JPH0196900A

JPH0196900A - Ｉｃハンドリング装置

Info

Publication number: JPH0196900A
Application number: JP62254855A
Authority: JP
Inventors: Tetsunori Maeda; 前田　哲典
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1987-10-09
Filing date: 1987-10-09
Publication date: 1989-04-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は紫外線消去型ＦＲＯＭＩ　Ｃのテスト工程にお
けるＩＣのハンドリング装置に関する。

［従来の技術］従来、この種のＩＣハンドリング装置はＩＣの供給部、
収納部、搬送部及び測定部を含み、ＩＣは各構成部を自
動で搬送できうる構造となっていた。

［発明が解決しようとする問題点］上述した従来のＩＣハンドリング装置は、ＩＣの多種多
様な形状への対応、複数個同時測定の対応、インデック
ス時間の短縮化、及び装置の信頼性向上には目覚ましい
ものがある。

しかしながら、複数個のＩＣを同時測定できうる数を、
２個、４個、８個、１６個と性能面では目覚ましい向上
を計り、装置納入時の°多少のコストアップは充分に吸
収し、ＩＩ造ココスト低減。

製造期間の短縮等に多大に寄与している。ところで、Ｉ
Ｃハンドリング装置自身の個々の性能については向上し
て来たが、その処理速度としてはＩＣテスタのそれに完
全に依゛存している。

特に、紫外線消去型のＦＲＯＭにおいては、ＩＣテスト
、即ちＩＣのハンドリングの前後において、ＩＣチップ
に対して紫外線を照射し、記録されたデータを消去する
工程が有り、これが製造コストの低減や製造期間の短縮
について非効率的で必るという欠点が有った。

本発明の目的は前記問題点を解消したＩＣハンドリング
装置を提供することにおる。

［発明の従来技術に対する相違点］゛　上述した従来のＩＣハンドリング装置に対し、本発
明はＩＣのテストを実施する前に消去が必要な場合にお
いては、ＩＣ供給部の紫外線光源により消去処理し、テ
スト時点で記録されたデータを消去する場合においては
、ＩＣ収納部の紫外線光源にて消去処理するものであり
、従来に於いて、別の工程で行なっていた作業をＩＣテ
スト工程にて処理できるという相違点を有する。

［問題点を解決するための手段］本発明はＩＣチップを供給部から１個ずつ取り出し、こ
れを計測部まで搬送し、ＩＣテスタによるテスト終了後
、ざらに収納部まで搬送する機能を有するＩＣハンドリ
ング装置において、紫外線を発生する光源と、該光源を
遮光するシャッターと、該光源をＩＣチップ方向に収束
する反射器とを含む紫外線消去ユニットをＩＣチップの
供給部或いは収納部に設置したことを特徴とするＩＣハ
ンドリング装置である。

［実施例］次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明によるＩＣハンドリング装置の機能の全
体を示したものである。ＩＣチップの形状としては、Ｄ
ＩＰ状（ＤＩＡＬ　ＩＮ　ＬＩＮＥ　ＰＡＣＫＡＧＥ＞
やＦＰ状（ＦＬＡＴ　ＰＡＣＫＡＧＥ）等、多種多様に
存在するが、本発明では、説明の便宜上一般的なりＩＲ
を使用する。

ＩＣハンドリング装置１は、その構成として大別すると
、ＩＣ供給部２．ＩＣ搬送部３．ＩＣ測定部４．ＩＣ収
納部５．システム制御部７から成る。本発明は、紫外線
を発生する光源と、該光源を遮光するシャッターと、該
光源をＩＣチップ方向に収束する反射器とを含む紫外線
消去ユニット６１、６２をＩＣ供給部２．ＩＣ収納部５
に設置したものである。

ＩＣ供給部２は複数のＩＣ供給レーン２１〜２６を持ち
、又、ＩＣ収納部５は複数のＩＣ収納レーン５１〜５６
を持つ。尚、各々のレーンについては、説明の便宜上６
レーン分のみ記載する。システム制御部７は前記紫外線
消去ユニット６１．６２の動作制御を行う紫外線消去ユ
ニット制御部７１と、ＩＣ供給部２．ＩＣＩＩＲ送部３
．ＩＣ測定部４．ＩＣ搬送部５等の動作制御を行うシス
テム制御部７２とを含む。

ＩＣチップのテスト工程では、その自動化のために、図
示はしないが、ＩＣテスタにＩＣハンドリング装置を接
続している。テスト前の複数のＩＣチップはＩＣ供給部
２のＩＣ供給レーン２１〜２６に乗せられる。ＩＣ供給
部２では、ＩＣチップを矢印９ｂ方向に１個毎ＩＣ搬送
部３の供給側搬送器３１へ供給する。ＩＣＩ送部３の供
給側搬送器３１では矢印９Ｃ方向にＩＣチップを搬送し
、ＩＣテスタのテストリクエスト毎にＩＣ測定部４に１
個ごと送出する。ＩＣ測定部４では、ＩＣテスタによる
テストが終了すると、矢印９ｄ方向にあるＩＣ搬送部３
の収納側搬送器３２にＩＣチップを送出する。

