JPH0210708B2 - - Google Patents
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- JPH0210708B2 JPH0210708B2 JP1041184A JP1041184A JPH0210708B2 JP H0210708 B2 JPH0210708 B2 JP H0210708B2 JP 1041184 A JP1041184 A JP 1041184A JP 1041184 A JP1041184 A JP 1041184A JP H0210708 B2 JPH0210708 B2 JP H0210708B2
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- JP
- Japan
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- nozzle plate
- electric vibrator
- vibration
- atomizing pump
- adhesive
- Prior art date
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- Expired
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
Landscapes
- Pressure-Spray And Ultrasonic-Wave- Spray Burners (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油などの液体燃料、水・薬液など
の液体の霧化ポンプに関するものであり、さらに
詳しくは、圧電振動子などの電気振動子を利用し
た霧化ポンプに関するものである。
の液体の霧化ポンプに関するものであり、さらに
詳しくは、圧電振動子などの電気振動子を利用し
た霧化ポンプに関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来この種の霧化ポンプは、第１図に示すよう
に構成されていた。すなわち、電気振動子１の相
対向する平滑面には、電極膜２ａ，２ｂが形成さ
れ、電極膜２ｂとノズル板３とは固着層４ａを介
して接合がされていた。さらにノズル板３の他方
の面と、ボデイー５は固着層４ｂを介して接合さ
れていた。
に構成されていた。すなわち、電気振動子１の相
対向する平滑面には、電極膜２ａ，２ｂが形成さ
れ、電極膜２ｂとノズル板３とは固着層４ａを介
して接合がされていた。さらにノズル板３の他方
の面と、ボデイー５は固着層４ｂを介して接合さ
れていた。
電気振動子１は、主成分がPbO、TiO2、ZrO2
などからなるセラミツク体で、円形中央部に開口
部を設けたリング形状を有し、電極膜２ａ，２ｂ
は、厚膜用導電性ペーストの焼結体や、金属を蒸
着した金属薄膜体などからなり、ノズル板３は厚
さ約50〜100μｍ程度の金属円板で、コバールや
ステンレスなどが用いられていた。さらに、ノズ
ル板３はその中央部に１つまたは複数個の貫通し
たノズル孔６（孔径約70〜100μｍ）が設けられ
ていた。固着層４ａ，４ｂには樹脂接着剤や半田
などが用いられていた。尚、各接合部の固着層４
ａ，４ｂから固着剤の外出を防ぐため、レジスト
膜（図省略）により、外出の流れを位置規制する
手段もおこなわれている。
などからなるセラミツク体で、円形中央部に開口
部を設けたリング形状を有し、電極膜２ａ，２ｂ
は、厚膜用導電性ペーストの焼結体や、金属を蒸
着した金属薄膜体などからなり、ノズル板３は厚
さ約50〜100μｍ程度の金属円板で、コバールや
ステンレスなどが用いられていた。さらに、ノズ
ル板３はその中央部に１つまたは複数個の貫通し
たノズル孔６（孔径約70〜100μｍ）が設けられ
ていた。固着層４ａ，４ｂには樹脂接着剤や半田
などが用いられていた。尚、各接合部の固着層４
ａ，４ｂから固着剤の外出を防ぐため、レジスト
膜（図省略）により、外出の流れを位置規制する
手段もおこなわれている。
次に電極膜２ａは、発振回路（図省略）からの
リード線接続用電極であり、ボデイー５には液体
通路７および液体室８が設けられ、液体室８の上
面の円周部には、ノズル板３を接合する固定部９
が設けられている。このとき、ノズル板３の振動
系は第２図に示したように、電気振動子１の径振
動（図示矢印１）により加振され、撓み振動（図
中矢印２）に変換される。ノズル板３の撓み振動
が効率良く励起される為、電気振動子１の内径d1
と固定部９の内径d2の構成比を一定化して、振動
の節（図中△印）が電気振動子１の内周に近接す
るよう組立がされている。このようにして霧化ポ
ンプは構成されていた。
リード線接続用電極であり、ボデイー５には液体
通路７および液体室８が設けられ、液体室８の上
面の円周部には、ノズル板３を接合する固定部９
が設けられている。このとき、ノズル板３の振動
系は第２図に示したように、電気振動子１の径振
動（図示矢印１）により加振され、撓み振動（図
中矢印２）に変換される。ノズル板３の撓み振動
が効率良く励起される為、電気振動子１の内径d1
