JPH019606Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、各種高純度の薬品に混在する微粒子
を除去するために薬品を加圧過する装置に関す
る。

集積回路などの開発試作を行うのための研究室
では雰囲気を無塵化したクリーンベンチと称する
作業台で種々の高純度の薬品が取扱かわれている
が、集積回路の各素子間の間隔が数ミクロンとい
う微小な間隔であるため、使用する際には市販の
試薬びんの原液を加圧過してその中に混在する
微粒子を除去しなければならない。このため、従
来は、市販の試薬びんから高純度の原液を別の原
液タンクに入れ、この原液タンク内の原液を空気
作動ポンプなどにより吸い上げてポンプからフイ
ルタを通して目的の個所へ送つていた。しかしな
がら、研究室で取扱かわれる薬品の種類が多く、
薬品の種類が変るたびごとにポンプを掃除しなけ
ればならず、高純度をそこなわぬようにするため
切換操作に相当な時間がかかり、薬品ロスも多
く、能率が悪くきわめて不経済であつた。また、
加圧過の際に市販の試薬びんから原液を原液タ
ンクに移し変えなければならないので、面倒であ
るだけではなく、そのときに汚染の機会が生じる
ことにもなる。

本考案の目的は、上記の欠点を除去して、薬品
の加圧過の際に試薬びんの移し変えが不要であ
り、かつ薬品の種類が変つても装置を洗浄せずに
切換操作を簡単に短時間で行うことができる薬品
の加圧過装置を提供することにある。

上記の目的を達成するには、本考案により、加
圧過装置を、内部に試薬びんを収容できかつ取
外し可能な蓋を有する耐圧容器と、耐圧容器内部
と導管を介して接続される加圧ガス系と、カート
リツジフイルタ、このフイルタの上流入口に接続
された原液圧送導管、およびフイルタの下流出口
に接続された液排出導管からなる最小限の接液
系とで構成し、カートリツジフイルタを耐圧容器
の蓋に取り外し可能に取りつけ、さらにカートリ
ツジフイルタの上流入口からの原液圧送導管を耐
圧容器の蓋を貫通して、耐圧容器内部に入れた試
薬びん内の底近くまで延ばし、この原液圧送導管
を蓋に気密にかつ取り外し可能に結合すれば良
い。

以下、本考案を実施例について図面により詳細
に説明する。

第１図において、各種高純度の薬品から微粒子
を除去するための本考案の加圧過装置は、簡単
に云えば、内部に開栓された試薬びん１が収容さ
れる耐圧容器１０と、この耐圧容器内部と導管を
介して接続される加圧ガス系３０と、カートリツ
ジフイルタ６２を有する接液系６０とからなる。

耐圧容器１０は、上端で開口した円筒状の耐圧
容器本体１２と、この容器本体に着脱自在に取り
つけられる蓋１４とからなる。耐圧容器本体１２
の開口の外周には複数個の切欠き１５を有するフ
ランジ１６が設けられており、第２図に示すよう
にこのフランジの各切欠き１５の両側の耳部１７
にアイボルト１８が支持ボルト２０により上下に
回動可能に取りつけられている。また、耐圧容器
本体１２の内面は、高度の腐蝕性薬品の飛沫や蒸
発ガス等により腐蝕されないように四弗化樹脂に
よるコーテイングが施されている。一方、蓋１４
は、下層が比較的厚い耐蝕性の四弗化樹脂製円板
２２と、上層が比較的薄いステンレス鋼製円板２
４とからなる積層板であり、かつその外周には容
器本体１２のフランジ１３の切欠き１５と一致す
る位置に同様な切欠き２５が設けられている。ス
テンレス鋼製円板２４に四弗化樹脂製円板２２を
積層する目的は、試薬びんの出し入れのため蓋を
取り外したときに、接液系６０の原液圧送導管７
０（後述する）の外側に付着した濃厚な腐蝕性原
液がたれて蓋１４の裏面に付着する繁度が高いの
で腐蝕を防止するためである。この蓋１４を容器
本体１２に取りつけるには、蓋１４の切欠き２５
を容器本体１２のフランジ１６の切欠き１５に合
わて蓋１４をかぶせ、アイボルト１８を外側へ上
方に回動させて直立位置にし、蝶ナツト２６によ
り締めつければ良い。

次に、装置の加圧ガス系３０について説明す
る。この加圧ガス系３０で使用するガスは、薬品
の純度低下を避けるため不活性ガスを用いる。耐
圧容器本体１２の周囲に巻きつけられたバンド３
２から外方に突出する制御板３４にトツグル作動
式のストツプバルブ３６が取りつけられており、
このストツプバルブ３６は導管３８を介して加圧
ガス源に接続される。さらに、ストツプバルブ３
６は、制御板３４に取りつけられた流量微調節用
ニードルバルブ４０に導管４２を介して接続され
ている。このニードルバルブ４０を用いて、薬品
の種類により過速度が異る場合に加圧ガスの流
入速度を微調節することができる。さらに、ニー
ドルバルブ４０は導管４４を介してガスフイルタ
４６に接続され、このガスフイルタは導管４８と
Ｔ型継手４９を介して耐圧容器１０の蓋１４に導
かれ、容器１０の内部に連通している。ガスフイ
ルタ４６は、加圧ガス中に含有する微粒子が薬品
に混入しないように予め除去するフイルタであ
り、実際には0.2μmのニユークリポアメンブレン
フイルタが好適である。蓋１４には、容器本体１
２内のガス圧力を計測するために圧力計５０が取
りつけられている。

