JPH02103281U - - Google Patents
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- JPH02103281U JPH02103281U JP1203889U JP1203889U JPH02103281U JP H02103281 U JPH02103281 U JP H02103281U JP 1203889 U JP1203889 U JP 1203889U JP 1203889 U JP1203889 U JP 1203889U JP H02103281 U JPH02103281 U JP H02103281U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- changeover switch
- transistor
- reverse
- reverse voltage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案による一実施例を示す静電破壊
試験装置の回路図、第２図及び第３図は抵抗入り
トランジスタにＶＲを印加したときのＩＲを示す
グラフ、第４図は抵抗入りでないトランジスタに
ＶＲを印加したときのＩＲを示すグラフ、第５図
は従来の一例を示す静電破壊試験装置の回路図、
第６図は抵抗入りのトランジスタにＶＲを印加し
たときのＩＲを示すグラフである。 １……充電用電源、１ａ……サージ電圧放電用
電源、２……コンデンサ、３……切替スイツチ、
３ａ……第１の切替スイツチ、４……リレー回路
、５……トランジスタ、６……電流測定回路、７
……判定回路、８……第２の切替スイツチ、９…
…試験条件設定部、１０……電圧測定回路、１１
……システム制御用ＣＰＵ。
試験装置の回路図、第２図及び第３図は抵抗入り
トランジスタにＶＲを印加したときのＩＲを示す
グラフ、第４図は抵抗入りでないトランジスタに
ＶＲを印加したときのＩＲを示すグラフ、第５図
は従来の一例を示す静電破壊試験装置の回路図、
第６図は抵抗入りのトランジスタにＶＲを印加し
たときのＩＲを示すグラフである。 １……充電用電源、１ａ……サージ電圧放電用
電源、２……コンデンサ、３……切替スイツチ、
３ａ……第１の切替スイツチ、４……リレー回路
、５……トランジスタ、６……電流測定回路、７
……判定回路、８……第２の切替スイツチ、９…
…試験条件設定部、１０……電圧測定回路、１１
……システム制御用ＣＰＵ。
Claims (1)
- トランジスタに逆電圧を印加するとともにこの
電圧にステツプ状の増加電圧を印加させるコンデ
ンサへの充放電用電源と、前記コンデンサの充放
電操作を切替る第１の切替スイツチと、前記トラ
ンジスタに逆電圧を印加するかまたは前記トラン
ジスタの逆電流及び逆電圧を測定するかを切替る
第２の切替スイツチと、前記トランジスタに印加
された前記逆電圧のときの逆電流値とあらかじめ
設定された電流許容値とを比較する判定回路と、
前記逆電圧及び前記ステツプ状の増加電圧を設定
するとともに前記第１の切替スイツチ及び第２の
切替スイツチ並びに前記判定回路を制御するシス
テム制御装置とを有することを特徴とする静電破
壊試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1203889U JPH02103281U (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1203889U JPH02103281U (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103281U true JPH02103281U (ja) | 1990-08-16 |
Family
ID=31221122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1203889U Pending JPH02103281U (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103281U (ja) |
-
1989
- 1989-02-02 JP JP1203889U patent/JPH02103281U/ja active Pending
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