JPH0192607A - タンク板検査装置 - Google Patents
タンク板検査装置Info
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- JPH0192607A JPH0192607A JP62109653A JP10965387A JPH0192607A JP H0192607 A JPH0192607 A JP H0192607A JP 62109653 A JP62109653 A JP 62109653A JP 10965387 A JP10965387 A JP 10965387A JP H0192607 A JPH0192607 A JP H0192607A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、石油製品、ＬＮＧ、化学薬品等を貯蔵するタ
ンクの底板、側板等の板厚状態を検査するタンク板検査
装置に関する。
ンクの底板、側板等の板厚状態を検査するタンク板検査
装置に関する。
［従来の技術］
タンクの底板、側板等は腐食等の原因で板厚が薄くなる
と、内容物の漏洩を生ずるおそれがある。このため、内
容物によっては、法令等により、定期的な板厚検査が義
務づけられている。
と、内容物の漏洩を生ずるおそれがある。このため、内
容物によっては、法令等により、定期的な板厚検査が義
務づけられている。
従来、タンク板検査装置として、タンク板の各部に超音
波を発生させ、該超音波がタンク板の板厚内を伝播する
時間を測定することにより、タンク板の板厚を測定する
ものが採用されている。このタンク板検査装置は、タン
ク板に超音波を発生させる超音波発生器と、タンク板の
板厚内を伝播した超音波を検出する超音波検出器とを有
して構成される。
波を発生させ、該超音波がタンク板の板厚内を伝播する
時間を測定することにより、タンク板の板厚を測定する
ものが採用されている。このタンク板検査装置は、タン
ク板に超音波を発生させる超音波発生器と、タンク板の
板厚内を伝播した超音波を検出する超音波検出器とを有
して構成される。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上記従来のタンク板検査装置は、超音波
発生器の発信端をタンク板の表面に接触させ、かつ超音
波検出器の受信端をタンク板の表面に接触させる接触式
である。このため、■超音波を被検体内に効率よく伝達
させるために水等の接触媒質が必要であり、この接触媒
質の後処理も必要となる。また、■被検体の表面の凹凸
が測定結果に影響するため、表面の凹凸除去およびみが
き等の測定面平滑化の前処理が必要となる。
発生器の発信端をタンク板の表面に接触させ、かつ超音
波検出器の受信端をタンク板の表面に接触させる接触式
である。このため、■超音波を被検体内に効率よく伝達
させるために水等の接触媒質が必要であり、この接触媒
質の後処理も必要となる。また、■被検体の表面の凹凸
が測定結果に影響するため、表面の凹凸除去およびみが
き等の測定面平滑化の前処理が必要となる。
本発明は、簡単かつ円滑にタンク板の板厚状態を検査可
能とすることを目的とする。
能とすることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、タンク板の各部に超音波を発生させ、該超音
波がタンク板の板厚内を伝播する時間を測定することに
より、タンク板の板厚を測定するタンク板検査装置にお
いて、タンク板に非接触状態で超音波を発生させる超音
波発生器と、タンク板の板厚内を伝播した超音波を非接
触状態で検出する超音波検出器とを有してなるようにし
たものである。
波がタンク板の板厚内を伝播する時間を測定することに
より、タンク板の板厚を測定するタンク板検査装置にお
いて、タンク板に非接触状態で超音波を発生させる超音
波発生器と、タンク板の板厚内を伝播した超音波を非接
触状態で検出する超音波検出器とを有してなるようにし
たものである。
［作用］
本発明のタンク板検査装置にあっては、超音波発生器に
より非接触にてタンク板の各部に超音波を発生させ、タ
ンク板の板厚内を伝播した超音波を超音波検出器により
