JPH02103444A - 液体中の微粒子測定装置 - Google Patents
液体中の微粒子測定装置Info
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- JPH02103444A JPH02103444A JP63256599A JP25659988A JPH02103444A JP H02103444 A JPH02103444 A JP H02103444A JP 63256599 A JP63256599 A JP 63256599A JP 25659988 A JP25659988 A JP 25659988A JP H02103444 A JPH02103444 A JP H02103444A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、半導体の製造プロセスや生物学的研究分野等
で問題になる超純水や薬液等の液体中の微粒子の個数濃
度を、該液体に光を投射して得られる散乱光を検出して
測定するようにした液体中の微粒子測定装置、特に、液
体の流動変動による測定誤差の少ない装置に関する。
で問題になる超純水や薬液等の液体中の微粒子の個数濃
度を、該液体に光を投射して得られる散乱光を検出して
測定するようにした液体中の微粒子測定装置、特に、液
体の流動変動による測定誤差の少ない装置に関する。
第５図は従来の微粒子測定装置１の構成図である。図に
おいて、２はプラント３に用いられている被測定液４を
検出信号出力部５に導くようにした上流側管動路、６は
検出信号出力部５から流出した液体４を定流量弁７を介
して定位槽８に導くようにした下流側管路で、定位槽８
は管路６から排出された液体４の密度をＴとして所定の
液圧Ｔ・ｈを管路６の開口端に加えるために設けられて
いる。そうして、定流量弁７は、その出口側の液体圧力
が定位槽８の作用で一定の圧力に設定されることによっ
て、その入口側の液体圧力が変動しても所定の瞬時流Ｉ
Ｆの液体４を流すように構成されており、また、検出信
号出力部５は、管路２から管路６へと該出力部５を貫流
する液体４に光を投射することによってこの液体４から
出射される散乱光を検出して、この検出結果に応じた検
出信号５ａを出力するように構成されていて、この検出
信号出力部５の詳細構成は第６図に示したようになって
いる。第５図における９は、検出信号５ａが入力され、
この検出信号５ａに含まれるパルス５ａｌの個数を所定
時間Ｔの間計数してはこの計数結果の個数Ｎに比例した
後述の（１）式に基づく個数濃度Ｃを表す濃度信号９ａ
を出力する計数動作を、時間Ｔを経過するごとにくり返
して行うようにした濃度信号出力部で、微粒子測定装置
１はプラント３を除（第５図図示の各部で構成されてい
る。 次に、第６図に示した検出信号出力部５の構成を説明す
る。図において、１ｏは前述の管路２と６との間に接続
され、かつ本図の紙面に一致する断面が方形をなし、か
つこの紙面に垂直に微粒子１１を含む液体４が流れるよ
うにした透明材料製のフローセル、１２は、レーザ光１
３を出射するレーザ発振器１４と、レーザ光１３を集束
して断面が円形のビーム光１５にする集束レンズ１６と
からなる投光部、Ｂ−Ｂは投光部１２の光軸、この場合
、光軸Ｂ−Ｂがフローセル１０中の仮想点０を通過する
ように投光部１２が配置されて、フローセル１０を透し
てビーム光１５が点０及びその附近を照射するように各
部が構成されている。１７は、フローセル１０中の液体
４がビーム光Ｉ５で照射されることによって該液体中の
微粒子１１によって散乱される散乱光を集光する集光レ
ンズ１８と、このレンズ１８によって集光された散乱光
を受光してこの受光光量に応じた電気信号１９ａを出力
する光電変換器１９と、変換器１９の光入射窓１９ｂが
視る視野を制限するアパーチャ２０とからなる受光部、
Ａ−Ａは受光部１７の光軸で、この場合、光軸Ａ−Ａが
図の紙面内において０点で光軸Ｂ−８に直交するように
受光部１７が配置されている。２１はフローセル１０を
透過したビーム光１５を吸収して透過ビーム光１５によ
る迷光が変換器１９に入射しないようにしたビームブロ
ック、２２は入力される電気信号１９ａに対して所定の
信号処理を行って、微粒子１１がビーム光１５を散乱す
ることによって発生する第４図における三角波状パルス
５ａｌを含む前述の検出信号５ａを出力するようにした
信号処理部で、検出信号出力部５は上述したフローセル
１０と投光部１２と受光部１７とビームブロック２１と
信号処理部２２とで構成されている。 第５図では検出信号出力部５が上述のように構成されて
いるから、この検出信号５ａに現れる前述のパルス５ａ
ｌが一個の微粒子１１に対応していることは明らかで、
したがって、濃度信号出力部９の計数動作にもとづく前
述の計数値Ｎが前述の計数時間Ｔの間に検出信号出力部
５によって検出されてかつ濃度信号出力部９によって計
数された液体４中の微粒子１１の個数を表していること
が明らかである。ところが、この場合、検出信号出力部
５を貫流する液体４の瞬時流量が下であるから、今、検
出信号出力部５によって検出されてかつ濃度信号出力部
９において計数されることができる微粒子１１の個数の
液体４における真の個数に対する割合（以後、この割合
を信号出力部５と９とからなる部分の微粒子１１の個数
に対する検出感度、あるいは単に検出感度ということが
ある。）をＲとすると、液体４中の微粒子１１の個数濃
度Ｃは（１）式で表され、さらに、この場合、上述した
ように流量Ｆ及び時間Ｔがそれぞれ一定値であるから、
検出感度Ｒを一定値とすると、（１）式から濃度Ｃが計
数値Ｎに比例することが明らかである。故に、この濃度
信号出力部９は、前述したように、計数値Ｎに比例した
液体４中の微粒子１１の個数濃度Ｃを表す濃度信号９ａ
を出力するものであるということになる。 Ｃ＝Ｎ／ （Ｆ −Ｔ 、Ｒ） −・−・−・−−−
−一一−−−−−・−・（１）
おいて、２はプラント３に用いられている被測定液４を
検出信号出力部５に導くようにした上流側管動路、６は
検出信号出力部５から流出した液体４を定流量弁７を介
して定位槽８に導くようにした下流側管路で、定位槽８
は管路６から排出された液体４の密度をＴとして所定の
液圧Ｔ・ｈを管路６の開口端に加えるために設けられて
いる。そうして、定流量弁７は、その出口側の液体圧力
が定位槽８の作用で一定の圧力に設定されることによっ
て、その入口側の液体圧力が変動しても所定の瞬時流Ｉ
