JPH0210877A - 光学的パターン検出装置の製造方法 - Google Patents
光学的パターン検出装置の製造方法Info
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- JPH0210877A JPH0210877A JP63161604A JP16160488A JPH0210877A JP H0210877 A JPH0210877 A JP H0210877A JP 63161604 A JP63161604 A JP 63161604A JP 16160488 A JP16160488 A JP 16160488A JP H0210877 A JPH0210877 A JP H0210877A
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- light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は商品に印刷又は貼付された商品識別用のバーコ
ード等の各種バーコードや、その他の認識用の各種パタ
ーンを検出するための光学的パターン検出装置の製造方
法に関するものである。
ード等の各種バーコードや、その他の認識用の各種パタ
ーンを検出するための光学的パターン検出装置の製造方
法に関するものである。
従来の技術
近年、工場の製品出荷部門・やデパート、スーパーなど
では、大量の商品を識別するため、バーコードを表示し
たシールなどを包装箱に貼付け、又は直接印刷し、その
バーコードを光学的に読み取って商品の人出、在庫管理
などを行うシステムが広く採用されている。又、ビデオ
テープレコーダでＴＶ番組を録画予約する場合にも、番
組が放映されるＴＶ局及び日時などをバーコード化した
表からその番組のバーコードを光学的に読み取って予約
処理するシステムが用いられている。
では、大量の商品を識別するため、バーコードを表示し
たシールなどを包装箱に貼付け、又は直接印刷し、その
バーコードを光学的に読み取って商品の人出、在庫管理
などを行うシステムが広く採用されている。又、ビデオ
テープレコーダでＴＶ番組を録画予約する場合にも、番
組が放映されるＴＶ局及び日時などをバーコード化した
表からその番組のバーコードを光学的に読み取って予約
処理するシステムが用いられている。
このようなバーコードを読み取るためのバーコードセン
サとしては種々のものがあるが、その中で手で持ち、篩
土しているバーコード面上を動かして読み取る小型のも
のとしては、第６図に示すように、軸心３０の両側に発
光素子３１と受光素子３２とを先端側に向けて並列配置
し、先端軸心位置に配置したボールレンズ３３によって
発光素子３１からの光をパターン検出面２０に集光する
一方、パターン検出面２０からの反射光を受光素子３２
に集光するように構成されている。
サとしては種々のものがあるが、その中で手で持ち、篩
土しているバーコード面上を動かして読み取る小型のも
のとしては、第６図に示すように、軸心３０の両側に発
光素子３１と受光素子３２とを先端側に向けて並列配置
し、先端軸心位置に配置したボールレンズ３３によって
発光素子３１からの光をパターン検出面２０に集光する
一方、パターン検出面２０からの反射光を受光素子３２
に集光するように構成されている。
ところで、上記構成では部品点数が多く、かつそれらを
組み合わせて構成しているので、−層重型化を図り、性
能を高めるのは困難であり、またコスト高となるという
問題があった。また、分解能を高めるには集光スポット
径を小さくかつ焦点深度を深くする必要があるが、それ
も不可能であるという問題があった。
組み合わせて構成しているので、−層重型化を図り、性
能を高めるのは困難であり、またコスト高となるという
問題があった。また、分解能を高めるには集光スポット
径を小さくかつ焦点深度を深くする必要があるが、それ
も不可能であるという問題があった。
そこで、本出願人は先に、第５図に示すように、透明樹
脂から成るミラー体ｌの基端側端面に第１の反射面２を
