺より中央に向つて延在
する4つのスリツトが形成された第1ホルダ、該
第1ホルダの一主面との間で半導体を挾持するた
めの主面を有すると共に、該主面には上記第1ホ
ルダの各スリツトに対向する4つのスリツトが形
成された第2ホルダ、上記第1、第2ホルダの夫
々対向するスリツト同士からなる4つの連続空間
内に夫々一端が進入可能な4つの切込手段を備え
たことを特徴とする半導体加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172124U JPH0176208U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172124U JPH0176208U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0176208U true JPH0176208U (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=31464109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987172124U Pending JPH0176208U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0176208U (ja) |
-
1987
- 1987-11-11 JP JP1987172124U patent/JPH0176208U/ja active Pending