JPH0196367A - 炭素のイオン・プレーテイング装置 - Google Patents
炭素のイオン・プレーテイング装置Info
- Publication number
- JPH0196367A JPH0196367A JP25546487A JP25546487A JPH0196367A JP H0196367 A JPH0196367 A JP H0196367A JP 25546487 A JP25546487 A JP 25546487A JP 25546487 A JP25546487 A JP 25546487A JP H0196367 A JPH0196367 A JP H0196367A
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- JP
- Japan
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- carbon
- electrode
- arc discharge
- ionization electrode
- vapor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空中において被覆材料を蒸発させて被蒸
着物表面に蒸着させる装置にかかり、更に詳しく述べれ
ば、炭素蒸気をイオン化してから被蒸着物表面に蒸着さ
せる装置に関する。
着物表面に蒸着させる装置にかかり、更に詳しく述べれ
ば、炭素蒸気をイオン化してから被蒸着物表面に蒸着さ
せる装置に関する。
高真空中において被覆材料の蒸発源に対面して被蒸着物
を配置すると共に、上記蒸発源から上記被蒸着物へ向う
被覆材料蒸気の径路の近傍の上記蒸発源に接近した位置
に、上記蒸発源との間に上被覆材料を通してアーク放電
を営むよう構成されたイオン化電極を配置してなるイオ
ン・プレーティング装置は１例えば実公昭５９−４０４
５号公報に示されている。
を配置すると共に、上記蒸発源から上記被蒸着物へ向う
被覆材料蒸気の径路の近傍の上記蒸発源に接近した位置
に、上記蒸発源との間に上被覆材料を通してアーク放電
を営むよう構成されたイオン化電極を配置してなるイオ
ン・プレーティング装置は１例えば実公昭５９−４０４
５号公報に示されている。
また、上記蒸発源と上記イオン化装置との間にアーク放
電が起シにくい場合に、アーク放電を起し易くするため
に、両者の間に熱電子放射用フィラメントを配置するこ
とも、上記公報に示゛されている。
電が起シにくい場合に、アーク放電を起し易くするため
に、両者の間に熱電子放射用フィラメントを配置するこ
とも、上記公報に示゛されている。
上述のイオン化電極は、アーク放電の際の強い電子衝撃
によって加熱され、放置すると電極構成材料の蒸発とい
った好ましくない現象も起こる。
によって加熱され、放置すると電極構成材料の蒸発とい
った好ましくない現象も起こる。
そのために、電極材料として熱伝導率の良いモリブデン
の厚肉材を使用したり、水冷したりして、電極温度が１
０００℃を越えないようにしていた。
の厚肉材を使用したり、水冷したりして、電極温度が１
０００℃を越えないようにしていた。
近年、炭素のイオン・プレーティング層が高硬度で耐摩
耗性に富むことが見出され、上述した従来のイオン・プ
レーティングによる成層が試みられている。その場合、
装置の動作の安定性が生成される炭素層の品質に大きく
影響する。
耗性に富むことが見出され、上述した従来のイオン・プ
レーティングによる成層が試みられている。その場合、
装置の動作の安定性が生成される炭素層の品質に大きく
影響する。
前記実公昭５９−４０４５号公報に示されているような
イオン化電極を有する型のイオン・プレーティング装置
は、動作中に、蒸発源から蒸発した被覆材料がイオン化
電極に蒸着、堆積するが、被覆材料が金属の場合はアー
ク放電が支障なく継続するので、継続的に蒸気４オンを
被蒸着物へ送り続けることができる。しかし、被覆材料
が炭素の場合は、イオン化電極に堆積した炭素が時折剥
離し、その度に４オン化電極に異常電流か流れ、電源の
保護回路が動作して電流が頻繁に遮断される。また、イ
オン化電極の温度条件によっては、絶縁性の炭素膜が出
来て、アーク放電が不安定になる。
イオン化電極を有する型のイオン・プレーティング装置
は、動作中に、蒸発源から蒸発した被覆材料がイオン化
電極に蒸着、堆積するが、被覆材料が金属の場合はアー
