JPH0187855U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0187855U JPH0187855U JP1987185221U JP18522187U JPH0187855U JP H0187855 U JPH0187855 U JP H0187855U JP 1987185221 U JP1987185221 U JP 1987185221U JP 18522187 U JP18522187 U JP 18522187U JP H0187855 U JPH0187855 U JP H0187855U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier plate
- circumferential side
- groove
- polishing
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
Description
第１図ないし第３図はこの考案の一実施例を示
す図であつて、第１図はキヤリアプレートを示す
平面図、第２図は第１図の―線視断面図、第
３図は第１図の―線視断面図、第４図ないし
第６図は溝の断面形状の適用例を示す図であつて
、第４図は第１図における―線視断面図、第
５図は第１図における―線視断面図、第６図
は第１図における―線視断面図、第７図ない
し第１１図はそれぞれ本考案のさらに他の実施例
を示す図であつて、キヤリアプレートを示す平面
図、第１２図ないし第１４図はそれぞれ第１１図
における分岐溝の断面形状の適用例を示す図であ
つて、第１２図は第１１図における―線
視断面図、第１３図は第１１図における―
線視断面図、第１４図は第１１図における
―線視断面図、第１５図および第１６図は従
来のキヤリアプレートを示す図であつて、第１５
図はキヤリアプレートが用いられている立て型ラ
ツプ盤を示す側断面図、第１６図はキヤリアプレ
ートを示す平面図である。 ３……キヤリアプレート、４……キヤリアプレ
ート本体、５……長孔、７……キヤリアプレート
本体、８……長孔、９……溝、１１……溝、１２
……溝、１３……溝、１４……溝、１５……溝。
す図であつて、第１図はキヤリアプレートを示す
平面図、第２図は第１図の―線視断面図、第
３図は第１図の―線視断面図、第４図ないし
第６図は溝の断面形状の適用例を示す図であつて
、第４図は第１図における―線視断面図、第
５図は第１図における―線視断面図、第６図
は第１図における―線視断面図、第７図ない
し第１１図はそれぞれ本考案のさらに他の実施例
を示す図であつて、キヤリアプレートを示す平面
図、第１２図ないし第１４図はそれぞれ第１１図
における分岐溝の断面形状の適用例を示す図であ
つて、第１２図は第１１図における―線
視断面図、第１３図は第１１図における―
線視断面図、第１４図は第１１図における
―線視断面図、第１５図および第１６図は従
来のキヤリアプレートを示す図であつて、第１５
図はキヤリアプレートが用いられている立て型ラ
ツプ盤を示す側断面図、第１６図はキヤリアプレ
ートを示す平面図である。 ３……キヤリアプレート、４……キヤリアプレ
ート本体、５……長孔、７……キヤリアプレート
本体、８……長孔、９……溝、１１……溝、１２
……溝、１３……溝、１４……溝、１５……溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 円板状をなすキヤリアプレート本体に、そ
の一端面から他端面まで貫通し、かつ、長手方向
を半径方向に向けた長孔が形成されてなるキヤリ
アプレートにおいて、上記キヤリアプレート本体
の少なくとも一端面にキヤリアプレートの内周側
から外周側に延びる溝を形成してなることを特徴
とする丸棒研磨用キヤリアプレート。 (2) 上記溝の軸断面積は、上記キヤリアプレー
トの内周側よりも外周側の方を小さく設定されて
いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載の丸棒研磨用キヤリアプレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987185221U JPH0641798Y2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 丸棒研磨用キャリアプレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987185221U JPH0641798Y2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 丸棒研磨用キャリアプレート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187855U true JPH0187855U (ja) | 1989-06-09 |
| JPH0641798Y2 JPH0641798Y2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=31476547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987185221U Expired - Lifetime JPH0641798Y2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 丸棒研磨用キャリアプレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641798Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209876A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-18 | Toshiba Corp | ラツプ装置 |
| JPS62162463A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Hitachi Ltd | 両面研磨装置 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP1987185221U patent/JPH0641798Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209876A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-18 | Toshiba Corp | ラツプ装置 |
| JPS62162463A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Hitachi Ltd | 両面研磨装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641798Y2 (ja) | 1994-11-02 |