非接触にて検出し、これにより超音波がタンク板の板厚
内を伝播する時間を測定し、既知のタンク板内における
超音波伝播速度を用いることにより、タンク板の板厚を
測定することになる。
より非接触にてタンク板の各部に超音波を発生させ、タ
ンク板の板厚内を伝播した超音波を超音波検出器により
非接触にて検出し、これにより超音波がタンク板の板厚
内を伝播する時間を測定し、既知のタンク板内における
超音波伝播速度を用いることにより、タンク板の板厚を
測定することになる。
ここで、超音波発生器と超音波検出器は非接触型である
から、■接触媒質が不要であり、■被検体の表面の凹凸
を事前に平滑化する必要もなく、簡単かつ円滑に板厚状
態を検査できる。
から、■接触媒質が不要であり、■被検体の表面の凹凸
を事前に平滑化する必要もなく、簡単かつ円滑に板厚状
態を検査できる。
［実施例］
第１図は本発明の第１実施例に係る検査装置を示す模式
図、第２図は本発明の板厚測定原理を示す模式図、第３
図は超音波検出器の検出原理を示す模式図、第４図は超
音波検出器の他の検出原理を示す模式図である。
図、第２図は本発明の板厚測定原理を示す模式図、第３
図は超音波検出器の検出原理を示す模式図、第４図は超
音波検出器の他の検出原理を示す模式図である。
検査装置１０は、第１図に示すようにケーシング１１に
設けられる車輪１２Ａ、１２Ｂにてタンク底板１の表面
を自走できる。検査装置１０は、ケーシング１１の内部
に、超音波発生用レーザー（超音波発生器）１３、超音
波検出器１４．データ解析／記憶回路１５、制御回路１
６、電源回路１７、車輪駆動用モータ１８を内蔵してい
る。
設けられる車輪１２Ａ、１２Ｂにてタンク底板１の表面
を自走できる。検査装置１０は、ケーシング１１の内部
に、超音波発生用レーザー（超音波発生器）１３、超音
波検出器１４．データ解析／記憶回路１５、制御回路１
６、電源回路１７、車輪駆動用モータ１８を内蔵してい
る。
１９Ａ−１９Ｇは給電、信号伝送等のためのケー・プル
である。
である。
検査装置１０の板厚測定原理は以下の如くである（第２
図参照）。
図参照）。
（Ａ）超音波発生用レーザー１３からのレーザー光Ｌ１
を被検体としてのタンク底板１の表面に照射することに
より、タンク底板１の表面に超音波を発生させる。超音
波発生のメカニズムは、■レーザー光の放射圧、■物質
表面に生ずる熱応力、■物質蒸発の力のそれぞれによる
。検査装置１０は、超音波発生用レーザー１３のレーザ
ー光軸近くに設けた受光素子の信号、すなわちレーザー
照射時刻信号をデータ解析／記憶回路１５に伝える。
を被検体としてのタンク底板１の表面に照射することに
より、タンク底板１の表面に超音波を発生させる。超音
波発生のメカニズムは、■レーザー光の放射圧、■物質
表面に生ずる熱応力、■物質蒸発の力のそれぞれによる
。検査装置１０は、超音波発生用レーザー１３のレーザ
ー光軸近くに設けた受光素子の信号、すなわちレーザー
照射時刻信号をデータ解析／記憶回路１５に伝える。
（Ｂ）上記（Ａ）にてタンク底板１の表面に発生した超
音波は、板厚内部を伝播し、タンク底板１の裏面で反射
し、再び表面に戻る。検査装置１ｏは、上記タンク底板
１の表面に戻ってくる超音波（縦波）を超音波検出器１
４によりレーザー光Ｌ２を介して検出する。検査装置１
０は、超音波検出器１４の上記検出情報をデータ解析／
記憶回路１５に伝える。
音波は、板厚内部を伝播し、タンク底板１の裏面で反射
し、再び表面に戻る。検査装置１ｏは、上記タンク底板
１の表面に戻ってくる超音波（縦波）を超音波検出器１
４によりレーザー光Ｌ２を介して検出する。検査装置１
０は、超音波検出器１４の上記検出情報をデータ解析／
記憶回路１５に伝える。
（Ｃ）データ解析／記憶回路１５は、レーザー照射時刻
を基準として、超音波検出器１４にて縦波を検出した時
刻ｔｏを測定する。ここで、被検体としてのタンク底板
１の内部における縦波伝播速度（音速）Ｃは車前に知得
されている。したがって、タンク底板１の板厚はＣ−ｔ
ｏ／２により算出され、データ解析／記憶回路１５に蓄
えられる。なお、縦波は、タンク底板１の表面と裏面を
減衰してなくなるまで往復をくり返すので、その縦波の
