JPH02105597U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02105597U JPH02105597U JP1303589U JP1303589U JPH02105597U JP H02105597 U JPH02105597 U JP H02105597U JP 1303589 U JP1303589 U JP 1303589U JP 1303589 U JP1303589 U JP 1303589U JP H02105597 U JPH02105597 U JP H02105597U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- damper
- vacuum pump
- bearing
- rotating shaft
- corrosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる真空ポンプの一実施例
を示す縦断側面図、第２図乃至第４図は他の各実
施例を示す縦断側面図、第５図は真空ポンプの全
体を示す縦断側面図、第６図は従来の真空ポンプ
を示す縦断側面図である。 １……回転軸、２……軸受、３ａ，３ｂ，４，
３ａ，３ｂ，７ａ，７ｂ、または３ａ，３ｂ，７
，８，９……ダンパ、６または６ａ，６ｂ……ベ
ローズ。
を示す縦断側面図、第２図乃至第４図は他の各実
施例を示す縦断側面図、第５図は真空ポンプの全
体を示す縦断側面図、第６図は従来の真空ポンプ
を示す縦断側面図である。 １……回転軸、２……軸受、３ａ，３ｂ，４，
３ａ，３ｂ，７ａ，７ｂ、または３ａ，３ｂ，７
，８，９……ダンパ、６または６ａ，６ｂ……ベ
ローズ。
Claims (1)
- 高速回転する回転軸を軸受を介して支持するダ
ンパを具えた真空ポンプにおいて、前記緩衝機能
を有するダンパを耐食性材料よりなるベローズに
より取り囲んだことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1303589U JPH02105597U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1303589U JPH02105597U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105597U true JPH02105597U (ja) | 1990-08-22 |
Family
ID=31223004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1303589U Pending JPH02105597U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02105597U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993995A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-05-30 | アルツ−ル・フアイフエル・ヴア−クウムテクニツク・ヴエツツラ−・ゲ−エムベ−ハ− | ポンプ |
| JPS63246498A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-13 | Toshiba Corp | 圧縮機のシ−ル装置 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP1303589U patent/JPH02105597U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993995A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-05-30 | アルツ−ル・フアイフエル・ヴア−クウムテクニツク・ヴエツツラ−・ゲ−エムベ−ハ− | ポンプ |
| JPS63246498A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-13 | Toshiba Corp | 圧縮機のシ−ル装置 |