JPH02106210A - ねじれ刃多結晶ダイヤモンド工具及びその製造方法 - Google Patents

ねじれ刃多結晶ダイヤモンド工具及びその製造方法

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JPH02106210A
JPH02106210A JP63257359A JP25735988A JPH02106210A JP H02106210 A JPH02106210 A JP H02106210A JP 63257359 A JP63257359 A JP 63257359A JP 25735988 A JP25735988 A JP 25735988A JP H02106210 A JPH02106210 A JP H02106210A
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Tsutomu Nakamura
勉 中村
Tetsuo Nakai
哲男 中井
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 1産業−J−の利用分野] 本発明はねじれ刃多結晶ダイヤモンドエ只及びその5R
jH方法に関するものであり、本発明による多結晶ダイ
ヤモンド工具は従来の焼結ダイヤモンド膜只では十分な
性能が得られなかった回転工具の性能を大幅に改良した
ものである。
従来の技術] ダイヤモンドの粉末を金属を結合材としてダイヤモンド
が安定な超高圧、高温ドで焼結して得られるダイヤモン
ド焼結体は工具材料の中では最も高硬1qであるダイヤ
モンドの特徴を有し、単結晶ダイヤモンドのごとくへ半
開によって低応力で破損することもない。したがって、
切削工具、伸線ダイス、ドレッサー、岩石掘削工具など
他方面において工具として用いられている。
発明が解決しようとする課題] 一方、焼結ダイスを]工具素材としたエンドミル、ドリ
ル、リーマも開発されている。しかし、超高圧焼結によ
ってねじれた形状の素材を作成することは技術的に極め
て難しく、また、後側]二によりねじれた形状にするこ
とはコストが高(つくため、現状の工具は直刃のもの或
はリード加工が施された1ニ具母材に平板状の工具素材
をろう付けしたものに限定されている。
これらの:[+−1,は、切れ刃が一度に被削材にあた
るため、切削抵抗が急激に変化して、=J″法精度が悪
くなるという問題がある。また、ねじれ形状をしていな
いために、切り粉の排出が悪く、被削材の面粗度が良好
とならないという問題も生じている。
これらの問題を解決するために、超硬合金のねじれ刃回
転王呉の切れ刃部分に気相合成法により多結晶ダイヤモ
ンドを薄くコーティングしたものも開発されている。し
かし、この工具は、超硬合金とコーテイング膜との密着
性が不十分であるため、使用中にコーテイング膜が剥離
するという問題があり、未だ実用化には至っていない。
本発明はこのような現状に鑑みて、に記の諸問題を解決
し、より高粘度の加工が可能でしかも長寿命な多結晶ダ
イヤモンド工具を実現することを目的とするものである
1課題を解決するための手段] すなわち、本発明はねじれた刃溝を有する工具母材のす
くい面の少な(とも一部に、気相法により合成された多
結晶ダイヤモンド膜がろう付けされて切れ刃となってい
ることを特徴とするねじれ刃多結晶ダイヤモンドエ!−
1である。
さらに本発明はリード加工が施された基体表面に気相合
成法によって多結晶ダイヤモンドを成膜し、これを化学
処理して基体のみを溶解・除去せしめ、得られたねじれ
形状の多結晶ダイヤモンド111:!を1−記基体に施
されたものと同様のリード加工が施された1′、只母材
のすくい面の少なくとも一部にろう付けした後に、逃げ
面を加工することにより切れ刃を形成することを特徴と
するねじれ刃多結晶ダイヤモンド]−見の製造方法に関
する。
第1図は本発明のねじれ刃多結晶ダイヤモンド下具の−
・具体例であるドリルを示す斜視図である。
同図において]−、具/:)材Iのす(い而2の一部に
気相合成した多結晶ダイヤモンド厚膜3がろう付けされ
ている。4は切れ刃、5は逃げ而であり、0はねじれ角
を表す。
本発明においてまず工具素材とするねじれ形状の多結晶
ダイヤモンドは、作製する]二具の母材が有する刃溝形
状と同じリード加工が施された基体表面に気相合成法に
よって成膜する。気相合成の手段としては公知のあらゆ
る方法が可能であり、熱電子放射やプラズマ放電を利用