Ｆの液体４を流すように構成されており、また、検出信
号出力部５は、管路２から管路６へと該出力部５を貫流
する液体４に光を投射することによってこの液体４から
出射される散乱光を検出して、この検出結果に応じた検
出信号５ａを出力するように構成されていて、この検出
信号出力部５の詳細構成は第６図に示したようになって
いる。第５図における９は、検出信号５ａが入力され、
この検出信号５ａに含まれるパルス５ａｌの個数を所定
時間Ｔの間計数してはこの計数結果の個数Ｎに比例した
後述の（１）式に基づく個数濃度Ｃを表す濃度信号９ａ
を出力する計数動作を、時間Ｔを経過するごとにくり返
して行うようにした濃度信号出力部で、微粒子測定装置
１はプラント３を除（第５図図示の各部で構成されてい
る。 次に、第６図に示した検出信号出力部５の構成を説明す
る。図において、１ｏは前述の管路２と６との間に接続
され、かつ本図の紙面に一致する断面が方形をなし、か
つこの紙面に垂直に微粒子１１を含む液体４が流れるよ
うにした透明材料製のフローセル、１２は、レーザ光１
３を出射するレーザ発振器１４と、レーザ光１３を集束
して断面が円形のビーム光１５にする集束レンズ１６と
からなる投光部、Ｂ−Ｂは投光部１２の光軸、この場合
、光軸Ｂ−Ｂがフローセル１０中の仮想点０を通過する
ように投光部１２が配置されて、フローセル１０を透し
てビーム光１５が点０及びその附近を照射するように各
部が構成されている。１７は、フローセル１０中の液体
４がビーム光Ｉ５で照射されることによって該液体中の
微粒子１１によって散乱される散乱光を集光する集光レ
ンズ１８と、このレンズ１８によって集光された散乱光
を受光してこの受光光量に応じた電気信号１９ａを出力
する光電変換器１９と、変換器１９の光入射窓１９ｂが
視る視野を制限するアパーチャ２０とからなる受光部、
Ａ−Ａは受光部１７の光軸で、この場合、光軸Ａ−Ａが
図の紙面内において０点で光軸Ｂ−８に直交するように
受光部１７が配置されている。２１はフローセル１０を
透過したビーム光１５を吸収して透過ビーム光１５によ
る迷光が変換器１９に入射しないようにしたビームブロ
ック、２２は入力される電気信号１９ａに対して所定の
信号処理を行って、微粒子１１がビーム光１５を散乱す
ることによって発生する第４図における三角波状パルス
５ａｌを含む前述の検出信号５ａを出力するようにした
信号処理部で、検出信号出力部５は上述したフローセル
１０と投光部１２と受光部１７とビームブロック２１と
信号処理部２２とで構成されている。 第５図では検出信号出力部５が上述のように構成されて
いるから、この検出信号５ａに現れる前述のパルス５ａ
ｌが一個の微粒子１１に対応していることは明らかで、
したがって、濃度信号出力部９の計数動作にもとづく前
述の計数値Ｎが前述の計数時間Ｔの間に検出信号出力部
５によって検出されてかつ濃度信号出力部９によって計
数された液体４中の微粒子１１の個数を表していること
が明らかである。ところが、この場合、検出信号出力部
５を貫流する液体４の瞬時流量が下であるから、今、検
出信号出力部５によって検出されてかつ濃度信号出力部
９において計数されることができる微粒子１１の個数の
液体４における真の個数に対する割合（以後、この割合
を信号出力部５と９とからなる部分の微粒子１１の個数
に対する検出感度、あるいは単に検出感度ということが
ある。）をＲとすると、液体４中の微粒子１１の個数濃
度Ｃは（１）式で表され、さらに、この場合、上述した
ように流量Ｆ及び時間Ｔがそれぞれ一定値であるから、
検出感度Ｒを一定値とすると、（１）式から濃度Ｃが計
数値Ｎに比例することが明らかである。故に、この濃度
信号出力部９は、前述したように、計数値Ｎに比例した
液体４中の微粒子１１の個数濃度Ｃを表す濃度信号９ａ
を出力するものであるということになる。 Ｃ＝Ｎ／ （Ｆ −Ｔ 、Ｒ） −・−・−・−−−
−一一−−−−−・−・（１）
微粒子測定装置１は上述のように構成されているので、
この装置１においては流量Ｆと時間Ｔと感度Ｒとがそれ
ぞれ不変の値となっていれば濃度信号９ａにもとづいて
微粒子１１の濃度を正確に知ることができる。ところが
、測定装置１においては、定流量弁７及び定位槽８によ
って流ＩＦを一応定流量化してはいるものの、複雑な内
部流路構成を有する定流量弁７内の狭い流路部分に液体
４中の気泡が滞溜し易いのが通例であるため、実際には
、気泡の滞溜、流出に伴って流量Ｆが変動するという現
象がある。そうして、また、測定装置１においては、た
とえば、濃度Ｃが非常に高くなると検出信号出力部５や
濃度信号出力部９における各部の入力信号に対する応答
遅れ等のために微粒子１１に対する計数漏れが多くなる
などして、実際には検出感度Ｒが流ｉＦの関数になって
いる。 したがって、微粒子測定装置１には、定流量弁７及び定
位槽８で流量Ｆを定流量化しているものの１、液体４中
の気泡のために流ｉＦが変動しかつ感度Ｒが変動するの
で、微粒子１１の濃度Ｃに対する測定結果に大きい誤差
が発生するという問題点がある。また、微粒子測定装置
１では種々の薬液を液体４として取り扱うことになるが
、この場合このような薬液に対して適切な耐食性を有す
る材料で複雑な機構の定流量弁７を形成しなければなら
ないので、このような場合、測定装置１には定流量弁７
の入手が困難で該装置１の製作が容易でないという問題
点もある。 本発明の目的は、上述の欠点を有する定流量弁７のかわ
りに機構が筒車でこのため入手が容易な通常の流量制御
弁を用いて流量Ｆを定流量化するようにして、微粒子１
１の濃度Ｃに対する測定結果に流量Ｆの変動にもとづく
誤差が発生しないようにすると共に微粒子測定装置の製
作が容易に行えるようにすることにある。また、流ＩＦ
が変動してこの結果感度Ｒが変動しても、この流量Ｆを
測定すると共に流量Ｆに対応した感度Ｒを自動的に求め
てしかる後（１）式で濃度Ｃを算出するようにして、定
流量弁７の有無にかかわらず上記の濃度Ｃを流ＩＦの変
動の影響を受けることなく正しく測定できるようにする
ことにある。
この装置１においては流量Ｆと時間Ｔと感度Ｒとがそれ
ぞれ不変の値となっていれば濃度信号９ａにもとづいて
微粒子１１の濃度を正確に知ることができる。ところが
、測定装置１においては、定流量弁７及び定位槽８によ
って流ＩＦを一応定流量化してはいるものの、複雑な内
部流路構成を有する定流量弁７内の狭い流路部分に液体