、先端部の外周に集光用の第２の反射面３を形成すると
ともに、先端面に光透過部４と集光レンズ部５を形成し
、かつ発光素子１０と受光素子１１をそれぞれ第１の反
射面２と集光レンズ部５に向かうように、背面を互いに
対向させてミラー体１内に配置したものを提案した。
脂から成るミラー体ｌの基端側端面に第１の反射面２を
、先端部の外周に集光用の第２の反射面３を形成すると
ともに、先端面に光透過部４と集光レンズ部５を形成し
、かつ発光素子１０と受光素子１１をそれぞれ第１の反
射面２と集光レンズ部５に向かうように、背面を互いに
対向させてミラー体１内に配置したものを提案した。
発明が解決しようとする課題
ところが、上記光学的パターン検出装置の構成では、成
形型内に宙吊り状態で発光素子１０及び受光素子１１を
正確に位置決めし、その状態で成形型内に透明樹脂を注
入してミラー体ｌを成形しなければならないが、発光素
子１０や受光素子１１をインサートした状態で成形する
には成形型が大変複雑になるため製造が困難であるとい
う問題があり、さらに成形時に発光素子ＩＯや受光素子
１１の破壊やワイヤの断線の恐れがあるため、高圧成形
ができず、精密成形ができないため、適正な特性を有す
る光学的パターン検出装置を得るのが困難であるという
問題があった。
形型内に宙吊り状態で発光素子１０及び受光素子１１を
正確に位置決めし、その状態で成形型内に透明樹脂を注
入してミラー体ｌを成形しなければならないが、発光素
子１０や受光素子１１をインサートした状態で成形する
には成形型が大変複雑になるため製造が困難であるとい
う問題があり、さらに成形時に発光素子ＩＯや受光素子
１１の破壊やワイヤの断線の恐れがあるため、高圧成形
ができず、精密成形ができないため、適正な特性を有す
る光学的パターン検出装置を得るのが困難であるという
問題があった。
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、適正な特性を有す
るものを容易に製造できる光学的パターン検出装置の製
造方法を提供することを目的とする。
るものを容易に製造できる光学的パターン検出装置の製
造方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するために、透明体の外面の一
部に少なくとも第１と第２の反射面と集光レンズ部を備
えかつ外面に開口する発光受光手段の配置空間を有する
単一体から成るミラー体を形成し、前記発光受光手段の
配置空間に、透明封止樹脂を充填しかつ発光素子と受光
素子とを背面同士が対向するようにリードフレームに装
着した発光受光手段を挿入し、前記透明封止樹脂を硬化
させることを特徴とする。
部に少なくとも第１と第２の反射面と集光レンズ部を備
えかつ外面に開口する発光受光手段の配置空間を有する
単一体から成るミラー体を形成し、前記発光受光手段の
配置空間に、透明封止樹脂を充填しかつ発光素子と受光
素子とを背面同士が対向するようにリードフレームに装
着した発光受光手段を挿入し、前記透明封止樹脂を硬化
させることを特徴とする。
前記発光受光手段のリードは一方向に並列して延出させ
ておくのが好ましい。
ておくのが好ましい。
さらに、発光受光手段を作動させてミラー体に対する位
置決めを行った後、透明樹脂を硬化させるとよい。
置決めを行った後、透明樹脂を硬化させるとよい。
又、前記リードフレームは、発光素子と受光素子に共通
のものでも、それぞれ別のものを重合してもよい。
のものでも、それぞれ別のものを重合してもよい。
作 用
本発明によると、発光受光手段を除いた状態でその配置
空間を有するミラー体を別に形成しているため、このミ
ラー体は簡単な成形型や反射面形成用のマスクを用いて
容易にしかも精度良く製造できる。又、このミラー体の
発光受光手段の配置空間に透明封止樹脂を充填しかつ発
光受光手段を挿入した後、透明封止樹脂を硬化させてミ
ラー体と発光受光手段を接合しているため、接合も技術
的に容易であり、適正な特性の光学的パターン検出装置
を容易にかつ安価に製造できる。また、素子のダメージ