ク放電が支障なく継続するので、継続的に蒸気４オンを
被蒸着物へ送り続けることができる。しかし、被覆材料
が炭素の場合は、イオン化電極に堆積した炭素が時折剥
離し、その度に４オン化電極に異常電流か流れ、電源の
保護回路が動作して電流が頻繁に遮断される。また、イ
オン化電極の温度条件によっては、絶縁性の炭素膜が出
来て、アーク放電が不安定になる。
これらの事態は、何れも被蒸着物上に生成される炭素層
の品質を著るしく損う。
の品質を著るしく損う。
よって、この発明は、被覆材料として炭素を用いた場合
にも、イオン化電極のアーク放電を安定に行わせ、高品
質の炭素のイオン・プレーティング／ｉを生成させよう
とするものである。
にも、イオン化電極のアーク放電を安定に行わせ、高品
質の炭素のイオン・プレーティング／ｉを生成させよう
とするものである。
この発明は、例えば実公昭５９−４０４５号公報に示さ
れているようなアーク放電を営むイオン化電極を有する
イオン・プレーティング装置において。
れているようなアーク放電を営むイオン化電極を有する
イオン・プレーティング装置において。
イオン化電極を炭素で形成し、かつこれを１０００℃以
上に維持する手段を設けたことを特徴とする。
上に維持する手段を設けたことを特徴とする。
イオン化電極を１０００ ｔＥ以上に維持する手段とし
ては、イオン化電極を細い棒状に形成してこれに通電加
熱する方法と、イオン化電極を棒状や薄板状の熱伝導が
良好でない形状に作成してアーク放電の発熱によって昇
温させる方法とがある。
ては、イオン化電極を細い棒状に形成してこれに通電加
熱する方法と、イオン化電極を棒状や薄板状の熱伝導が
良好でない形状に作成してアーク放電の発熱によって昇
温させる方法とがある。
上述のようにして、 １０００℃以上の温度に維持され
ている炭素層のイオン化電極は、蒸発源から蒸発した炭
素が堆積しても剥離せず、かつ絶縁性にもならず、長時
間にわた多安定にアーク放電を維持し続ける。そのため
に、被蒸着物上には、良質の炭素層を十分な厚味に生成
させることができる。
ている炭素層のイオン化電極は、蒸発源から蒸発した炭
素が堆積しても剥離せず、かつ絶縁性にもならず、長時
間にわた多安定にアーク放電を維持し続ける。そのため
に、被蒸着物上には、良質の炭素層を十分な厚味に生成
させることができる。
第１図において、真空槽ｌの下底部には排気口２が存在
し、これに連なる真空ポンプによって。
し、これに連なる真空ポンプによって。
槽１内は常に高真空に排気されている。槽１内の下部に
は蒸発源３が位置し、その成子銃部から発せられる電子
ビーム４の衝撃により、被覆用の炭素５は蒸発する。槽
１内の上部の、蒸発源３の真上にあたる位置には、被蒸
着物６が配置される。
は蒸発源３が位置し、その成子銃部から発せられる電子
ビーム４の衝撃により、被覆用の炭素５は蒸発する。槽
１内の上部の、蒸発源３の真上にあたる位置には、被蒸
着物６が配置される。
蒸発源３に接近しその斜上方に、炭素棒で作られた４オ
ン化電極７が位置し、その両端は槽１外において加熱電
源８に接続され、 １０００〜２０００℃に加熱されて
いる。蒸発源３とイオン化電極７との間には、例えばタ
ングステン製の熱電子放射フィラメント９が位置し、そ
の両端は槽１外で加熱電源１０に接続、されている。蒸
発源３及びフィラメント９は共に接地され、イオン化電
極７と接地との間にはアーク放電用の電源１１が介在す
る。被蒸着物６は、槽１外において直流または高置波の
バイアス電源１２に接続される。なお、１３は必要時に
反応ガスを導入する導入口である。
ン化電極７が位置し、その両端は槽１外において加熱電
源８に接続され、 １０００〜２０００℃に加熱されて
いる。蒸発源３とイオン化電極７との間には、例えばタ
ングステン製の熱電子放射フィラメント９が位置し、そ
の両端は槽１外で加熱電源１０に接続、されている。蒸
発源３及びフィラメント９は共に接地され、イオン化電
極７と接地との間にはアーク放電用の電源１１が介在す
る。被蒸着物６は、槽１外において直流または高置波の
バイアス電源１２に接続される。なお、１３は必要時に
反応ガスを導入する導入口である。
第１図示の実施例は、イオン化電極７を流れる放電電流
が１例えばＩＯＡ以下の少い場合に適するが、この放電
電流が例えば２０〜１００Ａというよう選ぶことにより
、アーク放電の衝撃を利用した自己加熱により、所定の