４中の気泡が滞溜し易いのが通例であるため、実際には
、気泡の滞溜、流出に伴って流量Ｆが変動するという現
象がある。そうして、また、測定装置１においては、た
とえば、濃度Ｃが非常に高くなると検出信号出力部５や
濃度信号出力部９における各部の入力信号に対する応答
遅れ等のために微粒子１１に対する計数漏れが多くなる
などして、実際には検出感度Ｒが流ｉＦの関数になって
いる。 したがって、微粒子測定装置１には、定流量弁７及び定
位槽８で流量Ｆを定流量化しているものの１、液体４中
の気泡のために流ｉＦが変動しかつ感度Ｒが変動するの
で、微粒子１１の濃度Ｃに対する測定結果に大きい誤差
が発生するという問題点がある。また、微粒子測定装置
１では種々の薬液を液体４として取り扱うことになるが
、この場合このような薬液に対して適切な耐食性を有す
る材料で複雑な機構の定流量弁７を形成しなければなら
ないので、このような場合、測定装置１には定流量弁７
の入手が困難で該装置１の製作が容易でないという問題
点もある。 本発明の目的は、上述の欠点を有する定流量弁７のかわ
りに機構が筒車でこのため入手が容易な通常の流量制御
弁を用いて流量Ｆを定流量化するようにして、微粒子１
１の濃度Ｃに対する測定結果に流量Ｆの変動にもとづく
誤差が発生しないようにすると共に微粒子測定装置の製
作が容易に行えるようにすることにある。また、流ＩＦ
が変動してこの結果感度Ｒが変動しても、この流量Ｆを
測定すると共に流量Ｆに対応した感度Ｒを自動的に求め
てしかる後（１）式で濃度Ｃを算出するようにして、定
流量弁７の有無にかかわらず上記の濃度Ｃを流ＩＦの変
動の影響を受けることなく正しく測定できるようにする
ことにある。
上記目的を達成するため、本発明においては、微粒子を
含む流動する液体に光を投射することによって該液体か
ら出射される散乱光を検出してこの検出結果に応じた検
出信号を出力する検出信号部と、前記検出信号が入力さ
れこの検出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数し
てはこの計数結果に応じた濃度信号を出力する動作をく
り返す濃度信号出力部と、前記検出信号が入力されかつ
この検出信号に含まれる前記パルスについて所定の演算
を前記所定時間の間前記濃度信号出力部におけるパルス
計数動作に同期して行って前記液体の瞬時流量に応じた
流量信号を出力する流量演算部と、前記流量信号を用い
て前記液体の瞬時流量が所定値になるように前記液体の
流動をフィードバック制御する流量制御部とを備え、前
記濃度信号にもとづき前記液体における前記微粒子の個
数濃度を測定するように液体中の微粒子測定装置を構成
するものとする。 そうして、また、本発明においては、微粒子を含む流動
する液体に光を投射することによって該液体から出射さ
れる散乱光を検出してこの検出結果に応じた検出信号を
出力する検出信号出力部と、前記検出信号が入力されこ
の検出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数しては
この計数結果に応じた計数信号を出力する動作をくり返
す計数部と、前記検出信号のが入力されこの検出信号に
含まれる前記パルスについて所定の演算を前記所定時間
の間前記計数部におけるパルス計数動作に同期して行っ
て前記液体の瞬時流量に応じた流量信号を出力する流量
演算部と、前記流量信号が入力されこの流量信号の値に
応じた値の検出感度信号を出力する感度演算部と、前記
計数信号と前記流量信号と前記検出感度信号とが入力さ
れこれらの入力信号を用いて所定の濃度演算を行ってこ
の結果に応した濃度信号を出力する濃度演算部とを備え
、前記濃度信号にもとづき前記液体における前記微粒子
の個数濃度を測定する液体中の微粒子測定装置であって
、前記検出感度信号は前記検出信号出力部と前記計数部
とからなる部分の前記微粒子の個数に対する検出感度を
表す信号であるように液体中の微粒子測定装置を構成す
るものとする。
含む流動する液体に光を投射することによって該液体か
ら出射される散乱光を検出してこの検出結果に応じた検
出信号を出力する検出信号部と、前記検出信号が入力さ
れこの検出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数し
てはこの計数結果に応じた濃度信号を出力する動作をく
り返す濃度信号出力部と、前記検出信号が入力されかつ
この検出信号に含まれる前記パルスについて所定の演算
を前記所定時間の間前記濃度信号出力部におけるパルス
計数動作に同期して行って前記液体の瞬時流量に応じた
流量信号を出力する流量演算部と、前記流量信号を用い
て前記液体の瞬時流量が所定値になるように前記液体の
流動をフィードバック制御する流量制御部とを備え、前
記濃度信号にもとづき前記液体における前記微粒子の個
数濃度を測定するように液体中の微粒子測定装置を構成
するものとする。 そうして、また、本発明においては、微粒子を含む流動
する液体に光を投射することによって該液体から出射さ
れる散乱光を検出してこの検出結果に応じた検出信号を
出力する検出信号出力部と、前記検出信号が入力されこ
の検出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数しては
この計数結果に応じた計数信号を出力する動作をくり返
す計数部と、前記検出信号のが入力されこの検出信号に
含まれる前記パルスについて所定の演算を前記所定時間
の間前記計数部におけるパルス計数動作に同期して行っ
て前記液体の瞬時流量に応じた流量信号を出力する流量
演算部と、前記流量信号が入力されこの流量信号の値に
応じた値の検出感度信号を出力する感度演算部と、前記
計数信号と前記流量信号と前記検出感度信号とが入力さ
れこれらの入力信号を用いて所定の濃度演算を行ってこ
の結果に応した濃度信号を出力する濃度演算部とを備え
、前記濃度信号にもとづき前記液体における前記微粒子
の個数濃度を測定する液体中の微粒子測定装置であって
、前記検出感度信号は前記検出信号出力部と前記計数部
とからなる部分の前記微粒子の個数に対する検出感度を
表す信号であるように液体中の微粒子測定装置を構成す
るものとする。
【作用】
上記のように構成すると、流量制御部を設けた発明にお
いては、前述した気泡の滞溜し易い定流量弁を使用しな
くても、気泡が滞溜し難くかつ構成材料の面で入手が容
易な通常の流量制御弁を用いた該流量制御部によって液
