JPH0192137U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0192137U JPH0192137U JP18823287U JP18823287U JPH0192137U JP H0192137 U JPH0192137 U JP H0192137U JP 18823287 U JP18823287 U JP 18823287U JP 18823287 U JP18823287 U JP 18823287U JP H0192137 U JPH0192137 U JP H0192137U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- buffer plate
- side walls
- piece
- wafer
- elastic piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【図面の簡単な説明】
第１〜第４図はいずれも本考案の実施例に係わ
り、第１図は底部緩衝板を備えたウエーハ容器の
一実施態様を示す縦断面図、第２図は底部緩衝板
についての第１の実施例で、ａは平面図、ｂは側
面図、ｃはウエーハ挿入時の作用を示すａのＣ―
Ｃ矢視線に沿う部分拡大断面説明図であり、第３
図および第４図はそれぞれ底部緩衝板についての
第２および第３の実施例の平面図である。第５図
および第６図は従来例に係わり、第５図ａ，ｂは
それぞれ異なる態様のウエーハ容器の部分断面正
面図、第６図は底部緩衝板で、ａは第１の従来例
についての斜視図、ｂ，ｃはそれぞれ第２の従来
例についての平面図および側面図である。 主要な符号の説明、Ｗ……ウエーハ、Ｗａ……
（同）側縁、Ｗｂ……（同）上縁、Ｗｃ……（同
）下縁、１……ウエーハ容器、２……上蓋、３…
…容体、６……側壁、７……ひだ、８，９……弾
性部材、１０……底部、１１，２１，３１，４１
……底部緩衝板、２２，３２，４２……枠体、２
３，３３，４３……弾性片、２４，３４，４４…
…係止片、２５，２６，３５，３６，４５，４６
……側壁。
り、第１図は底部緩衝板を備えたウエーハ容器の
一実施態様を示す縦断面図、第２図は底部緩衝板
についての第１の実施例で、ａは平面図、ｂは側
面図、ｃはウエーハ挿入時の作用を示すａのＣ―
Ｃ矢視線に沿う部分拡大断面説明図であり、第３
図および第４図はそれぞれ底部緩衝板についての
第２および第３の実施例の平面図である。第５図
および第６図は従来例に係わり、第５図ａ，ｂは
それぞれ異なる態様のウエーハ容器の部分断面正
面図、第６図は底部緩衝板で、ａは第１の従来例
についての斜視図、ｂ，ｃはそれぞれ第２の従来
例についての平面図および側面図である。 主要な符号の説明、Ｗ……ウエーハ、Ｗａ……
（同）側縁、Ｗｂ……（同）上縁、Ｗｃ……（同
）下縁、１……ウエーハ容器、２……上蓋、３…
…容体、６……側壁、７……ひだ、８，９……弾
性部材、１０……底部、１１，２１，３１，４１
……底部緩衝板、２２，３２，４２……枠体、２
３，３３，４３……弾性片、２４，３４，４４…
…係止片、２５，２６，３５，３６，４５，４６
……側壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 両側壁部に各ウエーハを個別に収容する互い
に対称の多数のひだを備えると共に、凹状の底部
に各ウエーハを下方より弾性的に支持する底部緩
衝板を有する容体と、その上部開口縁を被覆し、
内部下面に各ウエーハの上縁を弾性的に抑止する
弾性部材を備えた上蓋とからなるウエーハ容器に
おいて、底部緩衝板が、長方形の枠体と、幅方向
の両側枠間に支架された多数の弾性片と、各弾性
片の中間部にあつてそれぞれのウエーハの下縁を
係止する係止片とから構成され、それぞれの係止
片が互いに対称の側面Ｍ字状を呈する１組の側壁
からなり、その一方の側壁が隣接する弾性片上の
係止片の他方の側壁と側面の重複する位置に隣接
して設けられていることを特徴とするウエーハ容
器の底部緩衝板。 ２ 係止片を構成する１組の側壁が、各弾性片の
中間点を介した対称の位置の両側に相対して設け
られ、各側壁が弾性片全体として平面千鳥状に配
設されていることを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第１項記載のウエーハ容器の底部緩衝板。 ３ 係止片を構成する１組の側壁が、各弾性片の
両側に対して設けられ、この組合せのそれぞれの
係止片が、互いに隣接する弾性片との間でその中
間点を介した対称の位置に交互に平面千鳥状に配
設されていることを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第１項記載のウエーハ容器の底部緩衝板。 ４ 係止片を構成する第１の側壁が、各弾性片の
一側の中間点を挾む対称の位置に、これに隣接す
る弾性片の第２の側壁を介して、偶数個配設され
、係止片を構成する第２の側壁が、各弾性片の他
側の中間点において、これに隣接する弾性片の偶
数個ある第１の側壁の間に、配設されていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のウエーハ容器の底部緩衝板。 ５ 係止片を構成する第１の側壁が、弾性片の一
側の中間点上とこれを介する対称の位置とに奇数
個設けられ、第２の側壁が、弾性片の他側の中間
点を挾む対称の位置に偶数個設けられ、前記それ
ぞれの側壁間に、それぞれが隣接する弾性片の第
２および第１の側壁を介設させていることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエ
ーハ容器の底部緩衝板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18823287U JPH0729640Y2 (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | ウェーハ容器の底部緩衝板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18823287U JPH0729640Y2 (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | ウェーハ容器の底部緩衝板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0192137U true JPH0192137U (ja) | 1989-06-16 |
| JPH0729640Y2 JPH0729640Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=31479338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18823287U Expired - Lifetime JPH0729640Y2 (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 | ウェーハ容器の底部緩衝板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729640Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06501668A (ja) * | 1991-03-08 | 1994-02-24 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | シッパ用ウェハ―コンテナ |
| JPH0672482A (ja) * | 1992-05-26 | 1994-03-15 | Empak Inc | 基板ウェファー懸架容器、基板ウェファー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入するためのクッション |
| WO2009131016A1 (ja) * | 2008-04-25 | 2009-10-29 | 信越ポリマー株式会社 | リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器 |
| JP2014093400A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハカセットの梱包体 |
-
1987
- 1987-12-10 JP JP18823287U patent/JPH0729640Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06501668A (ja) * | 1991-03-08 | 1994-02-24 | フルオロウェア・インコーポレーテッド | シッパ用ウェハ―コンテナ |
| JPH0672482A (ja) * | 1992-05-26 | 1994-03-15 | Empak Inc | 基板ウェファー懸架容器、基板ウェファー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入するためのクッション |
| WO2009131016A1 (ja) * | 2008-04-25 | 2009-10-29 | 信越ポリマー株式会社 | リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器 |
| US8118169B2 (en) | 2008-04-25 | 2012-02-21 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Retainer and substrate storage container provided with same retainer |
| JP5270668B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2013-08-21 | 信越ポリマー株式会社 | リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器 |
| JP2014093400A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ウェーハカセットの梱包体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0729640Y2 (ja) | 1995-07-05 |
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