JPH0187541U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0187541U JPH0187541U JP18321387U JP18321387U JPH0187541U JP H0187541 U JPH0187541 U JP H0187541U JP 18321387 U JP18321387 U JP 18321387U JP 18321387 U JP18321387 U JP 18321387U JP H0187541 U JPH0187541 U JP H0187541U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- guide plate
- holding groove
- holding
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す治具本体の正
面図、第２図及び第３図は同じくフツクの出没状
態を示す一部の側面図である。 １……半導体ウエハー、２……ケース、３……
保持溝、４……ハンドリング治具、５……ガイド
板、６……フツク、７……ハンドル部、８……レ
バー、９……ストツパ、１０……ロツド、１１…
…連結片、１２……スプリング、１３……ガイド
、１４……ピン。
面図、第２図及び第３図は同じくフツクの出没状
態を示す一部の側面図である。 １……半導体ウエハー、２……ケース、３……
保持溝、４……ハンドリング治具、５……ガイド
板、６……フツク、７……ハンドル部、８……レ
バー、９……ストツパ、１０……ロツド、１１…
…連結片、１２……スプリング、１３……ガイド
、１４……ピン。
Claims (1)
- 半導体ウエハー等の周縁に摺動可能に係合する
上下方向に沿う保持溝を対向する一対の内面に所
定のピツチで並列形成したケースから前記ウエハ
ー等を取り出す際に使用されるハンドリング治具
であつて、対向する保持溝に側縁が摺動可能に係
合するガイド板と、該ガイド板が挿入された保持
溝に隣接する保持溝に保持された半導体ウエハー
の下端に下方から当接係合する突出位置と該半導
体ウエハーに干渉しない没入位置とに切換操作さ
れるよう前記ガイド板の下端部に取り付けた一対
のフツクと、前記ガイド板のハンドル部に取り付
けたフツクの操作手段と、前記ガイド板が挿入さ
れた保持溝に隣接する保持溝に保持された半導体
ウエハー等に上方から当接係合するストツパとを
備えてなる半導体ウエハー等のハンドリング治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18321387U JPH0187541U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18321387U JPH0187541U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187541U true JPH0187541U (ja) | 1989-06-09 |
Family
ID=31474644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18321387U Pending JPH0187541U (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0187541U (ja) |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP18321387U patent/JPH0187541U/ja active Pending
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