温度に昇温させることが可能になる。
が１例えばＩＯＡ以下の少い場合に適するが、この放電
電流が例えば２０〜１００Ａというよう選ぶことにより
、アーク放電の衝撃を利用した自己加熱により、所定の
温度に昇温させることが可能になる。
第２図は、このような放電電流が大きい場合に適した実
施例を示し、１７は黒鉛の薄板製のイオン化電極であシ
、残余の構成は第１図と同一である。
施例を示し、１７は黒鉛の薄板製のイオン化電極であシ
、残余の構成は第１図と同一である。
この実施例では、イオン化電極１７の放電１部位に生じ
た昇温は、その熱が薄肉のために伝導拡散しにくいこと
もあって、容易に１０００〜２０００℃の必要温度に到
達するので、同様な作用を営ませることができる。
た昇温は、その熱が薄肉のために伝導拡散しにくいこと
もあって、容易に１０００〜２０００℃の必要温度に到
達するので、同様な作用を営ませることができる。
以上のように、この発明によるときは、被薇用の炭素蒸
気が４オン化電極上に堆積して、その剥離の際にアーク
放電電流に異常を起こさせたり、絶縁性の炭素層が堆積
してアーク放電を妨げたりするのを効果的に阻止し、長
時間にわた多安定したアーク放電を維持することができ
るため、高品質で所望の厚味の炭素のイオン・プレーテ
ィング層を生成させることができる。
気が４オン化電極上に堆積して、その剥離の際にアーク
放電電流に異常を起こさせたり、絶縁性の炭素層が堆積
してアーク放電を妨げたりするのを効果的に阻止し、長
時間にわた多安定したアーク放電を維持することができ
るため、高品質で所望の厚味の炭素のイオン・プレーテ
ィング層を生成させることができる。
第１図はこの発明の実施例の構成図％第２図はこの発明
の他の実施例の構成図である。 ｌ・・・真空槽、３・・・蒸発源、６・・・被蒸着物、
７及び１７・・・イオン化電極、８・・・加熱電源、１
１・・・アーク放電用電源。 特許出願人 神港精機株式会社
の他の実施例の構成図である。 ｌ・・・真空槽、３・・・蒸発源、６・・・被蒸着物、
７及び１７・・・イオン化電極、８・・・加熱電源、１
１・・・アーク放電用電源。 特許出願人 神港精機株式会社
Claims (1)
- （１）高真空中において炭素の蒸発源に対面して被蒸着
物を配置すると共に、上記蒸発源から上記被蒸着物へ向
う炭素蒸気の径路の近傍の上記蒸発源に接近した位置に
、上記蒸発源との間に上記炭素蒸気を通してアーク放電
を営むよう構成されたイオン化電極を配置してなるイオ
ン・プレーティング装置において、上記イオン化電極を
炭素で形成すると共に、このイオン化電極を１０００℃
以上に維持する手段を設けたことを特徴とする炭素のイ
オン・プレーティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25546487A JPH0196367A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 炭素のイオン・プレーテイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25546487A JPH0196367A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 炭素のイオン・プレーテイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0196367A true JPH0196367A (ja) | 1989-04-14 |
Family
ID=17279127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25546487A Pending JPH0196367A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 炭素のイオン・プレーテイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0196367A (ja) |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP25546487A patent/JPH0196367A/ja active Pending
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