その他、容器１０の蓋１４には、薬品の加圧
過前に容器内に存在する空気と不活性ガスを置換
するための空気放出用ブローバルブ５２と、ガス
圧が設定圧より過大になると自動的にガスを放出
する安全弁５４とが取りつけられている。

特に本考案により、カートリツジフイルタ６２
を含む最小限の接液系６０が耐圧容器１０の蓋１
４に取り外し可能に取りつけられている。すなわ
ち、蓋１４に固定された垂直ロツド６４に、バン
ド状保持金具６６が上下に移動可能に取りつけら
れ、この保持金具６６によりカートリツジフイル
タ６２が保持されている。この耐蝕性カートリツ
ジフイルタ６２は、四弗化エチレンで作られた膜
孔径0.2μｍのものが好適である。カートリツジフ
イルタ６２の上流側入口に接続された原液圧送導
管７０が蓋４０の中央を貫通して、耐圧容器内部
に入れた試薬びん１の底近くまで延びている。原
液圧送導管７０は蓋４０に耐蝕性の貫通式ハーフ
ジヨイント６８により気密にかつ取り外し可能に
取りつけられている。さらに、カートリツジフイ
ルタ６２の下流側出口には、液排出導管７２が
接続されている。以上のすべての接液系部品は、
広範な種類の薬品によつて起る溶出物による純度
低下や経時的な腐蝕の恐れを避けるために、耐蝕
性の合成樹脂で作つてある。

本考案による加圧過装置は、耐圧容器の蓋に
ほとんどの部品がついていてコンパクトにまとめ
られ、かつ引火の危険のある電気が使用されてい
ないので、特に引火性雰囲気のある一般に常用さ
れているクリーンベンチ内で使用するのに適して
いる。

以上のように構成された加圧過装置の操作を
説明する。まず、耐圧容器１０の蓋１４を蝶ナツ
ト２６をゆるめて取り外し、耐圧容器１０内に、
口をあけた試薬びん１を入れる。容器本体１２に
蓋１４をかぶせて蝶ナツト２６を締めつける。蓋
１４のブローバルブ５２を全開すると共に、スト
ツプバルブ３６を開いて耐圧容器１０内に不活性
ガスを流入させる。耐圧容器１０内に流入したガ
スが内部の空気と混合し、その混合気がブローバ
ルブ５２から外部に流出し、きわめて短時間で容
器内部が不活性ガスで満たされる。このとき、耐
圧容器１０内の圧力が上らないようにニードルバ
ルブ４０を調節すれば、空気中の酸素が薬品中に
溶け込んで薬品純度を低下させるような恐れはな
い。空気と不活性ガスとの置換が完了すると、ブ
ローバルブ５２を閉じる。それから、耐圧容器１
０内のガス圧が上昇し始めて、その圧力により試
薬びん１の中の原液が加圧され、原液が原液圧送
導管７０を通じてフイルタ６２に送られ、フイル
タからさらに液排出導管７２を経て目的個所へ
送られる。このとき、耐圧容器１０の内部圧力は
ニードルバルブ５０により調節することができ
る。加圧過が終了したときに、ストツプバルブ
３６を閉じて不活性ガスの供給を停止する。それ
から、ブローバルブ５２を徐々に開くと、耐圧容
器１０の内圧が徐々に低下するので、フイルタ６
２に背圧を与えて破損させることなく減圧するこ
とができる。

本考案の加圧過装置では、最小限の接液系の
カートリツジフイルタを耐圧容器の蓋に取り外し
可能に設け、さらにカートリツジフイルタの上流
入口に接続された原液圧送導管を耐圧容器の蓋を
貫通して、耐圧容器内部に入れた試薬びん内の底
近くまで延ばし、原液圧送導管を蓋に気密にかつ
取り外し可能に結合したので、多種類の薬品を取
り扱かう研究室などでは、カートリツジ、原液圧
送導管および液排出導管とからなる最小限の接
液系を薬品ごとに用意しておけば、薬品の切換え
に際して接液系を迅速に交換して容易に切換え操
作を行うことができ、装置全体の掃除が不要であ
り、特に少量多品種の薬品の加圧過に適してい
る。また、すべての接液系が耐圧容器の蓋に固定
されているので、試薬びんの出し入れには蓋を耐
圧容器本体から取り外すだけで良く操作が簡単で
ある。また、従来のように試薬びんを原液タンク
に移し変えたりせずに、市販の試薬びんを耐圧容
器に入れて加圧過することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による薬品の加圧過装置を部
分的に断面して示す正面図、第２図は第１図の装
置を矢印の方向より見た部分側面図である。 １……試薬びん、１０……耐圧容器、１４……
蓋、３０……加圧ガス系、６０……接液系、６２
……カートリツジフイルタ、７０……液圧送導
管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 各種の薬品に混在する微粒子を除去するために
   薬品を加圧過する装置において、内部に開栓さ
   れた試薬びんを収容できかつ取外し可能な蓋を有
   する耐圧容器と、耐圧容器内部と導管を介して接
   続される加圧ガス系と、カートリツジフイルタ、
   このフイルタの上流入口に接続された原液圧送導
   管、およびフイルタの下流出口に接続された液
   排出導管からなる最小限の接液系とで構成し、カ
   ートリツジフイルタを耐圧容器の蓋に取り外し可
   能に取りつけ、さらにカートリツジフイルタの上
   流入口からの原液圧送導管を耐圧容器の蓋を貫通
   して、耐圧容器内部に入れた試薬びん内の底近く
   まで延ばし、この原液圧送導管を蓋に気密にかつ
   取り外し可能に結合したことを特徴とする装置。