が少ない条件とミラー体の精度を高める条件の両方を容
易に確保でき、又発光素子や受光素子の封止性能と成形
サイクルタイムの向上を共に図ることが可能となる。さ
らに、多様な仕様に対してもミラー体の種類を多くして
おくだけでよく、設計変更時にもミラー体だけを変更す
れば良いため、容易にかつ安価に対応できる。
空間を有するミラー体を別に形成しているため、このミ
ラー体は簡単な成形型や反射面形成用のマスクを用いて
容易にしかも精度良く製造できる。又、このミラー体の
発光受光手段の配置空間に透明封止樹脂を充填しかつ発
光受光手段を挿入した後、透明封止樹脂を硬化させてミ
ラー体と発光受光手段を接合しているため、接合も技術
的に容易であり、適正な特性の光学的パターン検出装置
を容易にかつ安価に製造できる。また、素子のダメージ
が少ない条件とミラー体の精度を高める条件の両方を容
易に確保でき、又発光素子や受光素子の封止性能と成形
サイクルタイムの向上を共に図ることが可能となる。さ
らに、多様な仕様に対してもミラー体の種類を多くして
おくだけでよく、設計変更時にもミラー体だけを変更す
れば良いため、容易にかつ安価に対応できる。
また、発光受光手段のリードを並列させると、回路基板
への実装が容易となるなるとともに、発光受光手段をミ
ラー体の配置空間に挿入する場合に、ミラー体の成形型
が？ｊ！Ｈにならず、有利である。
への実装が容易となるなるとともに、発光受光手段をミ
ラー体の配置空間に挿入する場合に、ミラー体の成形型
が？ｊ！Ｈにならず、有利である。
又、発光受光手段を作動させてその位置決めを行いつつ
接合することにより精度の良い高性能の光学的パターン
検出装置を得ることができる。
接合することにより精度の良い高性能の光学的パターン
検出装置を得ることができる。
さらに、リードフレームを発光素子と受光素子に対して
共通にすると構成部品が少なくなるという利点があり、
各別にリードフレームを設けると両面にワイヤボンディ
ングを行わなくてよいという利点がある。
共通にすると構成部品が少なくなるという利点があり、
各別にリードフレームを設けると両面にワイヤボンディ
ングを行わなくてよいという利点がある。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。
説明する。
尚、完成した光学的パターン検出装置の機能的な構成及
び配置は基本的に先に本出願人が提案したもの同一であ
り、第５図における説明を援用するとともに、第５図を
一部参照しながら以下説明する。
び配置は基本的に先に本出願人が提案したもの同一であ
り、第５図における説明を援用するとともに、第５図を
一部参照しながら以下説明する。
第１図〜第３図において、Ｉはミラー体であり、ポリカ
ーボネート、ポリメチルメタクリレ−１へ、スチレン／
メチルメタクリレート共重合体等の成形性の良い透明樹
脂の射出成形品にて構成されている。このミラー体ｌの
軸心方向一端のＸＦａ面は、平面状の第１の反射面２に
形成され、他端側の先端部外周には部分楕円体面から成
る第２の反射面３が形成されている（第５図参照）。又
、先端面には、その外周部の環状の部分円錐面から成る
光ｉ３ｉ過部４と、中央部のレンズ部５とが形成されて
いる（第５図参照）。このミラー体ｌの軸心方向の中央
部に、直方体状の型枠部６が形成され、その内部に略直
方体状の発光受光手段の配置空間７が形成されている。
ーボネート、ポリメチルメタクリレ−１へ、スチレン／
メチルメタクリレート共重合体等の成形性の良い透明樹
脂の射出成形品にて構成されている。このミラー体ｌの
軸心方向一端のＸＦａ面は、平面状の第１の反射面２に
形成され、他端側の先端部外周には部分楕円体面から成
る第２の反射面３が形成されている（第５図参照）。又
、先端面には、その外周部の環状の部分円錐面から成る
光ｉ３ｉ過部４と、中央部のレンズ部５とが形成されて
いる（第５図参照）。このミラー体ｌの軸心方向の中央
部に、直方体状の型枠部６が形成され、その内部に略直
方体状の発光受光手段の配置空間７が形成されている。
この配置空間７は、型枠部６の一側面に開口している。