面間間隔によってもタンク底板１の板厚を検出できる。
を基準として、超音波検出器１４にて縦波を検出した時
刻ｔｏを測定する。ここで、被検体としてのタンク底板
１の内部における縦波伝播速度（音速）Ｃは車前に知得
されている。したがって、タンク底板１の板厚はＣ−ｔ
ｏ／２により算出され、データ解析／記憶回路１５に蓄
えられる。なお、縦波は、タンク底板１の表面と裏面を
減衰してなくなるまで往復をくり返すので、その縦波の
面間間隔によってもタンク底板１の板厚を検出できる。
（Ｄ）検査装置１０は、制御回路１６が発するモータ駆
動信号にて車輪駆動用モータ１８を駆動制御するととも
に、該モータ駆動信号をデータ解析／記憶回路１５に伝
える。これにより、検査装置１０は、タンク底板ｌの各
部の位置情報を上記（Ｃ）の板厚情報とともにデータ解
析／記憶回路１５に蓄え、タンク底板ｌの各部の板厚を
測定可能とする。
動信号にて車輪駆動用モータ１８を駆動制御するととも
に、該モータ駆動信号をデータ解析／記憶回路１５に伝
える。これにより、検査装置１０は、タンク底板ｌの各
部の位置情報を上記（Ｃ）の板厚情報とともにデータ解
析／記憶回路１５に蓄え、タンク底板ｌの各部の板厚を
測定可能とする。
なお、超音波発生用レーザー１３としては、ジャイアン
トパルスレーザ−（例えばＮｄ：ＹＡＧレーザ−、Ｑス
イッチ付、出力０．０５Ｊ以下）が用いられる。
トパルスレーザ−（例えばＮｄ：ＹＡＧレーザ−、Ｑス
イッチ付、出力０．０５Ｊ以下）が用いられる。
また、超音波検出器１４としては、スタビライズドマイ
ケルソン干渉方式（第３図参照）もしくはヘテロダイン
干渉方式（第４図参照）等のレーザー干渉法によるもの
が用いられる。
ケルソン干渉方式（第３図参照）もしくはヘテロダイン
干渉方式（第４図参照）等のレーザー干渉法によるもの
が用いられる。
スタビライズドマイケルソン干渉方式について説明する
。レーザー２１（例えばＨｅ −Ｎ ｅ レーザー、出
力１０ｍＷ）からのレーザー光はレンズ２２Ａ、２２Ｂ
、アパッチャ−２３Ａを通過することにより、該レーザ
ー光のノイズ低減、およびコヒーレント性を改善され、
ビームスプリッタ−２４に送られる。レーザー光はビー
ムスプリッタ−２４で２つのビームに分けられ、１つは
ピエゾ素子２５の表面に取付けられている反射鏡２６で
反射されビームスプリッタ−２４に戻る。もう１つはタ
ンク底板１の測定面で反射されビームスプリッタ−２４
に戻る。この２つのビームは互いに合わさり干渉縞を作
り、この干渉縞を作ったビームの一部がアパッチャー２
３Ｂを通過して光検出器２７に送られる。すなわち、タ
ンク底板１の表面における超音波による微小変位が干渉
縞の移動変化となり光検出器２７でその変化を捕えるこ
とができる。光検出器２７の出力信号は信号増巾器２８
で増ｉ１され前述のデータ解析／記憶回路１５へ送られ
る。信号増巾器２８からの信号の一部はローパスフィル
ター２９を通ってピエゾ素子２５に送られ、ピエゾ素子
２５を駆動する。これにより、外部から伝達される低周
波振動、測定器自身が発生する低周波振動、大気のゆら
ぎによるレーザービームの光路の変化が除去され、レー
ザー１３によって発生する高周波の超音波（約ＩＭＨｚ
以上）を検出することができる。なお、２２０〜２２Ｅ
はレンズである。
。レーザー２１（例えばＨｅ −Ｎ ｅ レーザー、出
力１０ｍＷ）からのレーザー光はレンズ２２Ａ、２２Ｂ
、アパッチャ−２３Ａを通過することにより、該レーザ
ー光のノイズ低減、およびコヒーレント性を改善され、
ビームスプリッタ−２４に送られる。レーザー光はビー
ムスプリッタ−２４で２つのビームに分けられ、１つは
ピエゾ素子２５の表面に取付けられている反射鏡２６で
反射されビームスプリッタ−２４に戻る。もう１つはタ
ンク底板１の測定面で反射されビームスプリッタ−２４
に戻る。この２つのビームは互いに合わさり干渉縞を作
り、この干渉縞を作ったビームの一部がアパッチャー２
３Ｂを通過して光検出器２７に送られる。すなわち、タ
ンク底板１の表面における超音波による微小変位が干渉
縞の移動変化となり光検出器２７でその変化を捕えるこ
とができる。光検出器２７の出力信号は信号増巾器２８
