JPH02108333U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02108333U JPH02108333U JP1742889U JP1742889U JPH02108333U JP H02108333 U JPH02108333 U JP H02108333U JP 1742889 U JP1742889 U JP 1742889U JP 1742889 U JP1742889 U JP 1742889U JP H02108333 U JPH02108333 U JP H02108333U
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- JP
- Japan
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- insulating film
- conductive layer
- exposed
- film
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Thyristors (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例の断面説明図であ
る。第１図ｂ〜ｄは本考案の一実施例の形成過程
を説明する断面説明図であつて、第１図ｂは導電
層上にＳｉＯ２膜とＰＳＧ膜とが形成された状態
、第１図ｃはＳｉＯ２膜とＰＳＧ膜とに開口を形
成した状態、第１図ｄは第１図ｃの状態にＳｉＯ
２膜を施してこの膜に段差部を形成した状態、第
１図ｅは段差部に開口を形成した状態をそれぞれ
示す。第２図は従来の半導体装置を説明した図面
であつて、第２図ａは導電層上に順次形成された
ＳｉＯ２膜、ＰＳＧ膜、ＳｉＯ２膜に設けた開口
に電極を形成した状態、第２図ｂはＳｉＯ２膜に
形成されたオーバーハングと電極が断線している
状態をそれぞれ示す。 １……電極、２……導電層、２ａ……表面、３
……ＳｉＯ２膜、４……ＰＳＧ膜、５……ＳｉＯ
２膜、５ａ……段差部、６……開口、７……開口
。
る。第１図ｂ〜ｄは本考案の一実施例の形成過程
を説明する断面説明図であつて、第１図ｂは導電
層上にＳｉＯ２膜とＰＳＧ膜とが形成された状態
、第１図ｃはＳｉＯ２膜とＰＳＧ膜とに開口を形
成した状態、第１図ｄは第１図ｃの状態にＳｉＯ
２膜を施してこの膜に段差部を形成した状態、第
１図ｅは段差部に開口を形成した状態をそれぞれ
示す。第２図は従来の半導体装置を説明した図面
であつて、第２図ａは導電層上に順次形成された
ＳｉＯ２膜、ＰＳＧ膜、ＳｉＯ２膜に設けた開口
に電極を形成した状態、第２図ｂはＳｉＯ２膜に
形成されたオーバーハングと電極が断線している
状態をそれぞれ示す。 １……電極、２……導電層、２ａ……表面、３
……ＳｉＯ２膜、４……ＰＳＧ膜、５……ＳｉＯ
２膜、５ａ……段差部、６……開口、７……開口
。
Claims (1)
- 導電層と、導電層の表面に形成された第１の絶
縁膜と、この絶縁膜上に形成された第２の絶縁膜
と、これら絶縁膜に導電層の表面が露出するよう
に設けた開口の側面と第２の絶縁膜上と導電層の
露出した表面に形成され且つこの露出した表面に
形成された部分に第２の絶縁膜上に形成された部
分よりも低い段差部を有する第３の絶縁膜と、前
記段差部に導電層の表面が露出するように設けた
開口の側面と導電層の露出した表面と第３の絶縁
膜の表面とに接触するように形成された電極とを
有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1742889U JPH02108333U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1742889U JPH02108333U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108333U true JPH02108333U (ja) | 1990-08-29 |
Family
ID=31231198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1742889U Pending JPH02108333U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02108333U (ja) |
-
1989
- 1989-02-16 JP JP1742889U patent/JPH02108333U/ja active Pending