と固定部９の内径d2の構成比を一定化して、振動
の節（図中△印）が電気振動子１の内周に近接す
るよう組立がされている。このようにして霧化ポ
ンプは構成されていた。
この構成では、各構成部材の組立による公差な
どにより、d1とd2の径軸ずれが生じることや、固
着剤の規制位置からの一部流れ出しなどによるノ
ズル板厚み変化などにより、節部の生成位置がル
ーズに成る欠点があり、結果として液体を噴霧す
る霧化特性の効率が低下するという問題があつ
た。
どにより、d1とd2の径軸ずれが生じることや、固
着剤の規制位置からの一部流れ出しなどによるノ
ズル板厚み変化などにより、節部の生成位置がル
ーズに成る欠点があり、結果として液体を噴霧す
る霧化特性の効率が低下するという問題があつ
た。
発明の目的
本発明は、かかる従来の欠点を除去するもので
霧化ポンプの構成において、ノズル板の振動系の
節を一定化し、霧化特性の安定した霧化ポンプを
提供することを目的とする。
霧化ポンプの構成において、ノズル板の振動系の
節を一定化し、霧化特性の安定した霧化ポンプを
提供することを目的とする。
発明の構成
この目的を構成するために本発明は、電気振動
子とノズル板と、これらを支持するボデイーとが
それぞれ固着剤で接合された構成からなり、前記
のノズル板の面上には撓み振動を生じる振動系の
節部生成位置に一致した部分に、凹部を設けたも
のである。
子とノズル板と、これらを支持するボデイーとが
それぞれ固着剤で接合された構成からなり、前記
のノズル板の面上には撓み振動を生じる振動系の
節部生成位置に一致した部分に、凹部を設けたも
のである。
この構成によつて、ノズル板の凹部を設けた部
分の剛性は低下される。従つて、ノズル板中央部
の撓み振動は剛性の低い凹部を起点にして振動運
動がなされる。そのため、振動系の節は一定化さ
れ、結果として霧化特性の安定化が図れるもので
ある。
分の剛性は低下される。従つて、ノズル板中央部
の撓み振動は剛性の低い凹部を起点にして振動運
動がなされる。そのため、振動系の節は一定化さ
れ、結果として霧化特性の安定化が図れるもので
ある。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を第３図、第４図を用
いて説明する。尚、これらの図において、第１
図、第２図と同じものについては同一番号を付し
ている。
いて説明する。尚、これらの図において、第１
図、第２図と同じものについては同一番号を付し
ている。
第３図において、電気振動子１は外径約10mm、
開口径約40mm、厚さ約10mmのリング状で、従来例
と同様のもので、電極膜２ａ，２ｂが形成されて
いる。ノズル板３は、厚さ約50〜100μｍ程度の
金属円板（外径約16mm）で、コバールやステンレ
ス等の従来例と同様のものを選んだ。第４図ａに
示すように、ノズル板３の片面の所定位置（d1／
d2の構成比において、生成する振動の節部位置）
には、深さ約10μｍ〜20μｍのエツチング加工に
よる凹部が、円形状に設けられている。ノズル板
３の中央部には複数個のノズル孔６が設けられて
いる。
開口径約40mm、厚さ約10mmのリング状で、従来例
と同様のもので、電極膜２ａ，２ｂが形成されて
いる。ノズル板３は、厚さ約50〜100μｍ程度の
金属円板（外径約16mm）で、コバールやステンレ
ス等の従来例と同様のものを選んだ。第４図ａに
示すように、ノズル板３の片面の所定位置（d1／
d2の構成比において、生成する振動の節部位置）
には、深さ約10μｍ〜20μｍのエツチング加工に
よる凹部が、円形状に設けられている。ノズル板
３の中央部には複数個のノズル孔６が設けられて
いる。
ついて、電気振動子１の電極膜２ｂと、ノズル
板３の一方の面は、従来例と同様の固着層４ａを
介して接合がされ、ノズル板３の他方の面とボデ
イー５の固定部９とは、固着層４ｂを介して接合
がされる。また、ボデイー５の液体通路７、液体
室８などは従来例と同じ構造にしている。電極膜
２ａは、発振回路（図省略）からのリード線接続
用電極である。
板３の一方の面は、従来例と同様の固着層４ａを
介して接合がされ、ノズル板３の他方の面とボデ
イー５の固定部９とは、固着層４ｂを介して接合
がされる。また、ボデイー５の液体通路７、液体
室８などは従来例と同じ構造にしている。電極膜
２ａは、発振回路（図省略）からのリード線接続
用電極である。
上記構成において、発振回路からの電圧印加に
より、電気振動子１は発振され、固着層４ｂを介
してノズル板３を加振する。ノズル板３は第２図
の点線で示したように撓み振動をする。その結果
液体室８に充填された液体は加圧され、ノズル孔
６を介して噴霧化される。噴霧化は振動特性に依
存されるため、ノズル板３の振動運動を安定にす
ることが必要であつた。
より、電気振動子１は発振され、固着層４ｂを介
してノズル板３を加振する。ノズル板３は第２図
の点線で示したように撓み振動をする。その結果
液体室８に充填された液体は加圧され、ノズル孔
６を介して噴霧化される。噴霧化は振動特性に依
存されるため、ノズル板３の振動運動を安定にす
ることが必要であつた。
従つて本発明の構成では、ノズル板３の面上に
上記のような振動の節部生成位置に、凹部１０を