１（Ｊ２送部３の収納側搬送器３２では、ＩＣテスタか
ら受領する「良品」或いは「不良品」の識別信号に基き
、又は、ＩＣ収納部５のＩＣ収納レーン５１〜５６の収
納部を判断して、収納すべきレーンを決定後、搬送収納
する。ＩＣ収納部５では、搬送されたＩＣチップを矢印
９ｆ方向にＩＣ収納レーン５１〜５６へ収納する。以後
は、前述のシーケンスに沿って、ＩＣチップの供給がな
くなるまで繰返される。

第２図は本発明による紫外線消去ユニット６１の構成図
である。紫外線消去ユニット６１は単数の無電極ランプ
６０１を使用しており、ＩＣ供給部２、或いはＩＣ収納
部５の各々のレーンにおける矢印９ｂ、　９ｆ方向のＩ
Ｃチップに対しル−ン全てについて同時に紫外線照射す
ることはない。複数のＩＣチップを同時に紫外線消去す
る場合は、無電極ランプ６０１を複数使用しなければな
らず、高価となり実用的ではない。

本発明による紫外線消去ユニット６１は単数のＩＣチッ
プに対し紫外線照射するものであり、各々のレーン方向
及びル−ン中の各々のＩＣチップ方向への移動について
は、前者は、ＩＣ供給部２、或いはＩＣ収納部５に於け
る紫外線消去ユニット移動機構８１〜８２と、紫外線消
去ユニット６１のレーン方向移動機構６１０との組合せ
により、第１図中の矢印９ａ、或いは９ｇ方向に移動す
るものであり、後者は、紫外線消去ユニット６１中のＩ
Ｃ方向移動機構６０９により、第１図中の矢印９ｂ、或
いは９ｆ方向、或いはその矢印の逆方向に移動するもの
である。これによって、単数のＩＣチップに紫外線照射
を可能としている。紫外線消去ユニット６１は、このほ
か、無電極ランプ６０１の発熱を冷却するため、空気取
入口６０６より図示しないフィルタ等を透過したクリー
ンな空気を取入れ、ダクト兼ランプ支柱６０７を通過後
、空気吹出口６０５より、無電極ランプ６０１によって
熱せられた紫外線消去ユニット６１の室内よりも遥かに
冷たい空気を吹き出す。この室内で高温となった空気は
ダクト６０Ｂにより室外に放出される。又、反ｆＪＪ器
６０２は無電極ランプ６０１の紫外線をＩＣチップ方向
に集束する。又、シャッター６０３はシャッター駆動器
６０４により開閉し、予め設定された時間だけシャッタ
ー６０３を間き、一定時間のみＩＣチップに紫外線を照
射する。又、ネット６１３は光源より発生するマイクロ
波の漏れを防止し、紫外線消去ユニット６１仝体でも同
様にマイクロ波の漏れ防止のため、電磁気シールドされ
た室を構成している。

第３図は本発明による第１の実施例であり、紫外線消去
ユニット６１中の無電極ランプ６０１より発せられた紫
外線が矢印６１１方向に照射され、ＩＣハンドリング装
置１のレーン２１１上には紫外線消去型ＰＲＯＭＩ　Ｃ
ｌ０Ｉの紫外線消去のための光透過レンズ１０２が上向
きとなるように置かれている。

従って、紫外線消去ユニット６１は、ＩＣハンドリング
装置１のＩＣ供給部２、或いは、ＩＣ収納部５の各々の
レーンの上側に構成されるものである。

第４図は本発明による第２の実施例であり、紫外線消去
ユニット６１中の無電極ランプ６０１より発せられた紫
外線が矢印６１２方向に照射され、ＩＣハンドリング装
置１のレーン２１１上には紫外線消去型ＦＲＯＭＩＣ１
０１の紫外線消去のための光透過レンズ１０２が下向き
となるように置かれている。

この場合、ＩＣ１０１と無電極ランプの中間には金属で
あるレーン２１１が存在するので、このままでは紫外線
はＩＣｌ０Ｉに照射されない。このため第２実施例では
、レーン２１１のル−ンについて、その中央に紫外線が
透過するように、ＩＣの実装方向、即ち第１図における
矢印９ｂ、又は９ｆ方向に孔２１２を設けている。従っ
て、紫外線消去ユニット６１はＩＣハンドリング装置１
のＩＣ供給部２、或いは、ＩＣ収納部５の各々のレーン
の下側に構成されるものである。