で増ｉ１され前述のデータ解析／記憶回路１５へ送られ
る。信号増巾器２８からの信号の一部はローパスフィル
ター２９を通ってピエゾ素子２５に送られ、ピエゾ素子
２５を駆動する。これにより、外部から伝達される低周
波振動、測定器自身が発生する低周波振動、大気のゆら
ぎによるレーザービームの光路の変化が除去され、レー
ザー１３によって発生する高周波の超音波（約ＩＭＨｚ
以上）を検出することができる。なお、２２０〜２２Ｅ
はレンズである。
ヘテロライン干渉方式について説明する。レーザー３１
（例えばＨｅ−Ｎｅレーザー、出力１０ｍＷ）からのレ
ーザー光（周波数ｆＯ）はブラッグセル３２に送られる
。ブラッグセル３２におけるセル物質内の音波の周波数
をｆｓとする。ブラッグセル３２からのビームは周波数
変化なしに直進するビーム（周波数ｆＯ）と回折するビ
ーム（周波数ｆＯ−ｆｓ）にわかれる。直進するビーム
はタンク底板１の測定面で反射されブラッグセル３２に
戻る。回折したビームは反射鏡３３Ａ、３３Ｂで反射さ
れ、ブラッグセル３２に戻る。タンク底板１の測定面で
反射されたビームはブラッグセル３２で回折され周波数
ｆｏ＋ｆｓとなり光検出器３４に送られる。また、反射
鏡３３Ａ、３３Ｂで反射されたビームはブラッグセル３
２を直進して周波数ｆＯ−ｆｓで光検出器３４へ送られ
る。タンク底板１の測定面が超音波により振動すると、
ドツプラーシフトにより周波数はｆＯ＋ｆｓ ＋ｆｍと
なる。したがって、光検出器データ解析／記憶回路１５
に送られる。これによって超音波が検出される。なお、
３５は発振回路、３６はレンズである。
（例えばＨｅ−Ｎｅレーザー、出力１０ｍＷ）からのレ
ーザー光（周波数ｆＯ）はブラッグセル３２に送られる
。ブラッグセル３２におけるセル物質内の音波の周波数
をｆｓとする。ブラッグセル３２からのビームは周波数
変化なしに直進するビーム（周波数ｆＯ）と回折するビ
ーム（周波数ｆＯ−ｆｓ）にわかれる。直進するビーム
はタンク底板１の測定面で反射されブラッグセル３２に
戻る。回折したビームは反射鏡３３Ａ、３３Ｂで反射さ
れ、ブラッグセル３２に戻る。タンク底板１の測定面で
反射されたビームはブラッグセル３２で回折され周波数
ｆｏ＋ｆｓとなり光検出器３４に送られる。また、反射
鏡３３Ａ、３３Ｂで反射されたビームはブラッグセル３
２を直進して周波数ｆＯ−ｆｓで光検出器３４へ送られ
る。タンク底板１の測定面が超音波により振動すると、
ドツプラーシフトにより周波数はｆＯ＋ｆｓ ＋ｆｍと
なる。したがって、光検出器データ解析／記憶回路１５
に送られる。これによって超音波が検出される。なお、
３５は発振回路、３６はレンズである。
なお、超音波発生用レーザー１３のレーザー光Ｌ１、お
よび超音波検出用レーザー２１．３１のレーザー光Ｌ２
は、ポリゴンミラー、平板型反射鏡でタンク底板１の測
定面」−を広範囲にスキャンすることができる。
よび超音波検出用レーザー２１．３１のレーザー光Ｌ２
は、ポリゴンミラー、平板型反射鏡でタンク底板１の測
定面」−を広範囲にスキャンすることができる。
上記第１実施例によれば、超音波発生用レーザー１３と
超音波検出器１４が非接触型であるから、■接触媒質が
不要であり、■被検体の表面の凹凸を事前に平滑化する
必要もなく、簡単かつ円滑に板厚状態を検査できる。
超音波検出器１４が非接触型であるから、■接触媒質が
不要であり、■被検体の表面の凹凸を事前に平滑化する
必要もなく、簡単かつ円滑に板厚状態を検査できる。
また、超音波発生用レーザー１３と超音波検出器１４が
レーザー光にて超音波を発生／検出するものであるから
、金属に限らずあらゆる材料からなるタンク板の板厚状
態を検査できる。
レーザー光にて超音波を発生／検出するものであるから
、金属に限らずあらゆる材料からなるタンク板の板厚状
態を検査できる。
第５図は本発明の第２実施例に係る検査装置の使用状態
を示す模式図、第６図は本発明の第２実施例に係る検査
装置を示す模式図である。
を示す模式図、第６図は本発明の第２実施例に係る検査
装置を示す模式図である。
検査装置５０は、タンク屋根板２に設けられた点検孔等
のノズル３に設置されている。検査装置５０は、超音波
発生用レーザー光Ｌ１および超音波検出用レーザー光Ｌ
