JPH0192194A - 吸着器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＩＣ（集積回路）のウェハ、或いはバスルーム
の壁面等に使用されるタイルなど、平滑面を有する被吸
着部材を吸着する吸着器に関する。

（従来の技術） ＩＣ（ｍ積回路）のウェハ、或いはバスルームの壁面等
に使用されるタイルなど、平滑面を有する被吸着部材を
吸着する吸着器は知られている。

斯かる吸着器は例えば吸盤の先端側を前記被吸着部材の
平滑面に当接させるとともに該吸盤内の空気を抜いて内
部に負圧を生じさせ、該吸盤で前記被吸着部材を吸着す
るように構成される。

（発明が解決しようとする課題） ところで、このような構成の吸着器では被吸着部材の吸
着後、吸盤内に空気を送ることで該被吸着部材を吸盤か
ら解放するが、吸盤内に空気を送っても吸盤内にはなお
若干の吸着力が残るため、被吸着部材の解放が不確実に
なる場合があり、これはＩＣのウェハ等、軽量の被吸着
部材には特に顕著である。

本発明は斯る従来の事情に鑑み成されたもので、その目
的とする処は被吸着部材を確実に吸盤から解放できるよ
うにした吸着器を提供するにある。

（課題を解決するための手段） 前記目的を達成するため本発明は吸盤１７ｂの先端側を
被吸着部材２５の平滑面に当接させるとともに該吸盤１
７ｂ内を負正にして被吸着部材２５を吸着する吸着器に
おいて、前記被吸着部材２５の吸着方向とは逆方向に被
吸着部材２５を付勢する付勢手段５０前記吸着器１７内
を設けたことを特徴とする。

（作用） 被吸着部材の吸着方向とは逆方向に被吸着部材を付勢す
る付勢手段を設けたので、被吸着部材の解放時に該付勢
手段により被吸着部材が押し出されることになり、これ
により被吸着部材の解放を確実にすることができる。

（実施例） 以下に本発明に斯かる吸着器をタイルの圧着装置に適応
した場合について述べる。

尚１本実施例では被吸着部材をタイルとし、吸着器をタ
イルの圧着装置に取付けた場合について述べるが、本発
明はこれに限定されず、被吸着部材はＩＣ（集積回路）
のウェハ等、平滑面を有する部材であれば、その適用範
囲に含まれることは勿論である。

第１図はタイルの圧着装置の平面図、第２図は同正面図
、第３図は同側面図（第１図■矢視図）である。

１はタイルの圧着装置の本体で、脚３，３上端には左右
に延出する横フレーム５を設け、この横フレーム５は第
１図に示すように本体ｌの前後に２本横設する。又脚３
．３の上部付近にはフレーム７を架設し、横フレーム５
と脚３の下部間には補強フレーム９を設け、脚３，３の
下部間には補強フレーム１１を架設する。

横フレーム５上面には支持台１３を、又フレーム７上面
には支持台１５を夫々設け、支持台１３には縦横に規則
正しく本発明の吸着器１７・・・を配設し、又、支持台
１５には前記吸着器１７・・・と同数の圧着シリンダー
１９を吸着器１７の位置に夫々対応させて配設する。更
に第１図で破線で、又第２図、第３図に実線で示すよう
に圧着シリンダー１９・・・の四隅には昇降用シリンダ
ー２２を配設する。前記圧着シリンダー１９に上下摺動
自在に取付けられるピストン１９ａの上端には第３図に
示すようにゴム等の弾性体からなる当接部１９ｂを固着
し、昇降用シリンダー２２のピストン２２ａ上端にもピ
ストン１９ａ同様の当接部２２ｂを固着する。３０は支
持台１３に立設した壁部である。尚、支持台１３は第４
図に示すように二重構造となっている。

前記横フレーム５の一方側（本実施例では第２図の左側
）には第１のテーブル２１を、又、横フレーム５の他方
側（第２図の右側）には第２のテーブル２３を設け、こ
れら第１のテーブル２１と第２のテーブル２３は横フレ
ーム５に付設したレール２９に係合しており、所定手段
によりレール２９を移動して本体ｌ内に入り、圧着シリ
ンダー１９・・・と吸着器１７・・・との間に位置でき
るようになっている。

°第６図は第１のテーブル２１が圧着シリンダー１９と
吸着器１７・・・との間に位置した状態での第１図Ｖｌ
−Ｖｌ断面図を示し、第８図は第２のテーブル２３が圧
着シリンダー１９・・・と吸着器１７との間に位置した
状態での第１図７ｌ−ＶＩ断面図を示している。

第１テーブル２１及び第２のテーブル２３には夫々その
中央部分に開口部２１ａ、２３ａを形成し、第１のテー
ブル２１の開口部２１ａ上面にはこの開口部２１ａを塞
ぐように第１の基台２４を取付け、第１の基台２４上面
にはタイル２５を整列せしめる整列枠２７を設ける。又
、第２のテーブル２３の開口部２３ａ周縁上面には上面
にタイルパネル４１を載置する基台２６を取付ける。