して原料ガスの分解・励起を生じさせる方法や燃焼炎を
用いた成膜方法等が有効である。原料ガスとしては、例
えばメタン、エタン、プロパン等の炭化水素類、メタノ
ール、エタ/−ル等のアルコール類、エステル類等の有
機炭素化合物と水素とを主成分とする混合ガスを用いる
ことが一般的であるが、これら以外にアルゴン等の不活
性ガスや酸素、−酸化炭素、水等も、炭素の合成反応や
その特性を阻害しない範囲内であれば、原料中に含有さ
れていても差し支えない。
また、使用する基体は、熱応力に起因する合成膜の剥離
を回避するために、できるだけダイヤモンドと熱膨張率
の差が小さいものが好ましく、例えばS i、 M□、
 W等が相応しい。これらの基体を用いた場合には、成
膜後、酸への浸漬算の化学処理を施すことにより基体を
溶解・除去せしめ、合成膜のみを回収することが可能で
あるため、この点からも好ましい材質である。
以I〕の方法により、所望のねじれ形状を呈した多結晶
ダイヤモンド膜が作製できる。膜厚としては50〜30
0μm、好ましくしは100〜200μmとすることが
望ましい。膜厚をこのような範囲に限定する理由は、上
記のに見は通常50μm程度の摩耗が生じるまで使用す
ること、及び300μm以トの厚い膜を作製して使用し
た場合にはコストが高くつく、ことによるものである。
また、ねじれ角については5〜50°の範囲内のものが
使用される。これは、ねじれ角が5°よりも小さいと、
ねじれ刃工具としての性能が十分に得られず、ねじれ角
が50°よりも大きい場合には、特に大径の]二具用素
材は長尺となるため、その合成やろう付けが難しくなる
一方、1只性能の著しい向1−は認められないからであ
る。このような理11から、上記の範囲のねじれ角が好
ましい。 次に、ねじれた形状の多結晶ダイヤモンド膜
を、同じねじれ角の刃溝を有する工具CJ材のすくい面
に直接ろう付けする。ろう付け方法としては、非酸化外
刃雰囲気で、T1やTaを含有する銀ろう、金ろうを用
いる方法や、予め多結晶ダイヤモンド膜のろう付け面に
、まず厚さ0.5〜2μmの1゛iを、さらにその上に
厚さ1〜10μmのNiをPVL)法等によりコーティ
ングしておき、これを介して銀ろうでろう付けする方法
等が有効である。
後者の方法はNiがTjの酸化防止被膜となるため、大
気中でろう付け作業ができるという特徴を持っている。
これらのろう付けによれば、工具として使用している際
に、ダイヤモンドコーティング工具のように剥離すると
いう問題は生じない。
なお、工具1;↓材としては、工具の剛性、ダイヤモン
ドとの熱膨張率差、工具素材とのろう付け性を考慮して
、通常は超硬合金が用いられる。特に、剛性、熱膨張率
の点から1μm以下の微粒炭化タングステン粉末を90
〜95重y1%含有するものが好ましい。
ろう付け後は、ダイヤモンド砥石を用いて、逃げ面を加
]二することにより切れ刃を形成する。この工具では多
結晶ダイヤモンド膜の厚さが従来の焼結ダイヤモンドの
それ(0,5〜I 、 Omm)に比べて薄いため、加
ニLは比較的容易で、砥石の消耗t′itが少なく、加
工コストを低減することができる。
さらに、焼結ダイヤモンドのような金属結合材を含イ1
°していないため、本発明による工具の刃立性は極めて
良好である。
このような方法によって作製された本発明のねL゛れカ
ニ1−具は、従来の焼結ダイヤモンドを素材としだ工具
やダイヤモンドコーティング工具に比べ飛R〆的に性能
が向」−シ、またその安定性が高いものである。
以下、本発明の詳細を実施例により説明する。
実施例] 実施例1 直径10mmのMo製の丸棒にねじれ角20’のリード
加]二を施した後、長さ20mo+に切断した。
これを基材として、マイクロ波プラズマCV I) 装
置によって、ねじれ形状多結晶ダイヤモンド膜を以下の
条件で合成した。
原料ガス(流F+t)  : H2200cc/win
、 CH。
] Occ/+in、八r I OOcc/min、圧
カニ]50T。
「r、マイクロ波山カニ700W、合成時間:8時回収
試料を熱王水に30分間浸漬して、Mo基材のみを溶解
・除去したところ、幅21+116長さ20■で20°
のねじれ形状をした厚さQ 、 1a+mの黒色半透明
多結晶ダイヤモンド膜が得られた。この多結晶体は、測
定の結果、比重は3.51を示し、またラマン分光分析
による同定ではダイヤモンド単相からなることが明らか
となった。
この単結晶体を2個作製し、成長面りにTi及びNiを