２のための反射鏡５１Ａ、５１Ｂをそれらに対応する反
射鏡駆動モータ５２Ａ、５２Ｂにて回転し、レーザー光
Ｌ１、Ｌ２をタンク底板１において広範囲、高速に、二
次元的にスキャンすることによりタンク底板１の板厚状
態を検査する。モータ５２Ａ、５２Ｂは制御回路１６が
発するモータ駆動信号にて駆動制御される。１９Ｇ、１
９Ｈは給電ケーブル、５１Ｃ１５１Ｄは反射鏡である。
のノズル３に設置されている。検査装置５０は、超音波
発生用レーザー光Ｌ１および超音波検出用レーザー光Ｌ
２のための反射鏡５１Ａ、５１Ｂをそれらに対応する反
射鏡駆動モータ５２Ａ、５２Ｂにて回転し、レーザー光
Ｌ１、Ｌ２をタンク底板１において広範囲、高速に、二
次元的にスキャンすることによりタンク底板１の板厚状
態を検査する。モータ５２Ａ、５２Ｂは制御回路１６が
発するモータ駆動信号にて駆動制御される。１９Ｇ、１
９Ｈは給電ケーブル、５１Ｃ１５１Ｄは反射鏡である。
なお、検査装置５０において前記検査装置ｌＯと実質的
に同一な部分は同一の符合を付して説明を省略する。
に同一な部分は同一の符合を付して説明を省略する。
第７図は本発明の第３実施例に係る検査装置の使用状態
を示す模式図、第８図は本発明の第３実施例に係る検査
装置を示す模式図である。
を示す模式図、第８図は本発明の第３実施例に係る検査
装置を示す模式図である。
検査装置６０は、タンク側板４に両端を仮結合した装置
吊り下げ用ケーブル５に、車輪６１Ａ、６１Ｂを介して
移動可能に支持されている。検査装置６０は、タンク底
板１の表面上にスチームコイル等の内部品６２が配設さ
れている場合にも、車輪駆動モータ６３の駆動制御によ
ってタンク底板１の上方を円滑に移動できる。検査装置
６０は、検査装置５０におけると同様に、ポリゴンミラ
ー、反射鏡を設けることにより、超音波発生用レーザー
光Ｌ１および超音波検出用レーザー光Ｌ２をタンク底板
１において広範囲、高速に、二次元的にスキャンして、
タンク底板１の板厚状態を検査できる。なお、検査装置
６０において前記検査装置１０と実質的に同一な部分は
同一の符合を付して説明を省略する。
吊り下げ用ケーブル５に、車輪６１Ａ、６１Ｂを介して
移動可能に支持されている。検査装置６０は、タンク底
板１の表面上にスチームコイル等の内部品６２が配設さ
れている場合にも、車輪駆動モータ６３の駆動制御によ
ってタンク底板１の上方を円滑に移動できる。検査装置
６０は、検査装置５０におけると同様に、ポリゴンミラ
ー、反射鏡を設けることにより、超音波発生用レーザー
光Ｌ１および超音波検出用レーザー光Ｌ２をタンク底板
１において広範囲、高速に、二次元的にスキャンして、
タンク底板１の板厚状態を検査できる。なお、検査装置
６０において前記検査装置１０と実質的に同一な部分は
同一の符合を付して説明を省略する。
第９図は本発明の第４実施例に係る検査装置を示す模式
図である。
図である。
検査装置７０は、前記検査装置１０と異なり、電磁誘導
法による超音波検出方式を採用している。すなわち、こ
の検査装置７０にあっては、超音波発生用レーザー１３
が照射したレーザー光Ｌ１によってタンク底板ｌの内部
に伝播した超音波が表面へ戻ってくると、直流電磁石７
１で与えられる静磁界（Ｂ）中で被検体が機械的変位を
することになり、フレミングの右手の法則に基づく起電
力が生じ渦電流（Ｉｅ ）が発生する。渦電流が発生す
ると、その渦電流の周波数に応じた磁界が発生すること
になり、この磁界を受信コイル（超音波検出器）７２で
電圧信号として受信する。受信コイル７２の受信情報は
データ解析／記憶回路１５に伝達される。検査装置７０
においても、超音波発生用レーザー１３がレーザー光に
て超音波を発生させ、受信コイル７２が電磁誘導作動に
て超音波を検出し、非接触にてタンク底板ｌの板厚状態
を検査できる。ただし、この検査装置７０の適用は、被
検体が導電性材料からなる場合に限られる。なお、検査
装置７０において前記検査装置１０と実質的に同一な部
分は同一の符合を付して説明を省略する。
法による超音波検出方式を採用している。すなわち、こ
の検査装置７０にあっては、超音波発生用レーザー１３
が照射したレーザー光Ｌ１によってタンク底板ｌの内部
