JPH0189732U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案に係るウエハ挿入管の縦断面
図である。第２図は、第１図の平面図である。第
３図は、従来例を表わすウエハ挿入管の縦断面図
である。第４図は、第３図の平面図である。 符号の説明、１……ウエハ挿入管、２……ウエ
ハ支持装置（ボート）、３……支柱、４……ウエ
ハ、５……ガス流入用の開口（ガス流入口）、６
……ガス流出用の開口（ガス流出口）、７……チ
ユーブ（外管）、８……内管、９……ガス導入口
、１０……ガス導出口、１１……ガス流通路、１
１ａ……ガス導入路、１１ｂ……ガス導出路、１
２……仕切部材、Ａ，Ａ′……ガス流の流れ方向
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上部もしくは下部のいずれか一方にガス流入用
   の開口部を、他方にガス流出用の開口部を有し、
   ウエハを略水平に保持するウエハ支持装置を囲繞
   するウエハ挿入管において、該ウエハ挿入管を外
   管と内管とからなる二重管構成とし、外管の上部
   もしくは下部のいずれか一方に前記ガス流入用の
   開口部を、他方にガス流出用の開口部を設け、か
   つ、内管の対向壁面所定箇所にガス導入用の開口
   とガス導出用の開口をそれぞれ設けると共に、前
   記外管と内管との間に限定される空間を前記ガス
   流入用の開口部を有するガス導入路と、前記ガス
   流出用の開口部を有するガス導出路とに遮断する
   仕切部材を設けてなることを特徴とするウエハ挿
   入管。