それぞれ膜厚1μmと2μmコーティングした。次に粒
径1μmのWCを95重に%含有する超硬合金製の直径
10mm+の丸棒にねじれ角20°のリード加工を施し
、ねじれた刃溝を持ったシャンクを作製した。このシャ
ンクのすくい面に沿って、上記のコーティングした多結
晶体を大気中で柴ろう付けした。その後、逃げ面のみを
ダイヤモンド砥石で加工して刃付けをおこない、第2図
に示すようなねじれ刃多結晶ダイヤモンドエンドミルを
作製した。同図中1は工具母材、3は多結晶ダイヤモン
ド膜である。
以上で得られた工具の性能を評価するために、200 
mm角の八DC+ 2 (Al l ]%Siダイカス
ト)製のVTR用シャーシの加工を行った。加]:条件
は、回転数800:rpm、送り:0.05Ilffi
/刃、切り込み;  0.5+aa+、湿式とした。
尚、比較として、第3図に示すような形状の焼結ダイヤ
モンドを工具素材とした直径101111Iで2枚刃の
直刃エンドミル(比較例1)、直径10mmでねじれ角
30°の超硬合金(組成は実施例1の本発明工具母材に
使用したものと同じ)製ソリッドエンドミル(比較例2
)及びこの超硬合金製ソリッドエンドミルの表面に厚さ
3μmの薄膜ダイヤモンドをコーティングしたもの(比
較例3)も評価した。
第1表に、加工面粗度がR1□で3μm以上となった時
を工具寿命として判定した結果を示す。
実施例1の本発明によるねじれ刃多結晶ダイヤモンドエ
ンドミルは、従来の焼結ダイヤモンド直刃エンドミルや
超硬エンドミルに比べて摩耗−Elが少なく、かつ切り
粉の排出も良好であるため長寿命であり、しかもダイヤ
モンドエンドミルのような剥離が生じないことが明らか
となった。
第1表 実施例2 直径6mmのSi製九丸棒ダイヤモンド砥石で第2表に
示すねじれ角のリード加工を施し、長さ5mmに切断し
た。これを基材として直径0 、5 mm、長さ20m
mのW製ワイヤーを熱電子放射材に用いた熱フイラメン
ト法により多結晶ダイヤモンド膜す。これらの合成膜を
ラマン分光分析で同定したところ、いずれも非晶質炭素
は含有せず、ダイヤモンドl11相からなることが明ら
かとなった。
基材と合成膜を分離するために、80℃に加熱したフッ
硝酸に1時間浸漬し、Siのみを溶解・除去した。回収
されたねじれ合成膜をアルコールで洗浄した後、夫々の
ねじれ角の刃溝を有する実施例1時間のものと同じ組成
の超硬合金製シャンクに、Au−Tiろう材で真空ろう
付けを行った。
その後、ダイヤモンド砥石でマージン部及び先端切れ刃
部の加工を行って、ドリルを作製した。
これらのドリルでへ390合金(Al2−17%Si合
金、T6熱処理品)の穴明けを行い、その性能を評価し
た。切削条件は、回転数+5000rpm、送り:03
 ll1ad/rev、湿式とした。
を合成した。第2表にその合成条件をまとめて示第3表
にテスト結果を直径6mmの比較工具のそれと併せて示
す。尚、焼結ダイヤモンドドリルは平均粒度10μmの
平板状焼結ダイヤモンドを工具素材としたドリル、超硬
ドリルは実施例2の工具1す材の同じ組成のもの、ダイ
ヤモンドコーティングドリルはこの超硬ドリル表面にH
さ10μmのダイヤモンドをコーティングしたものであ
る。
第3表 この結果から、ねじれ角の小さい]工具Aではその性能
が十分に発揮されなかったが、B−Dはいずれも超硬ド
リルの10倍以上の性能を持つことが明らかとなった。
実施例3 第4表に示した基材がおかれた反応管中に、C2H、と
H、とを容量でl:]00の割合に混合したガスを20
0 cc/minの流量で供給し圧力を180T or
rに調整した。
第4表 次に、高周波(13,56MHz)発振機から900W
の出力を同軸ケーブルを通じて高周波コイルに与えて、
反応管中のガスを励起させプラズマを発生した。この条
件を10時間維持したところ。
夫々の基材表面に厚さ0.2mmの多結晶ダイヤモンド
を成膜することができた。各基材を酸処理により溶解・
除去して、得られた多結晶体を工具素材とし、夫々のね
じれ角でリード加工が施された直径10mmの、粒径0
.5  amのWCを90重量%含有する超硬合金製の
工具母材にろう付けしてリーマを作製した(実施例3)
これらのリーマの性能評価を行うため、キー溝をイrす
る直径9.5111111ノ穴があいた厚さ20111
16の2本のΔDC12合金を被削材として、仕上げ穴
加工を実施した。切削条件は、回転数: 3200rp
m、送り: 0 、2 nui/revとした。