８は発光受光手段であって、リードフレーム９の両面に
発光素子１０と受光素子１１が互いに背面をリードフレ
ーム９を介して対向させて装着されている。前記リード
フレーム９は、コモンリード１２と、発光素子１０に接
続されたり一部１３と、受光素子１１に接続されたり一
部１４を備えこれらリード１２．１３．１４は一側方に
並列して延出されている。詳細には、第３図に示すよう
に、リードフレーム９のコモンリード１２の先端に形成
された円形の装着部１２ａの両面に発光素子１０と受光
素子１１の背面が装着され、これら発光素子ＩＯと受光
素子１１がそれぞれ金ワイヤ１５．１６にてリード１３
．１４に接続されている。前記装着部１２ａは遮光板を
兼ねている。
発光素子１０と受光素子１１が互いに背面をリードフレ
ーム９を介して対向させて装着されている。前記リード
フレーム９は、コモンリード１２と、発光素子１０に接
続されたり一部１３と、受光素子１１に接続されたり一
部１４を備えこれらリード１２．１３．１４は一側方に
並列して延出されている。詳細には、第３図に示すよう
に、リードフレーム９のコモンリード１２の先端に形成
された円形の装着部１２ａの両面に発光素子１０と受光
素子１１の背面が装着され、これら発光素子ＩＯと受光
素子１１がそれぞれ金ワイヤ１５．１６にてリード１３
．１４に接続されている。前記装着部１２ａは遮光板を
兼ねている。
そして、前記型枠部６の配置空間７内に、透明封止樹脂
１７を収容し、この配置空間７内に前記発光受光手段８
を挿入する。その後、リードフレーム９とミラー体１の
相対位置を調整して発光素子１０と受光素子１１の位置
決めを行い、その状態を保持しつつ透明樹脂１７を硬化
させ、ミラー体１と発光受光手段８を一体化することに
よって光学的パターン検出装置が製造される。
１７を収容し、この配置空間７内に前記発光受光手段８
を挿入する。その後、リードフレーム９とミラー体１の
相対位置を調整して発光素子１０と受光素子１１の位置
決めを行い、その状態を保持しつつ透明樹脂１７を硬化
させ、ミラー体１と発光受光手段８を一体化することに
よって光学的パターン検出装置が製造される。
前記透明封止樹脂１７としては、透明エポキシ樹脂を用
いてもよいが、紫外線の照射によって硬化する樹脂を用
いると効率的に接合できる。この紫外線硬化型透明樹脂
としては、例えば２・２ビス（４−メタクリロキシエト
キシ−３−クロルフェニル）プロパン等がある。因みに
、この透明封止樹脂の屈折率は１．５６８であり、前記
ミラー体１の材料であるスチレン／メチルメタクリレー
ト共重合体の屈折率ｌ、５３乃至１．５７や透明エポキ
シ樹脂の屈折率１．５５乃至１．５６に近い。
いてもよいが、紫外線の照射によって硬化する樹脂を用
いると効率的に接合できる。この紫外線硬化型透明樹脂
としては、例えば２・２ビス（４−メタクリロキシエト
キシ−３−クロルフェニル）プロパン等がある。因みに
、この透明封止樹脂の屈折率は１．５６８であり、前記
ミラー体１の材料であるスチレン／メチルメタクリレー
ト共重合体の屈折率ｌ、５３乃至１．５７や透明エポキ
シ樹脂の屈折率１．５５乃至１．５６に近い。
このように、ミラー体１、透明封止樹脂１７の屈折率を
同−又はほぼ同一とすることによって、配置空間７の内
面の凹凸の状態にかかわらず、光学的パターン検出装置
の内部で光が直進する。そのため、発光素子１０から発
した光が第１の反射面２で反射し、広がり角をもって先
端部に向かって進んだ光は第２の反射面３に入射し、こ
の第２の反射面３でパターン検出面２０上に集光するよ
うに反射し、光透過部４を直進通過してパターン検出面
２０上に集光点を結ぶことになる。このパターン検出面
２０からの反射光は集光レンズ部５にて受光素子ｌｌ上
に集光され、反射光の強弱によってパターン検出が成さ
れる。
同−又はほぼ同一とすることによって、配置空間７の内
面の凹凸の状態にかかわらず、光学的パターン検出装置
の内部で光が直進する。そのため、発光素子１０から発
した光が第１の反射面２で反射し、広がり角をもって先
端部に向かって進んだ光は第２の反射面３に入射し、こ