体の瞬時流量が定流量化されるので、前記定流量弁にお
けるような気泡の滞溜、流出に伴う液体の瞬時流量の変
動が無くなって、濃度信号出力部が出力する濃度信号に
よって液体中の微粒子の個数濃度を正しく測定すること
ができることになる。そうして、また、この場合、上記
の流量制御弁を使用するので微粒子測定装置の製作が容
易になる。 そうして、さらに、感度演算部と濃度演算部とを設けた
上記の発明においては、濃度演算部において（１）式右
辺の演算を行わせてこの演算結果の濃度Ｃに応じた信号
を濃度信号として出力するように該濃度演算部を構成す
ることができるので、この濃度信号によって、前述した
定流量弁７の有無にかかわらず、微粒子濃度Ｃを液体の
瞬時流量の変動の影響を受けることなく正しく測定する
ことができることになる。
いては、前述した気泡の滞溜し易い定流量弁を使用しな
くても、気泡が滞溜し難くかつ構成材料の面で入手が容
易な通常の流量制御弁を用いた該流量制御部によって液
体の瞬時流量が定流量化されるので、前記定流量弁にお
けるような気泡の滞溜、流出に伴う液体の瞬時流量の変
動が無くなって、濃度信号出力部が出力する濃度信号に
よって液体中の微粒子の個数濃度を正しく測定すること
ができることになる。そうして、また、この場合、上記
の流量制御弁を使用するので微粒子測定装置の製作が容
易になる。 そうして、さらに、感度演算部と濃度演算部とを設けた
上記の発明においては、濃度演算部において（１）式右
辺の演算を行わせてこの演算結果の濃度Ｃに応じた信号
を濃度信号として出力するように該濃度演算部を構成す
ることができるので、この濃度信号によって、前述した
定流量弁７の有無にかかわらず、微粒子濃度Ｃを液体の
瞬時流量の変動の影響を受けることなく正しく測定する
ことができることになる。
第１図は本発明の第１実施例の構成図で、本図の第５図
と異なる所は、検出信号５ａが入力され、かつこの検出
信号５ａに含まれる前述のパルス５ａｌについて所定の
演算を前記計数時間Ｔに等しい時間の間濃度信号出力部
９における前述の計数動作に同期して行って、その結果
液体４の瞬時流量Ｆに応じた流量信号２３ａを出力する
ようにした流量演算部２３と、この流量信号２３ａを用
いて液体４の瞬時流量Ｆが所定の設定値Ｆ、になるよう
に液体４の流動をフィードバック制御する流量制御部２
４とが設けられていて、前述した定流量弁７と定位槽８
とが設けられていないことである。そうして、この場合
、流量制御部２４は、入力される調節信号２５ａに応じ
て液体４の瞬時流量Ｆを下流側上路６において制御する
流量制御弁２６と、流量信号２３ａが入力されると、こ
の信号２３ａが表す前述の流量Ｆと内蔵の’ｌＡ量設定
設定器２５１定された上述の流量設定値Ｆ、との差に応
じた前記の調節信号２５ａを出力して、制御弁２６によ
って液体４の流量ＦとＦ８に一致させるようにした流１
節器２５とで構成されており、また、流量演算部２３は
上述した所定の演算を行うために以下に説明するように
構成されている。 次に、流量演算部２３における要部の動作原理をまず説
明する。すなわち、第１図においては第６図に示した検
出信号出力部５が用いられていて、第６図においては、
光ビーム１５を点０の左右に光軸Ａ−Ａに沿って振動さ
せるように投光部１２が構成されており、この光ビーム
１５の振動の速さは液体４の流動速度に比べて非常に速
い速さとなっているから、この場合、点Ｏを通って第６
図の紙面に垂直な仮想軸線Ｚ−Ｚと光軸Ａ−Ａとがなす
平面が、第３図に示したように、幅がビーム光１５の直
径ｄに等しくかつ長さがＬである細長い形状のビームス
ポット２７で照射されているのと等価である。そうして
、検出信号出力部５においては、ビ−ムスポット２７が
すべて受光部１７の三次元的視野領域に入るように該受
光部が構成されているが、この視野領域はフローセル１
０の断面のほぼ中心に設定された点０を中心とした半径
１００〔μｍ］程度の微小な領域であるから、この視野
領域を通過する微粒子１１は、該視野領域のどこを通過
するものであっても、すべてフローセル１０内における
液体４の最大線流速に等しい流速υで仮想軸線ＺＺに平
行に移動すると考えることができる。したがって、ビー
ムスポット２７を横切る微粒子１１が第３図に示したよ
うに直径りの球状である場合、この微粒子１１がビーム
スポット２７を横切ると該微粒子からビーム光１５の散
乱光が出射されて、この結果第１図または第５図に示し
た検出信号５ａに第４回に示したような前述した三角波
状パルス５ａｌが現れる。 そうして、この場合、パルス５ａｌの波高値Ｈと微粒子
１１の直径りとの間にはβをＨの関数として（２）弐の
関係があり、また、第４図に示したパルス５ａｌの波形
が現れてから消滅するまでの時間をＬとして（３）式の
関係があって、さらに、流体４の最大線流速υと液体４
の瞬時流量Ｆとの間にはαを定数係数として（４）式の
関係があるので、（２）〜（４）式から（５）式が得ら
れ、この（５）式は微粒子１１がすべて等しい直径りを
有している場合、予めα、βを求めておくと波高値１１
と時間りとを測定することによって液体４の流量Ｆを知
ることができることを示している。 Ｄ＝β・Ｈ−−−一・−・−−−−−（２）ｔ ＝ （
ｄ ＋ Ｄ ） ／ ｖ −−−−−−・−・
・・−（３）Ｆ＝α・Ｖ ・・−・−−
一一一−−−−（４）Ｆ−α・ （ｄ＋β・Ｈ） ／ｌ
・−・・〜−−−−−−−（５）ところが、実際に
は、微粒子１１の直径は該微粒子ごとに異なっているの
が普通である。したがって、検出信号５ａにパルス５ａ
ｌが現れるごとにこのパルス５ａｌの波高値Ｈｉとパル
ス発生時間し。 とを測定して（６）式右辺の演算を行う動作を所定時間
τの間継続した後（７）式左辺の演算を行うと、（７）
式の演算結果Ｆ、は、時間τが通常比較的短い時間であ
るから、はぼその時点における液体４の流ＩＦに等しく
なっていると考えることができる。 （６）、 （力式におけるｉは時間τの間に検出信号５
ａに現れたパルス５ａｌの番号である。 Ｆ、−α・ （ｄ＋β８ ・Ｈム） ／ ｔ ｒ （
６）（ΣＦ＝）／Ｈ＝Ｆ。 なお、（６）式で使用するα、βｉは、直径りが既知で
あるポリスチレンラテックス球等の標準微粒子を含む液
体４を異なる二種類の流量で予めフローセル１０内を貫
流させることによって、実験的に求められることが明ら
かである。 さて、上述した流量演算部２３は上記した（６）及び（
７）弐の演算を行って平均流量Ｆ１に応じた流量信号２
