JPH0183468U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0183468U JPH0183468U JP1987176694U JP17669487U JPH0183468U JP H0183468 U JPH0183468 U JP H0183468U JP 1987176694 U JP1987176694 U JP 1987176694U JP 17669487 U JP17669487 U JP 17669487U JP H0183468 U JPH0183468 U JP H0183468U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- roller
- spiral grooves
- pitch
- coating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
第１図ａは本考案の第１の実施例の断面図、第
１図ｂはコーテイングローラの周面を示す正面図
、第２図は本考案の第２の実施例の断面図、第３
図は従来のレジスト塗布装置の断面図である。 １，２，７，１０…コーテイングローラ、３，
８，１１…ドクターローラ、４，９，１２…レジ
スト、５，１３…搬送ローラ、６，１４…被塗布
基板。
１図ｂはコーテイングローラの周面を示す正面図
、第２図は本考案の第２の実施例の断面図、第３
図は従来のレジスト塗布装置の断面図である。 １，２，７，１０…コーテイングローラ、３，
８，１１…ドクターローラ、４，９，１２…レジ
スト、５，１３…搬送ローラ、６，１４…被塗布
基板。
Claims (1)
- 一定ピツチのらせん溝を設けたコーテイングロ
ーラと、該コーテイングローラに接触したドクタ
ーローラとを有するフオトレジスト等の塗布装置
において、基板の搬送方向に沿つて前後に近接す
る少なくとも２本のコーテイングローラを有し、
該２本のコーテイングローラのらせん溝のピツチ
およびらせん方向を互いに異ならせたことを特徴
とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987176694U JPH0183468U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987176694U JPH0183468U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183468U true JPH0183468U (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=31468408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987176694U Pending JPH0183468U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0183468U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03280416A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | G T C:Kk | レジストパターンの形成方法 |
-
1987
- 1987-11-19 JP JP1987176694U patent/JPH0183468U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03280416A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | G T C:Kk | レジストパターンの形成方法 |