の第２の反射面３でパターン検出面２０上に集光するよ
うに反射し、光透過部４を直進通過してパターン検出面
２０上に集光点を結ぶことになる。このパターン検出面
２０からの反射光は集光レンズ部５にて受光素子ｌｌ上
に集光され、反射光の強弱によってパターン検出が成さ
れる。
また、透明封止樹脂１７を硬化させてミラー体１と発光
受光手段８の接合する時に、発光素子ＩＯ及び受光素子
１１を動作させて光学的効率を電気的に検出しながら、
ミラー体１に対する発光受光手段８の相対位置を位置決
めすることによって、最良の位置関係を保持して接合で
き、高性能の検出装置を得ることができる。
受光手段８の接合する時に、発光素子ＩＯ及び受光素子
１１を動作させて光学的効率を電気的に検出しながら、
ミラー体１に対する発光受光手段８の相対位置を位置決
めすることによって、最良の位置関係を保持して接合で
き、高性能の検出装置を得ることができる。
なお、前記各リード１２．１３．１４を適当間隔置きに
連続的に形成したリードフレーム９を用いると、高い生
産性が得られる。
連続的に形成したリードフレーム９を用いると、高い生
産性が得られる。
又、上記例ではリードフレーム９に３つのり一部１２．
１３．１４を形成し、装着部１２ａの両面に素子１０．
１１を装着した発光受光手段８を示したが、第４図に示
すように、リード１２と１３を形成したリードフレーム
１９ａと、リード１２と１４を形成したリードフレーム
１９ｂを用い、それぞれの装着部１２ａの片面に発光素
子１０と受光素子１１を装着して金ワイヤ１５．１６に
てリード１３．１４にそれぞれ接続し、このリードフレ
ーム１９ａと１９ｂを重合わせて前記発光受光手段８を
形成してもよい。このようにするとリードフレームの両
面にワイヤリングを行わなくてよいので、面倒な工程が
無くなる。
１３．１４を形成し、装着部１２ａの両面に素子１０．
１１を装着した発光受光手段８を示したが、第４図に示
すように、リード１２と１３を形成したリードフレーム
１９ａと、リード１２と１４を形成したリードフレーム
１９ｂを用い、それぞれの装着部１２ａの片面に発光素
子１０と受光素子１１を装着して金ワイヤ１５．１６に
てリード１３．１４にそれぞれ接続し、このリードフレ
ーム１９ａと１９ｂを重合わせて前記発光受光手段８を
形成してもよい。このようにするとリードフレームの両
面にワイヤリングを行わなくてよいので、面倒な工程が
無くなる。
以上の実施例のミラー体１には、第１と第２の反射面２
．３だけが形成されている例を示したがさらに反射面を
形成して光路長を長くすることもできる。
．３だけが形成されている例を示したがさらに反射面を
形成して光路長を長くすることもできる。
発明の効果
本発明によれば、発光受光手段を除いた状態でその配置
空間を有するミラー体を別に形成しているため、このミ
ラー体は簡単な成形型や反射面形成用のマスクを用いて
容易にしかも精度良く製造できる。又、このミラー体の
発光受光手段の配置空間に透明封止樹脂を充填しかつ発
光受光手段を挿入した後、透明封止樹脂を硬化させてミ
ラー体と発光受光手段を接合しているため、接合も技術
的に容易であり、適正な特性の光学的パターン検出装置
を容易にかつ安価に製造できる。また、素子のダメージ
が少ない条件とミラー体の精度を高める条件の両方を容
易に確保でき、又発光素子や受光素子の封止性能と成形
サイクルタイムの向上を共に図ることが可能となる。さ
らに、多様な仕様に対してもミラー体の種類を多くして
おくだけでよく、設計変更時にもミラー体だけを変更す
れば良いため、容易にかつ安価に対応できる。
空間を有するミラー体を別に形成しているため、このミ
ラー体は簡単な成形型や反射面形成用のマスクを用いて
容易にしかも精度良く製造できる。又、このミラー体の
発光受光手段の配置空間に透明封止樹脂を充填しかつ発
光受光手段を挿入した後、透明封止樹脂を硬化させてミ
ラー体と発光受光手段を接合しているため、接合も技術
的に容易であり、適正な特性の光学的パターン検出装置
を容易にかつ安価に製造できる。また、素子のダメージ