３ａを出力するようになっていて、この場合、演算部２
３は、検出信号５ａが入力され、かつこの信号５ａにパ
ルス５ａｌが表れると波高値Ｈ８とパルス発生時間１．
とを測定して予め蓄積されているデータの中からＨｌに
応じた係数β、を選択する動作を行うパルス検出部２３
１と、パルス検出部２３１でＨ，、ｔ、、 β五の測
定並びに選択が行われるとこれらの結果を用いて（６）
式右辺の演算を行って演算結果のＦ、に応じた信号を出
力する第１演算部２３２と、演算部２３２から出力され
る信号を用いて（７）式左辺の演算を行ってＦ、に応じ
た信号２３ａを出力する第２演算部２３３とで構成され
ている。そうして、演算部２３においては、検出信号５
ａにパルス５ａｌが現れるごとに波高値Ｈ４とパルス発
生時間ｔ、とを測定して（６）式右辺の演算を行う、パ
ルス検出部２３１と第１演算部２３２とからなる部分が
行う動作を、図示していない機構によって、濃度信号出
力部９で行われる計数動作の計数時間Ｔに同期してかつ
該時間Ｔに等しい前述の時間１０間継続して行っては、
この時間τの直後に第２演算部２３３で（７）式左辺の
演算を行って信号２３ａを出力するように各部が構成さ
れている。第１し１の２８は、上記のように構成された
流量演算部２３と流量制御部２４と検出信号出力部５と
濃度信号出力部９とからなる微粒子測定装置である。 微粒子測定装置２８においては各部が上述のように構成
されいるので検出信号出力部５と流量演算部２３とで液
体４の瞬時流量を測定する流量検出機構が形成されてい
ることが明らかで、また、この場合、この流量検出機構
が検出した流量Ｆ、が流量制御部２４によって設定流量
Ｆ、に一致するように制御されることが明らかである。 したがって、微粒子測定装置２８においては、流量制御
弁２６に、気泡が滞溜し易くかつ入手の点に難がある前
述した定流量弁７を使用しなくても、気泡が滞溜するこ
とが少なくかつ構成材料の面で入手の容易な通常の制御
弁を使用して液体４の瞬時流量を定流量化することがで
きるので、気泡の滞溜に起因する液体４の流量変動を生
じることがなくなって、この結果濃度信号９ａによって
液体４中の微粒子１１の濃度Ｃを精度良く測定すること
ができることになり、また弁２６の入手が容易であるか
ら微粒子測定装置２８を容易に製作することができるこ
とになる。 第２図は本発明の第２実施例としての微粒子測定装置２
９の構成図である。そうして、本図の第１図と異なる所
は、第１図の濃度信号出力部９に対応して計数部３０が
設けられていることと、共に流量信号２３ａが入力され
る感度演算部３１と濃度演算部３２とが設けられている
ことと、第１図で設けた流量制御部２４が設けられてい
ないことであって、この場合、計数部３０は、検出信号
５ａが入力され、かつ前述の計数時間Ｔに等しい時間の
量検出信号５ａに含まれるパルス５ａｌを計数してはこ
の計数結果の個数Ｎを表す計数信号３０ａを出力する動
作を時間Ｔを経過するごとにくり返して行うように構成
されており、また、感度演算部３１には前述した検出感
度Ｒが液体４の流ｉＦの関数として記憶させられていて
、この演算部３１に流量信号２３ａが入力されると信号
２３ａが表す流量Ｆ１に対応した検出感度Ｒ１を表す検
出感度信号３１ａを出力するように該演算部３１が構成
されている。そうして、さらに、第２図においては、濃
度演算部３２が、計数信号３０ａと流量信号２３ａと検
出感度信号３１ａとが入力されることによって、これら
の各信号が表す計数値Ｎと瞬時流量値Ｆａと検出感度Ｒ
，とを用いて（１）式に対応した（８）弐右辺の演算を
行って、濃度Ｃ，に応じた濃度信号３２ａを出力するよ
うに構成されている。 Ｃ，＝Ｎ／ （Ｆ、 ・Ｔ −Ｒ，） −−−−−
’ （８）また、第２図においても、第１図におけると
同様に、演算部２３においてパルス検出部２３１ と第
１演算部２３２とからなる部分が行う前述の動作が、図
示していない機構によって、計数部３０で行われる計数
動作の計数時間Ｔに同期してかつ該時間Ｔに等しい時間
τの間継続して行われるように、該演算部２３が構成さ
れている。 微粒子測定装置２９は上述のように構成されているので
、この測定袋Ｗ２９によれば、濃度信号３２ａによって
、液体４中の微粒子１１の濃度を、第５図に示したよう
な定流量弁７の有無にかかわらず、また液体４の流量変
動の影響を受けることなく、正しく測定することができ
る。
と異なる所は、検出信号５ａが入力され、かつこの検出
信号５ａに含まれる前述のパルス５ａｌについて所定の
演算を前記計数時間Ｔに等しい時間の間濃度信号出力部
９における前述の計数動作に同期して行って、その結果
液体４の瞬時流量Ｆに応じた流量信号２３ａを出力する
ようにした流量演算部２３と、この流量信号２３ａを用
いて液体４の瞬時流量Ｆが所定の設定値Ｆ、になるよう
に液体４の流動をフィードバック制御する流量制御部２
４とが設けられていて、前述した定流量弁７と定位槽８
とが設けられていないことである。そうして、この場合
、流量制御部２４は、入力される調節信号２５ａに応じ
て液体４の瞬時流量Ｆを下流側上路６において制御する
流量制御弁２６と、流量信号２３ａが入力されると、こ
の信号２３ａが表す前述の流量Ｆと内蔵の’ｌＡ量設定
設定器２５１定された上述の流量設定値Ｆ、との差に応
じた前記の調節信号２５ａを出力して、制御弁２６によ
って液体４の流量ＦとＦ８に一致させるようにした流１
節器２５とで構成されており、また、流量演算部２３は
上述した所定の演算を行うために以下に説明するように
構成されている。 次に、流量演算部２３における要部の動作原理をまず説
明する。すなわち、第１図においては第６図に示した検
出信号出力部５が用いられていて、第６図においては、
光ビーム１５を点０の左右に光軸Ａ−Ａに沿って振動さ
せるように投光部１２が構成されており、この光ビーム
１５の振動の速さは液体４の流動速度に比べて非常に速
い速さとなっているから、この場合、点Ｏを通って第６
図の紙面に垂直な仮想軸線Ｚ−Ｚと光軸Ａ−Ａとがなす
平面が、第３図に示したように、幅がビーム光１５の直
径ｄに等しくかつ長さがＬである細長い形状のビームス
ポット２７で照射されているのと等価である。そうして
、検出信号出力部５においては、ビ−ムスポット２７が
すべて受光部１７の三次元的視野領域に入るように該受
光部が構成されているが、この視野領域はフローセル１
０の断面のほぼ中心に設定された点０を中心とした半径
１００〔μｍ］程度の微小な領域であるから、この視野