に伝播した超音波が表面へ戻ってくると、直流電磁石７
１で与えられる静磁界（Ｂ）中で被検体が機械的変位を
することになり、フレミングの右手の法則に基づく起電
力が生じ渦電流（Ｉｅ ）が発生する。渦電流が発生す
ると、その渦電流の周波数に応じた磁界が発生すること
になり、この磁界を受信コイル（超音波検出器）７２で
電圧信号として受信する。受信コイル７２の受信情報は
データ解析／記憶回路１５に伝達される。検査装置７０
においても、超音波発生用レーザー１３がレーザー光に
て超音波を発生させ、受信コイル７２が電磁誘導作動に
て超音波を検出し、非接触にてタンク底板ｌの板厚状態
を検査できる。ただし、この検査装置７０の適用は、被
検体が導電性材料からなる場合に限られる。なお、検査
装置７０において前記検査装置１０と実質的に同一な部
分は同一の符合を付して説明を省略する。
なお、本発明はタンク底板に限らず、タンク側板等の板
厚状態の検査にもタンク底板におけると同様にして適用
できる。
厚状態の検査にもタンク底板におけると同様にして適用
できる。
また、本発明の検査動作に用いられる超音波は、縦波お
よび／または横波のいずれでもよいが、縦波がより好ま
しい。
よび／または横波のいずれでもよいが、縦波がより好ま
しい。
［発明の効果］
以上のように、本発明によれば、非接触型の超音波発生
器と超音波検出器を用いることにより、簡単かつ円滑に
タンク板の板厚状態を検査できる。
器と超音波検出器を用いることにより、簡単かつ円滑に
タンク板の板厚状態を検査できる。
第１図は本発明の第１実施例に係る検査装置を示す模式
図、第２図は本発明の板厚測定原理を示す模式図、第３
図は超音波検出器の検出原理を示す模式図、第４図は超
音波検出器の他の検出原理を示す模式図、第５図は本発
明の第２実施例に係る検査装置の使用状態を示す模式図
、第６図は本発明の第２実施例に係る検査装置を示す模
式図、第７図は本発明の第３実施例に係る検査装置の使
用状態を示す模式図、第８図は本発明の第３￥施例に係
る検査装置を示す模式図、第９図は本発明の第４実施例
に係る検査装置を示す模式図である。 １０・・・検査装置、 １３・・・超音波発生用レーザー（超音波発生器）、１
４・・・超音波検出器、 ５０．６０．７０・・・検査装置、 ７２・・・受信コイル（超音波検出器）。 代理人 弁理士 塩 川 修 治 第 １ 図 第２図 ｏ ｔ。 第 ３圓 第 ５図 第 ６圓 第７図 第８図
図、第２図は本発明の板厚測定原理を示す模式図、第３
図は超音波検出器の検出原理を示す模式図、第４図は超
音波検出器の他の検出原理を示す模式図、第５図は本発
明の第２実施例に係る検査装置の使用状態を示す模式図
、第６図は本発明の第２実施例に係る検査装置を示す模
式図、第７図は本発明の第３実施例に係る検査装置の使
用状態を示す模式図、第８図は本発明の第３￥施例に係
る検査装置を示す模式図、第９図は本発明の第４実施例
に係る検査装置を示す模式図である。 １０・・・検査装置、 １３・・・超音波発生用レーザー（超音波発生器）、１
４・・・超音波検出器、 ５０．６０．７０・・・検査装置、 ７２・・・受信コイル（超音波検出器）。 代理人 弁理士 塩 川 修 治 第 １ 図 第２図 ｏ ｔ。 第 ３圓 第 ５図 第 ６圓 第７図 第８図
Claims (4)
- （１）タンク板の各部に超音波を発生させ、該超音波が
タンク板の板厚内を伝播する時間を測定することにより
、タンク板の板厚を測定するタンク板検査装置において
、タンク板に非接触状態で超音波を発生させる超音波発
生器と、タンク板の板厚内を伝播した超音波を非接触状
態で検出する超音波検出器とを有してなることを特徴と
するタンク板検査装置。 - （２）特許請求の範囲第１項において、超音波発生器は
、レーザー光をタンク板の表面に照射して該タンク板に
超音波を発生させるものであるタンク板検査装置。 - （３）特許請求の範囲第１項において、超音波検出器は
、タンク板の表面の超音波による微小変位をレーザー干
渉法により検出するものであるタンク板検査装置。 - （４）特許請求の範囲第１項において、超音波検出器は
、タンク板の表面の超音波による微小変位を電磁誘導法
