JPH02105170U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02105170U JPH02105170U JP1309189U JP1309189U JPH02105170U JP H02105170 U JPH02105170 U JP H02105170U JP 1309189 U JP1309189 U JP 1309189U JP 1309189 U JP1309189 U JP 1309189U JP H02105170 U JPH02105170 U JP H02105170U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- cup
- monitor
- faraday cup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるフアラデー
カツプモニタを示す断面図、第２図は第１図の正
面図、第３図はこの考案の他の実施例を示す断面
図、第４図は第３図の正面図、第５図は従来のフ
アラデーカツプモニタの一例を示す断面図、第６
図は第５図の正面図である。 図において、３は金属カツプ、３ａは傾斜部で
ある。なお、各図中、同一符号は同一又は相当部
分を示す。
カツプモニタを示す断面図、第２図は第１図の正
面図、第３図はこの考案の他の実施例を示す断面
図、第４図は第３図の正面図、第５図は従来のフ
アラデーカツプモニタの一例を示す断面図、第６
図は第５図の正面図である。 図において、３は金属カツプ、３ａは傾斜部で
ある。なお、各図中、同一符号は同一又は相当部
分を示す。
Claims (1)
- 荷電粒子ビームが入射される導体からなるカツ
プを有するフアラデーカツプモニタにおいて、前
記カツプ内の底部に、前記荷電粒子ビームとの衝
突面が前記荷電粒子ビームの入射方向に対して傾
斜した傾斜部を設けたことを特徴とするフアラデ
ーカツプモニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1309189U JPH02105170U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1309189U JPH02105170U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105170U true JPH02105170U (ja) | 1990-08-21 |
Family
ID=31223113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1309189U Pending JPH02105170U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02105170U (ja) |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP1309189U patent/JPH02105170U/ja active Pending