領域を通過する微粒子１１は、該視野領域のどこを通過
するものであっても、すべてフローセル１０内における
液体４の最大線流速に等しい流速υで仮想軸線ＺＺに平
行に移動すると考えることができる。したがって、ビー
ムスポット２７を横切る微粒子１１が第３図に示したよ
うに直径りの球状である場合、この微粒子１１がビーム
スポット２７を横切ると該微粒子からビーム光１５の散
乱光が出射されて、この結果第１図または第５図に示し
た検出信号５ａに第４回に示したような前述した三角波
状パルス５ａｌが現れる。 そうして、この場合、パルス５ａｌの波高値Ｈと微粒子
１１の直径りとの間にはβをＨの関数として（２）弐の
関係があり、また、第４図に示したパルス５ａｌの波形
が現れてから消滅するまでの時間をＬとして（３）式の
関係があって、さらに、流体４の最大線流速υと液体４
の瞬時流量Ｆとの間にはαを定数係数として（４）式の
関係があるので、（２）〜（４）式から（５）式が得ら
れ、この（５）式は微粒子１１がすべて等しい直径りを
有している場合、予めα、βを求めておくと波高値１１
と時間りとを測定することによって液体４の流量Ｆを知
ることができることを示している。 Ｄ＝β・Ｈ−−−一・−・−−−−−（２）ｔ ＝ （
ｄ ＋ Ｄ ） ／ ｖ −−−−−−・−・
・・−（３）Ｆ＝α・Ｖ ・・−・−−
一一一−−−−（４）Ｆ−α・ （ｄ＋β・Ｈ） ／ｌ
・−・・〜−−−−−−−（５）ところが、実際に
は、微粒子１１の直径は該微粒子ごとに異なっているの
が普通である。したがって、検出信号５ａにパルス５ａ
ｌが現れるごとにこのパルス５ａｌの波高値Ｈｉとパル
ス発生時間し。 とを測定して（６）式右辺の演算を行う動作を所定時間
τの間継続した後（７）式左辺の演算を行うと、（７）
式の演算結果Ｆ、は、時間τが通常比較的短い時間であ
るから、はぼその時点における液体４の流ＩＦに等しく
なっていると考えることができる。 （６）、 （力式におけるｉは時間τの間に検出信号５
ａに現れたパルス５ａｌの番号である。 Ｆ、−α・ （ｄ＋β８ ・Ｈム） ／ ｔ ｒ （
６）（ΣＦ＝）／Ｈ＝Ｆ。 なお、（６）式で使用するα、βｉは、直径りが既知で
あるポリスチレンラテックス球等の標準微粒子を含む液
体４を異なる二種類の流量で予めフローセル１０内を貫
流させることによって、実験的に求められることが明ら
かである。 さて、上述した流量演算部２３は上記した（６）及び（
７）弐の演算を行って平均流量Ｆ１に応じた流量信号２
３ａを出力するようになっていて、この場合、演算部２
３は、検出信号５ａが入力され、かつこの信号５ａにパ
ルス５ａｌが表れると波高値Ｈ８とパルス発生時間１．
とを測定して予め蓄積されているデータの中からＨｌに
応じた係数β、を選択する動作を行うパルス検出部２３
１と、パルス検出部２３１でＨ，、ｔ、、 β五の測
定並びに選択が行われるとこれらの結果を用いて（６）
式右辺の演算を行って演算結果のＦ、に応じた信号を出
力する第１演算部２３２と、演算部２３２から出力され
る信号を用いて（７）式左辺の演算を行ってＦ、に応じ
た信号２３ａを出力する第２演算部２３３とで構成され
ている。そうして、演算部２３においては、検出信号５
ａにパルス５ａｌが現れるごとに波高値Ｈ４とパルス発
生時間ｔ、とを測定して（６）式右辺の演算を行う、パ
ルス検出部２３１と第１演算部２３２とからなる部分が
行う動作を、図示していない機構によって、濃度信号出
力部９で行われる計数動作の計数時間Ｔに同期してかつ
該時間Ｔに等しい前述の時間１０間継続して行っては、
この時間τの直後に第２演算部２３３で（７）式左辺の
演算を行って信号２３ａを出力するように各部が構成さ
れている。第１し１の２８は、上記のように構成された
流量演算部２３と流量制御部２４と検出信号出力部５と
濃度信号出力部９とからなる微粒子測定装置である。 微粒子測定装置２８においては各部が上述のように構成
されいるので検出信号出力部５と流量演算部２３とで液
体４の瞬時流量を測定する流量検出機構が形成されてい
ることが明らかで、また、この場合、この流量検出機構
が検出した流量Ｆ、が流量制御部２４によって設定流量
Ｆ、に一致するように制御されることが明らかである。 したがって、微粒子測定装置２８においては、流量制御
弁２６に、気泡が滞溜し易くかつ入手の点に難がある前
述した定流量弁７を使用しなくても、気泡が滞溜するこ
とが少なくかつ構成材料の面で入手の容易な通常の制御
弁を使用して液体４の瞬時流量を定流量化することがで
きるので、気泡の滞溜に起因する液体４の流量変動を生
じることがなくなって、この結果濃度信号９ａによって
液体４中の微粒子１１の濃度Ｃを精度良く測定すること
ができることになり、また弁２６の入手が容易であるか
ら微粒子測定装置２８を容易に製作することができるこ
とになる。 第２図は本発明の第２実施例としての微粒子測定装置２
９の構成図である。そうして、本図の第１図と異なる所
は、第１図の濃度信号出力部９に対応して計数部３０が
設けられていることと、共に流量信号２３ａが入力され
る感度演算部３１と濃度演算部３２とが設けられている
ことと、第１図で設けた流量制御部２４が設けられてい
ないことであって、この場合、計数部３０は、検出信号
５ａが入力され、かつ前述の計数時間Ｔに等しい時間の
量検出信号５ａに含まれるパルス５ａｌを計数してはこ
の計数結果の個数Ｎを表す計数信号３０ａを出力する動
作を時間Ｔを経過するごとにくり返して行うように構成
されており、また、感度演算部３１には前述した検出感
度Ｒが液体４の流ｉＦの関数として記憶させられていて
、この演算部３１に流量信号２３ａが入力されると信号
２３ａが表す流量Ｆ１に対応した検出感度Ｒ１を表す検
出感度信号３１ａを出力するように該演算部３１が構成
されている。そうして、さらに、第２図においては、濃
度演算部３２が、計数信号３０ａと流量信号２３ａと検
出感度信号３１ａとが入力されることによって、これら
の各信号が表す計数値Ｎと瞬時流量値Ｆａと検出感度Ｒ
，とを用いて（１）式に対応した（８）弐右辺の演算を
行って、濃度Ｃ，に応じた濃度信号３２ａを出力するよ
うに構成されている。 Ｃ，＝Ｎ／ （Ｆ、 ・Ｔ −Ｒ，） −−−−−
’ （８）また、第２図においても、第１図におけると
同様に、演算部２３においてパルス検出部２３１ と第
１演算部２３２とからなる部分が行う前述の動作が、図
示していない機構によって、計数部３０で行われる計数