設け板厚を薄くしているため、その部分の剛性が
低下する。その結果、ノズル板３の中央の撓み振
動は、凹部１０を起点に振動運動し易くなり、振
動系の節はこの位置に一定化することができ、結
果として霧化特性を安定化することができる。
上記のような振動の節部生成位置に、凹部１０を
設け板厚を薄くしているため、その部分の剛性が
低下する。その結果、ノズル板３の中央の撓み振
動は、凹部１０を起点に振動運動し易くなり、振
動系の節はこの位置に一定化することができ、結
果として霧化特性を安定化することができる。
尚、凹部１０の構造は、第４図ｂ，ｃに示した
ようにノズル板３の他方の面上、あるいは、両面
上に凹部１０を設けたものでも同様の効果が得ら
れることは明白である。
ようにノズル板３の他方の面上、あるいは、両面
上に凹部１０を設けたものでも同様の効果が得ら
れることは明白である。
発明の効果
以上のように本発明の霧化ポンプによれば、ノ
ズル板の板厚に凹凸部を設け、所定位置（d1／d2
構成比において、振動系の節部生成位置）に凹部
を設けることにより、その部分の剛性を低下さ
せ、ノズル板の中央の撓み振動の起点をその部分
に固定し易くしている。
ズル板の板厚に凹凸部を設け、所定位置（d1／d2
構成比において、振動系の節部生成位置）に凹部
を設けることにより、その部分の剛性を低下さ
せ、ノズル板の中央の撓み振動の起点をその部分
に固定し易くしている。
そのため、従来のように各構成部材の径軸ずれ
や固着剤の流れ出しなどによる原因で、振動系の
節部が不安定になるなどの問題は解消できる。
や固着剤の流れ出しなどによる原因で、振動系の
節部が不安定になるなどの問題は解消できる。
結果として、霧化特性は安定化ができる。
第１図は従来の構成による霧化ポンプの断面
図、第２図は霧化ポンプの基本動作を説明する断
面図、第３図は本発明の一実施例を示す霧化ポン
プの断面図、第４図ａ，ｂ，ｃは本発明の要部の
断面斜視図である。 １……電気振動子、２ａ……電極膜、２ｂ……
電極膜、３……ノズル板、４ａ……固着層、４ｂ
……固着層、５……ボデイー、６……ノズル孔、
７……液体通路、８……液体室、９……固定部、
１０……凹部。
図、第２図は霧化ポンプの基本動作を説明する断
面図、第３図は本発明の一実施例を示す霧化ポン
プの断面図、第４図ａ，ｂ，ｃは本発明の要部の
断面斜視図である。 １……電気振動子、２ａ……電極膜、２ｂ……
電極膜、３……ノズル板、４ａ……固着層、４ｂ
……固着層、５……ボデイー、６……ノズル孔、
７……液体通路、８……液体室、９……固定部、
１０……凹部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 相対向する略平滑主面上に電極膜を設けた電
気振動子と、この電気振動子によつて加振される
ノズル板と、これらを支持するボデイーとがそれ
ぞれ固着剤で接合された構成からなり、前記ノズ
ル板の一部には、ノズル板の板厚が大小となるよ
う所定形状で凹凸部を設けた霧化ポンプ。 ２ 凹凸部は、ノズル板が電気振動子によつて加
振され、撓み振動を生じる振動系の節部に一致す
るように設けた特許請求の範囲第１項記載の霧化
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010411A JPS60153962A (ja) | 1984-01-24 | 1984-01-24 | 霧化ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59010411A JPS60153962A (ja) | 1984-01-24 | 1984-01-24 | 霧化ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60153962A JPS60153962A (ja) | 1985-08-13 |
| JPH0210708B2 true JPH0210708B2 (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=11749399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59010411A Granted JPS60153962A (ja) | 1984-01-24 | 1984-01-24 | 霧化ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60153962A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6703837B2 (ja) * | 2016-01-07 | 2020-06-03 | 株式会社神戸製鋼所 | ボイルオフガス供給装置 |
-
1984
- 1984-01-24 JP JP59010411A patent/JPS60153962A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60153962A (ja) | 1985-08-13 |
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