今、ＩＣテスタでのテスト前、及びテスト後において紫
外線消去する場合、ＩＣハンドリング装置１のＩＣ供給
部２のＩＣ供給レーン２１〜２６にＩＣチップを乗せ、
且つ、システム制御部７に対して前記紫外線消去の指令
を手動でセットし、ＩＣハンドリングを手動でスタート
する。ＩＣ供給部２の紫外線消去ユニット６１は紫外線
消去ユニット制御部７１の指令に従って、矢印９ｂ或い
はその逆方向或いは矢印９ａ方向に移動機構８１．６０
９゜−４す６１０で移動し、ＩＣチップ１個ごとに紫外線をシャッ
タ−６０３操作により一定時間照射し、照射完了のＩＣ
チップを矢印９ｂ方向に送り出し、供給側搬送器３１で
受ける。供給側搬送器３１ではＩＣチップを矢印９Ｃ方
向に搬送し、ＩＣ測定部４に送り出す。ＩＣ測定部４で
はＩＣテスタによるテストが実施され、テスト終了後に
収納側搬送器３２に送り出す。収納側搬送器３２では矢
印９ｅ方向にＩＣチップを搬送し、システム制御部７２
の指令によるＩＣ収納部５のＩＣ収納レーン５１〜５６
に送り出す。

ＩＣ収納部５の紫外線消去ユニット６１は、ＩＣ供給部
２のそれとは非同期では有るが、工程は同様に収納され
たＩＣチップ１個毎に紫外線を照射し、ＩＣテスタによ
るテストで記録されたデータを消去する。

現在、この紫外線光源でおる無電極ランプ６０１では、
その強度が光源からＩＣチップ迄の距離を１４．とじた
場合、１５０ｍΔ／ｃｍ２以上となり、ＩＣチップのデ
ータ消去に要するエネルギーが１．５　Ｗ−３／ｃｍ２
でおるとすれば、Ｔ＝Ｅ／Ｉより１０秒以下となる。こ
こで、Ｔ＝時間（秒）、Ｅ＝エネルギー、Ｉ＝強度でお
る。

従って、ＩＣテスタでのテスト中に、次に測定するＩＣ
チップ或いはテスト後のＩＣチップの記録データを消去
することが可能でおり、ＩＣハンドリング装置本来のテ
スト処理量に影響を及ぼさない。又、無電極ランプは４
秒程度で安定したマイクロ波プラズマを発生させ、スペ
クトル成分として、高出力で消去に有効な紫外線を放射
し、ランプ寿命も荷電極ランプに比較して遥かに長いと
いう利点も併せ持っている。

上記光源の説明に於て表した数値は、１例として揚げた
ものであり、今後より良い無電極ランプが改良され、商
品化されれば、より短時間で処理可能となる。

［発明の効果］以上説明したように本発明はＩＣハンドリング装置のＩ
Ｃ供給部或いは収納部に、無電極式の紫外線光源を配置
することにより紫外線消去型ＦＲＯＭをテストする場合
、テスト工程前俄の記録内容を消去する工程が不用とな
るとともに、ＩＣテスタが故障等でテストができない場
合でも、ＩＣハンドリング装置単体をオフラインで動作
させ、紫外線消去型ＰＲＯＭの記録内容を消去すること
ができ、効率的に製造コストの低減及び製造期間の短縮
を計ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるＩＣハンドリング装置の機能の全
体を示す図、第２図は本発明による紫外線消去ユニット
を示す構成図、第３図、第４図は本発明におけるＩＣハ
ンドリング装置に対する紫外線消去ユニットの配置関係
を示す図である。１・・・ＩＣハンドリング装置１０１・・・紫外線消去型ＦＲＯＭＩＣ１０２・・・光
透過レンズ　　２・・・ＩＣ供給部２１〜２６・・・Ｉ
Ｃ供給レーン２１１・・・レーン　　　　　２１２・・・孔３・・・
ＩＣ搬送部　　　　３１・・・供給側搬送器３２・・・
収納側搬送器　　　４・・・ＩＣ測定部５・・・ＩＣ収
納部５１〜５６・・・ＩＣ収納レーン６１〜６２・・・紫外線消去ユニット６０１・・・無電極ランプ　　６０２・・・反射器６０
３・・・シャッター６０４・・・シャッター駆動器６０５・・・空気吹出口　　　６０６・・・空気取入口
６０７・・・ダクト兼ランプ支柱６０８・・・ダクト　　　　　・６０９・・・ＩＣ方向移動機構６１０・・・レーン方向移動機構６１３・・・ネット　　　　　７・・・システム制御部
７１・・・紫外線ユニット制御部７２・・・システム制御部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ＩＣチップを供給部から１個ずつ取り出し、これ
を計測部まで搬送し、ＩＣテスタによるテスト終了後、
さらに収納部まで搬送する機能を有するＩＣハンドリン
グ装置において、紫外線を発生する光源と、該光源を遮
光するシャッターと、該光源をＩＣチップ方向に収束す
る反射器とを含む紫外線消去ユニットをＩＣチップの供
給部或いは収納部に設置したことを特徴とするＩＣハン
ドリング装置。