動作の計数時間Ｔに同期してかつ該時間Ｔに等しい時間
τの間継続して行われるように、該演算部２３が構成さ
れている。 微粒子測定装置２９は上述のように構成されているので
、この測定袋Ｗ２９によれば、濃度信号３２ａによって
、液体４中の微粒子１１の濃度を、第５図に示したよう
な定流量弁７の有無にかかわらず、また液体４の流量変
動の影響を受けることなく、正しく測定することができ
る。
上述したように、本発明においては、微粒子を含む流動
する液体に光を投射することによって該液体から出射さ
れる散乱光を検出してこの検出結果に応じた検出信号を
出力する検出信号出力部と、検出信号が入力されこの検
出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数してはこの
計数結果に応じた濃度信号を出力する動作をくり返す濃
度信号出力部と、検出信号が入力されかつこの検出信号
に含まれるパルスについて所定の演算を前記所定時間の
間濃度信号出力部におけるパルス計数動作に同期して行
って液体の瞬時流量に応じた流量信号を出力する流量演
算部と、流量信号を用いて液体の瞬時流量が所定値にな
るように液体の流動をフィードバック制御する流量制御
部とを備え、前記濃度信号にもとづき液体における微粒
子の個数濃度を測定するように液体中の微粒子測定装置
を構成した。 このため、上記のように構成すると、前述した気泡の滞
溜し易い定流量弁を使用しなくても、気泡が滞溜し難く
かつ構成材料の面で入手が容易な通常の流量制御弁を用
いた該流量制御部によって液体の瞬時流量が定流量化さ
れるので、本発明には、前記定流量弁におけるような気
泡の滞溜、流出に伴う液体の瞬時流量の変動が無くなっ
て、濃度信号出力部が出力する濃度信号によって液体中
の微粒子の個数濃度を正しく測定することができる効果
がある。そうして、また、本発明においては、上記の流
量制御弁を使用するので微粒子測定装置の製作が容易に
なる効果がある。 そうして、さらに、本発明においては、微粒子を含む流
動する液体に光を投射することによって該液体から出射
される散乱光を検出してこの検出結果に応じた検出信号
を出力する検出信号出力部と、検出信号が入力されこの
検出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数してはこ
の計数結果に応じた計数信号を出力する動作をくり返す
計数部と、前記検出信号が入力されこの検出信号に含ま
れるパルスについて所定の演算を前記所定時間の間計数
部におけるパルス計数動作に同期して行って液体の瞬時
流量に応じた流量信号を出力する流量演算部と、流量信
号が入力され、この流量信号の値に応じた値の検出感度
信号を出力する感度演算部と、計数信号と流量信号と検
出感度信号とが入力されこれらの入力信号を用いて所定
の濃度演算を行ってこの結果に応じた濃度信号を出力す
る濃度演算部とを備え、前記濃度信号にもとづき液体に
おける微粒子の個数濃度を測定する液体中の微粒子測定
装置であって、検出感度信号は検出信号出力部と計数部
とからなる部分の微粒子の個数に対する検出感度を表す
信号であるようにして液体中の微粒子測定装置を構成し
た。 このため、上記のように微粒子測定装置を構成すると、
濃度演算部において、（１）式右辺の演算を行わせてこ
の演算結果の濃度Ｃに応じた信号を濃度信号として出力
するように該濃度演算部を構成することができるので、
この発明には濃度信号によって、前述した定流量弁７の
有無にかかわらず、微粒子濃度Ｃを液体の瞬時流量の変
動の影響を受けることなく正しく測定することができる
効果がある。
する液体に光を投射することによって該液体から出射さ
れる散乱光を検出してこの検出結果に応じた検出信号を
出力する検出信号出力部と、検出信号が入力されこの検
出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数してはこの
計数結果に応じた濃度信号を出力する動作をくり返す濃
度信号出力部と、検出信号が入力されかつこの検出信号
に含まれるパルスについて所定の演算を前記所定時間の
間濃度信号出力部におけるパルス計数動作に同期して行
って液体の瞬時流量に応じた流量信号を出力する流量演
算部と、流量信号を用いて液体の瞬時流量が所定値にな
るように液体の流動をフィードバック制御する流量制御
部とを備え、前記濃度信号にもとづき液体における微粒
子の個数濃度を測定するように液体中の微粒子測定装置
を構成した。 このため、上記のように構成すると、前述した気泡の滞
溜し易い定流量弁を使用しなくても、気泡が滞溜し難く
かつ構成材料の面で入手が容易な通常の流量制御弁を用
いた該流量制御部によって液体の瞬時流量が定流量化さ
れるので、本発明には、前記定流量弁におけるような気
泡の滞溜、流出に伴う液体の瞬時流量の変動が無くなっ
て、濃度信号出力部が出力する濃度信号によって液体中
の微粒子の個数濃度を正しく測定することができる効果
がある。そうして、また、本発明においては、上記の流
量制御弁を使用するので微粒子測定装置の製作が容易に
なる効果がある。 そうして、さらに、本発明においては、微粒子を含む流
動する液体に光を投射することによって該液体から出射
される散乱光を検出してこの検出結果に応じた検出信号
を出力する検出信号出力部と、検出信号が入力されこの
検出信号に含まれるパルスを所定時間の間計数してはこ
の計数結果に応じた計数信号を出力する動作をくり返す
計数部と、前記検出信号が入力されこの検出信号に含ま
れるパルスについて所定の演算を前記所定時間の間計数
部におけるパルス計数動作に同期して行って液体の瞬時
流量に応じた流量信号を出力する流量演算部と、流量信
号が入力され、この流量信号の値に応じた値の検出感度
信号を出力する感度演算部と、計数信号と流量信号と検
出感度信号とが入力されこれらの入力信号を用いて所定
の濃度演算を行ってこの結果に応じた濃度信号を出力す
る濃度演算部とを備え、前記濃度信号にもとづき液体に
おける微粒子の個数濃度を測定する液体中の微粒子測定
装置であって、検出感度信号は検出信号出力部と計数部
とからなる部分の微粒子の個数に対する検出感度を表す
信号であるようにして液体中の微粒子測定装置を構成し
た。 このため、上記のように微粒子測定装置を構成すると、
濃度演算部において、（１）式右辺の演算を行わせてこ
の演算結果の濃度Ｃに応じた信号を濃度信号として出力