により検出するものであるタンク板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62109653A JPH0192607A (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 | タンク板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62109653A JPH0192607A (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 | タンク板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0192607A true JPH0192607A (ja) | 1989-04-11 |
Family
ID=14515739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62109653A Pending JPH0192607A (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 | タンク板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0192607A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03100406A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-25 | Westinghouse Electric Corp <We> | 物体の外形を測定する超音波システム |
| JPH0547807U (ja) * | 1991-12-02 | 1993-06-25 | 大阪瓦斯株式会社 | 超音波探査装置 |
| JP2002296244A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Kajima Corp | コンクリート構造物の診断方法及び装置 |
| JP2008102160A (ja) * | 2008-01-18 | 2008-05-01 | Toshiba Corp | 超音波計測装置 |
| JPWO2022264362A1 (ja) * | 2021-06-17 | 2022-12-22 |
-
1987
- 1987-05-07 JP JP62109653A patent/JPH0192607A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03100406A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-25 | Westinghouse Electric Corp <We> | 物体の外形を測定する超音波システム |
| JPH0547807U (ja) * | 1991-12-02 | 1993-06-25 | 大阪瓦斯株式会社 | 超音波探査装置 |
| JP2002296244A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Kajima Corp | コンクリート構造物の診断方法及び装置 |
| JP2008102160A (ja) * | 2008-01-18 | 2008-05-01 | Toshiba Corp | 超音波計測装置 |
| JPWO2022264362A1 (ja) * | 2021-06-17 | 2022-12-22 | ||
| WO2022264362A1 (ja) * | 2021-06-17 | 2022-12-22 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査システム、欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 |
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