比較工具として、従来の焼結ダイヤモンドを工具素材と
した直刃のリーマ、ねじれ角25°の実施例3の工具母
材と同じ組成の超硬合金製リーマ、このねじれリーマの
表面に厚さ3μmの多結晶ダイヤモンドをコーティング
したリーマについても同様に評価した、 評価結果を第5表に示す。このテストの結果から、本発
明のリーマはいずれも高い耐摩耗性を有し、かつねじれ
形状であるため高精度の加工が可能であることが明らか
となった。
発明の効果] 以」−説明のごとく、本発明の気相合成によりねじれ形
状に作製した多結晶ダイヤモンド膜を同じねじれ形状の
工具母材にろう付けする方法は、容V、にねじれ刃を実
現でき、かつ母材とダイヤモンド膜との密着性を向」二
できる。したがって、本発明のねじれ刃多結晶ダイヤモ
ンド工具は、従来の焼結ダイヤモンド直刃工具に比べて
、より一層精度がiΩ讐い加」二が可能で、かつ長寿命
であるために、特に高精度の仕上げ加工に好適な工具で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のねじれ刃多結晶ダイヤモンド]−只の
一例であるドリルの斜視図、第2図は本発明品のねじれ
刃多結晶ダイヤモンドエンドミルの斜視図、第3図(a
)及び(b)は従来の焼結ダイヤモンドを工具素材とし
た直刃の2枚刃エンドミルの正面図及び側面図である。 代理人(弁理士〕 半 缶4・11−J。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ねじれた刃溝を有する工具母材のすくい面の少な
    くとも一部に、気相法により合成された多結晶ダイヤモ
    ンド膜がろう付けされて切れ刃となっていることを特徴
    とするねじれ刃多結晶ダイヤモンド工具。
  2. (2)気相法により合成された多結晶ダイヤモンド膜が
    直接ろう付け又はTi層及びNi層を介してろう付けさ
    れていることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
    のねじれ刃多結晶ダイヤモンド工具。
  3. (3)多結晶ダイヤモンドの膜厚が50〜300μmで
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項
    に記載のねじれ刃多結晶ダイヤモンド工具。
  4. (4)刃溝のねじれ角が5〜50°であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項に記載のねじれ刃
    多結晶ダイヤモンド工具。
  5. (5)工具母材が超硬合金であることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項又は第2項に記載のねじれ刃多結晶ダ
    イヤモンド工具。
  6. (6)リード加工が施された基体表面に気相合成法によ
    って多結晶ダイヤモンドを成膜し、これを化学処理して
    基体のみを溶解・除去せしめ、得られたねじれ形状の多
    結晶ダイヤモンド膜を上記基体に施されたものと同様の
    リード加工が施された工具母材のすくい面の少なくとも
    一部にろう付けした後に、逃げ面を加工することにより
    切れ刃を形成することを特徴とするねじれ刃多結晶ダイ
    ヤモンド工具の製造方法。
  7. (7)ろう付けは直接又は多結晶ダイヤモンド膜のろう
    付け側の面にTi層及びNi層を形成して、このTi層
    及びNi層を介して行うことを特徴とする特許請求の範
    囲第6項記載の製造方法。
  8. (8)多結晶ダイヤモンドの膜厚が50〜300μmで
    あることを特徴とする特許請求の範囲第7項又は第8項
    に記載の製造方法。
  9. (9)リード加工はねじれ角が5〜50°であることを
    特徴とする特許請求の範囲第6項又は第7項に記載の製
    造方法。
  10. (10)工具母材が超硬合金であることを特徴とする特
    許請求の範囲第6項又は第7項に記載の製造方法。
  11. (11)多結晶ダイヤモンドを成膜するための基体がS
    i、Mo、Wからえらばれたものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第6項又は第7項に記載の製造方法。
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