するように該濃度演算部を構成することができるので、
この発明には濃度信号によって、前述した定流量弁７の
有無にかかわらず、微粒子濃度Ｃを液体の瞬時流量の変
動の影響を受けることなく正しく測定することができる
効果がある。
第１図は本発明の第１実施例の構成図、第２図は本発明
の第２実施例の構成図、第３図及び第４図は共に第１図
及び第２図に示した要部の動作を説明するための異なる
動作説明図、第５図は従来の微粒子測定装置の構成図、
第６図は第１図、第２図及び第５図のそれぞれに示した
検出信号出力部の構成図である。 １．２８．２９−ｍ−微粒子測定装置、４− 被測定液
、５− 検出信号出力部、５ａ −検出信号、５ａｌ・
−パルス、９−・・濃度信号出力部、９ａ、３２ａ
・濃度信号、１１− 微粒子、１５− ビーム光、
２３流量演算部、２３ａ −流量信号、２４− 流
量制御部、３〇−計数部、３０ａ −・−計数信号、
３１− 感度演算部、３１ａ −検出感度信号、３
２− 濃度演算部。
の第２実施例の構成図、第３図及び第４図は共に第１図
及び第２図に示した要部の動作を説明するための異なる
動作説明図、第５図は従来の微粒子測定装置の構成図、
第６図は第１図、第２図及び第５図のそれぞれに示した
検出信号出力部の構成図である。 １．２８．２９−ｍ−微粒子測定装置、４− 被測定液
、５− 検出信号出力部、５ａ −検出信号、５ａｌ・
−パルス、９−・・濃度信号出力部、９ａ、３２ａ
・濃度信号、１１− 微粒子、１５− ビーム光、
２３流量演算部、２３ａ −流量信号、２４− 流
量制御部、３〇−計数部、３０ａ −・−計数信号、
３１− 感度演算部、３１ａ −検出感度信号、３
２− 濃度演算部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）微粒子を含む流動する液体に光を投射することによ
って該液体から出射される散乱光を検出してこの検出結
果に応じた検出信号を出力する検出信号出力部と、前記
検出信号が入力されこの検出信号に含まれるパルスを所
定時間の間計数してはこの計数結果に応じた濃度信号を
出力する動作をくり返す濃度信号出力部と、前記検出信
号が入力されかつこの検出信号に含まれる前記パルスに
ついて所定の演算を前記所定時間の間前記濃度信号出力
部におけるパルス計数動作に同期して行って前記液体の
瞬時流量に応じた流量信号を出力する流量演算部と、前
記流量信号を用いて前記液体の瞬時流量が所定値になる
ように前記液体の流動をフィードバック制御する流量制
御部とを備え、前記濃度信号にもとづき前記液体におけ
る前記微粒子の個数濃度を測定することを特徴とする液
体中の微粒子測定装置。 ２）微粒子を含む流動する液体に光を投射することによ
って該液体から出射される散乱光を検出してこの検出結
果に応じた検出信号を出力する検出信号出力部と、前記
検出信号が入力されこの検出信号に含まれるパルスを所
定時間の間計数してはこの計数結果に応じた計数信号を
出力する動作をくり返す計数部と、前記検出信号が入力
されこの検出信号に含まれる前記パルスについて所定の
演算を前記所定時間の間前記計数部におけるパルス計数
動作に同期して行って前記液体の瞬時流量に応じた流量
信号を出力する流量演算部と、前記流量信号が入力され
この流量信号の値に応じた値の検出感度信号を出力する
感度演算部と、前記計数信号と前記流量信号と前記検出
感度信号とが入力されこれらの入力信号を用いて所定の
濃度演算を行ってこの結果に応じた濃度信号を出力する
濃度演算部とを備え、前記濃度信号にもとづき前記液体
における前記微粒子の個数濃度を測定する液体中の微粒
子測定装置であって、前記検出感度信号は前記検出信号
出力部と前記計数部とからなる部分の前記微粒子の個数
に対する検出感度を表す信号であることを特徴とする液
体中の微粒子測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63256599A JPH02103444A (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 液体中の微粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63256599A JPH02103444A (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 液体中の微粒子測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103444A true JPH02103444A (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=17294870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63256599A Pending JPH02103444A (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 | 液体中の微粒子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022067655A (ja) * | 2020-10-20 | 2022-05-06 | 東友ファインケム株式会社 | 流動ナノ粒子の測定装置及びそれを用いたナノ粒子の判断方法 |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP63256599A patent/JPH02103444A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022067655A (ja) * | 2020-10-20 | 2022-05-06 | 東友ファインケム株式会社 | 流動ナノ粒子の測定装置及びそれを用いたナノ粒子の判断方法 |
| US12228495B2 (en) | 2020-10-20 | 2025-02-18 | Dongwoo Fine-Chem Co., Ltd. | Flow nanoparticle measurement device and method of determining nanoparticle using the same |
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