尚、タイルパネル４１と基台２６は予め一体的に結合さ
れているも任意である。

ところで前記第１テーブル２１が圧着シリンダー１９・
・・と吸着器１７・・・との間に位置する際には第６図
に示すように整列枠２７に整列させたタイル２５・・・
は１つのタイル２５に対して上方に１つの吸着器１７が
臨むようになっており、又、１つのタイル２５の下方に
は第１の基台２４を介して１つの圧着シリンダ１９が夫
々対応するようになっている。更に第１のテーブル２１
の四隅には昇降用シリンダー２２が臨むようになってい
る。同じく第２のテーブル２３が圧着シリンダー１９と
吸着器１７との間に位置した場合にも第８図に示すよう
に第２のテーブル２３の四隅に昇降用シリンダー２２が
臨むようになっている。

第４図は吸着器１７及びこの取付部分近傍の縦断面図で
あり、吸着器１７の基体１７ａは支持台１３に設けた孔
部１３ａに取付板３１を介して取り付けられ、基体１７
ａの下部には吸着パット１７ｂを取り付ける。基体１７
ａの中央部には孔部１７ｃ及びこれをに続く小径の孔部
１７ｅを形成し、孔部１７ｃ内にはバルブ１７ｄを配設
する。バルブ１７ｄは大径部１７ｄｌ、中径部１７ｄ２
゜小径部１７ｄ３から成り、小径部１７ｄ３先端には係
合部１７ｄ４を形成し、係合部１７ｄ４先端には下方へ
延出する検出ピン１７ｄ５を取付け、該検出ピン１７ｄ
５は孔部１７ｅ内を所定隙間を有して挿通し、該検出ピ
ン１７ｄ５先端は吸着パラ）１７ｂ下縁より若干突出す
る。又小径部１７ｄ３の外周にはＯリング１７ｇを嵌装
する。孔部１７ｃ上部に固着したストッパー３３の下方
にはプレート３４を設け、プレート３４とバルブ１７ｄ
間にはスプリング３５を縮装し、該スプリング３５にて
常にバルブ１７ｄを下方に、即ちタイル２５の吸着方向
とは逆方向に付勢し、これにより通常時には係合部１７
ｄ４が孔部１７ｃ下部に係合してこれを塞ぐ、１７ｆは
基体１７ａに設けたエア流路であり、一方で前記孔部１
７ｃに連通ずるとともに他方で図示しない真空ポンプに
連通ずる。３７は支持台１３下面に固着され、第１のテ
ーブル２１を上昇させた際にタイル２５・・・表面にそ
の下面３７ａが当接し、タイル２５の表面を面一に揃え
るとともにタイル２５の横方向のずれを防止するゴム等
の材質から成る基準部材である０以上のバルブ１７ｄ、
検出ピン１７ｄ５、スプリング３５等により付勢手段５
０を構成することは勿論である。

尚、スプリング３５の強さは吸着器１７の吸着力よりも
小さいものとする。

吸着器１７でタイル２５を吸着するには次のようにする
。

先ず最初に第１のテーブル２１を昇降用シリンダー２２
のピストン２２ａを上動させて押し上げていき、第４図
に示すようにタイル２５の表面をビン１７ｄ５に当接さ
せ、更に、第１のテーブル２１を最上昇位置まで押し上
げて第５図に示すようにタイル２５表面を吸着パラ）１
７ｂに当接させる。この状態では検出ピン１７ｄ５がス
プリング３５の弾力に抗して持ち上げられ、バルブ１７
ｄが上方へ移動し、係合部１７ｄ４が孔部１７ｃ下部か
ら離反し、エア流路１７ｆは孔部１７ｃ、孔部１７ｅを
介して吸着パラ）１７ｂ内に連通ずる。

次に真空ポンプを作動させ、吸着パット１７　ｂ内の空
気を孔部１７ｅ、孔部１７ｃ、及びエア流路１７ｆを介
して抜き、吸着パラ）１７ｂ内を真空にして吸着パラ）
１７ｂでタイル２５を吸着する。そして最後にピストン
２２ａを下動させて第１のテーブル２１を下降させる。

一部タイル２５を吸着器１７から解放させるにはタイル
２５を吸着した状態で真空ポンプの作動を市め、吸着パ
ラ）１７ｂ内に空気を入れてタイル２５を吸着パラ）１
７ｂから解放させる。この際、ビン１７ｄ５はバルブ１
７ｄを介してスプリング３５により下方に付勢されてい
るのでタイル２５の解放時にこの検出ピン１７ｄ５はタ
イル２５を下方へ押し出す作用を果し、タイル２５の解
放をより一層確実且つ容易にする。

