JPH0195731U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0195731U JPH0195731U JP19223487U JP19223487U JPH0195731U JP H0195731 U JPH0195731 U JP H0195731U JP 19223487 U JP19223487 U JP 19223487U JP 19223487 U JP19223487 U JP 19223487U JP H0195731 U JPH0195731 U JP H0195731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cap
- plasma processing
- relief
- hole
- sealing means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Safety Valves (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１
図は断面図、第２図はプラズマ処理機全体の断面
図である。 Ｗ……ウエハー、１……反応室、２……天窓、
３……フレーム、４……チヤンバ下部バルクヘツ
ド、５……外部電極、６……内部電極、７……昇
降装置、８……可動バルクヘツド、９……ウエハ
ー支持具、１１……リリーフ孔、１２……キヤツ
プ、１３……シール手段、１４……スライド孔、
１５……スライドピン、１６……ストツパ。
図は断面図、第２図はプラズマ処理機全体の断面
図である。 Ｗ……ウエハー、１……反応室、２……天窓、
３……フレーム、４……チヤンバ下部バルクヘツ
ド、５……外部電極、６……内部電極、７……昇
降装置、８……可動バルクヘツド、９……ウエハ
ー支持具、１１……リリーフ孔、１２……キヤツ
プ、１３……シール手段、１４……スライド孔、
１５……スライドピン、１６……ストツパ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 高周波電圧が印加されることで生成されたプ
ラズマによつてプラズマ処理を行なうプラズマ処
理用反応容器壁にリリーフ孔を開穿し、このリリ
ーフ孔を閉塞するキヤツプを反応容器外面に配し
、キヤツプ裏面と反応容器外面との間にはシール
手段を介在させ、キヤツプには、反応容器壁に穿
設したスライド孔に摺動自在に嵌め合うスライド
ピンを突設し、キヤツプ内方に突出するスライド
ピン端部には、ストツパを設けて成ることを特徴
とするプラズマ処理用反応容器のリリーフ弁。 ２ スライド孔、複数のリリーフ孔、シール手段
は、スライド孔を中心にして順次同心円状に配さ
れている実用新案登録請求の範囲第１項記載のプ
ラズマ処理用反応容器のリリーフ弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19223487U JPH0195731U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19223487U JPH0195731U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195731U true JPH0195731U (ja) | 1989-06-26 |
Family
ID=31483101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19223487U Pending JPH0195731U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195731U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223583A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Anelva Corp | リリ−フバルブ |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP19223487U patent/JPH0195731U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223583A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Anelva Corp | リリ−フバルブ |