ところでタイル２５が整列枠２７の一部にａ置されてい
ない場合このまま第１テーブル２１を持ち上げるとタイ
ル２５の載置されていない部分の吸着器１７はタイル２
５に当接しないので吸着パラ）１７ｂは開放された状態
となりこのまま真空ポンプを作動させると、吸着パラ）
１７ｂがら空気がエア流路１７ｆに入り込んでしまいこ
れが他の吸着器１７に悪影響を及ぼす等の不具合を生じ
る。しかし本実施例ではこのタイル２５のない部分を検
出し、それに相当する吸着器１７のエア流路を閉じるこ
とでこの不具合を解消している。即ちタイル２５を載置
していない場合、第１のテーブル２１を最上昇位置まで
上昇させても検出ピン１７ｄ５は第１の基台２４に触れ
ず、従って検出ピン１７ｄ５は持ち上げられないのであ
る。このためにバルブ１７ｄは上昇せず、係合部１７ｄ
４が孔部１７ｃ下部に係合してこれを塞ぎ、エア流路１
７ｆを閉じるのである。

次にタイルの圧着方法について述べる。

先ず、第１のテーブル２１と第２のテーブル２３を第２
図に示すように本体ｌの左右両側に夫々位置させ、第１
のテーブル２１七面に取付けた第１の一基台２４の整列
枠２７・・・に複数のタイル２５・・・をその表面を上
にして整列させ、第２のテーブル２３上面に取付けた第
２の基台２６には上面に接着剤を塗布したタイルパネル
４１を上面を上にしてａ置する。

次に第１のテーブル２１を本体ｌ内へ移動させ、第６図
に示すように第１のテーブル２１を圧着シリンダー１９
と吸着器１７の間に位置させる。この状態で昇降用シリ
ンダー２２のピストン２２ａを１動させ第１のテーブル
２１を押し上げ、第７図に示すようにタイル２５を吸着
器１７の吸着パラ）　１７ｂに押し当てる。そして、真
空ポンプを作動させ、吸着パラ）１７ｂにタイル２５を
吸着せしめる。この際１つの吸着器１７が１つのタイル
２５を吸着し、複数のタイル２５・・・は整列枠２７に
整列した状態のまま吸着器１７・・・に吸着されること
となる。

次にピストン２２ａを下動させて第１のテーブル２１を
下動させるとともに該第１のテーブル２１を元位置即ち
本体ｌの一方側へ戻し、続いて第８図に示すように第２
のテーブル２３を本体１内へ移動させ、該第２のテーブ
ル２３を圧着シリンダー１９と吸着器１７の間に位置さ
せる。そしてこの状態で昇降用シリンダー２２を上動さ
せて第２のテーブル２３を押し上げ、第９図に示すよう
に接着剤を塗布したタイルパネル４１の上面をタイル２
５・・・の下面に押し当てタイル２５・・・下面とタイ
ルパネル４１上面とを接触させる。この際タイル２５の
表面は基準部材３７の下面３７ａに当接する。

次に圧着シリンダー１９のピストン１９ａを上昇させ、
第１θ図に示すようにタイルパネル４１を下方から上方
へ押してタイル２５・・・表面を基準部材３７の下面３
７ａに当接させつつタイルパネル４１をタイル２５・・
・に圧着させ、タイルパネル４１とタイル２５・・・と
を接着させる。

ところでタイル２５・・・とタイルパネル４１との接着
後、タイル２５を吸着器１７から解放するが、これは前
述の状態から真空ポンプの作動を停止して吸着バット１
７ｂ内に空気を入れ１次に圧着シリンダー１９・・・及
び昇降用シリンダー２２を下降させタイル２５・・・及
びこれに接着したタイルパネル４１を吸着器１７から離
反させる。この際、前述のように検出ピン１７ｄ５がタ
イル２５を下方へ押し出すのでタイル２５・・・を吸着
器１７から確実、且つ容易に解放することができる。

以上、木実施例では被吸着部材をタイルとした場合につ
いて述べたが、初めに述べたように被吸着部材はタイル
に限定されるものではなく、例えばＩＣ（集積回路）の
ウェハ等でも良い、そして、この場合ＩＣのウェハは軽
量で吸着器からの解放が容易でないため、本発明の効果
が一層顕著に現れる。

（発明の効果） 以上述べたように本発明によれば被吸着部材の吸着方向
とは逆方向に被吸着部材を付勢する付勢手段を吸着器内
に設けたので、被吸着部材の解放時に該付勢手段により
被吸着部材が押し出されることになり、これにより被吸
着部材の解放を確実にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はタイルの圧着装置の平面図、第２図は回正面図
、第３図は同側面図（第１図ｍ矢視図）、第４図及び第
５図は吸着器及びその取付部近傍の縦断面図、第６図乃
至第１θ図は第１図ＶＩ−ＶＩ断面におけるタイルの圧
着装置の作動説明図である。 尚、図面中、１７ｂは吸盤、２５は被吸着部材、５０は
付勢手段である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 吸盤の先端側を被吸着部材の平滑面に当接させるととも
   に該吸盤内を負圧にして被吸着部材を吸着する吸着器に
   おいて、 前記被吸着部材の吸着方向とは逆方向に被吸着部材を付
   勢する付勢手段を前記吸着器内に設けたことを特徴とす
   る吸着器。