が少ない条件とミラー体の精度を高める条件の両方を容
易に確保でき、又発光素子や受光素子の封止性能と成形
サイクルタイムの向上を共に図ることが可能となる。さ
らに、多様な仕様に対してもミラー体の種類を多くして
おくだけでよく、設計変更時にもミラー体だけを変更す
れば良いため、容易にかつ安価に対応できる。
また、発光受光手段のリードを並列させると、回路基板
への実装が容易となるなるとともに、発光受光素子をミ
ラー体の配置空間に挿入する場合に、ミラー体の成形型
が複雑にならず、有利である。
への実装が容易となるなるとともに、発光受光素子をミ
ラー体の配置空間に挿入する場合に、ミラー体の成形型
が複雑にならず、有利である。
又、発光受光手段を作動させてその位置決めを行いつつ
接合することにより精度の良い高性能の光学的パターン
検出装置を得ることができる。
接合することにより精度の良い高性能の光学的パターン
検出装置を得ることができる。
さらに、リードフレームを発光素子と受光素子に対して
共通にすると構成部品が少なくなるという利点があり、
各別にリードフレームを設けると両面にワイヤポンディ
ングを行わなくてよい等、大なる効果を発揮する。
共通にすると構成部品が少なくなるという利点があり、
各別にリードフレームを設けると両面にワイヤポンディ
ングを行わなくてよい等、大なる効果を発揮する。
第１図〜第４図は本発明の一実施例を示し、第１図は同
製造工程の斜視図、第２図は同製造工程の縦断正面図、
第３図は発光受光手段の部分斜視図、第４図は他の発光
受光手段の部分斜視図、第５図は本出願人が先に提案し
た光学的パターン検出装置の縦断正面図、第６図は従来
の光学的パターン検出装置の縦断正面図である。 ｌ・・・・・・ミラー体、２・・・・・・第１の反射面
、３・・・・・・第２の反射面、４・・・・・・光透過
部、５・・・・・・レンズ部７・・・・・・配置空間、
８・・・・・・発光受光手段、９．１９ａ、１９ｂ・・
・・・・リードフレーム、１０・・・・・・発光素子、
１１・・・・・・受光素子、１２．１３．１４・・・・
・・リード、１７・・・・・・透明封止樹脂。 代理、＜ａｆｉ弁理士 中圧 敏男 はか１名図 弔 ２ 図 φ 第 図 第 図 ＋９ｂ）＝−リードフし−ム 第 図
製造工程の斜視図、第２図は同製造工程の縦断正面図、
第３図は発光受光手段の部分斜視図、第４図は他の発光
受光手段の部分斜視図、第５図は本出願人が先に提案し
た光学的パターン検出装置の縦断正面図、第６図は従来
の光学的パターン検出装置の縦断正面図である。 ｌ・・・・・・ミラー体、２・・・・・・第１の反射面
、３・・・・・・第２の反射面、４・・・・・・光透過
部、５・・・・・・レンズ部７・・・・・・配置空間、
８・・・・・・発光受光手段、９．１９ａ、１９ｂ・・
・・・・リードフレーム、１０・・・・・・発光素子、
１１・・・・・・受光素子、１２．１３．１４・・・・
・・リード、１７・・・・・・透明封止樹脂。 代理、＜ａｆｉ弁理士 中圧 敏男 はか１名図 弔 ２ 図 φ 第 図 第 図 ＋９ｂ）＝−リードフし−ム 第 図
Claims (5)
- （１）透明体の外面の一部に少なくとも第１と第２の反
射面と集光レンズ部を備えかつ外面に開口する発光受光
手段の配置空間を有する単一体から成るミラー体を形成
し、前記発光受光手段の配置空間に、透明封止樹脂を充
填しかつ発光素子と受光素子とを背面同士が対向するよ
うにリードフレームに装着した発光受光手段を挿入し、
前記透明封止樹脂を硬化させることを特徴とする光学的
パターン検出装置の製造方法。 - （２）発光受光手段のリードが一方向に並列して延出さ
れている請求項１記載の光学的パターン検出装置の製造
方法。 - （３）発光受光手段を作動させてミラー体に対する位置
決めを行った後、透明封止樹脂を硬化させる請求項１又
は２記載の光学的パターン検出装置の製造方法。 - （４）発光素子と受光素子が共通のリードフレームの両
面に装着されている請求項１、２又は３記載の光学的パ
ターン検出装置の製造方法。 - （５）発光素子と受光素子がそれぞれのリードフレーム
に装着され、これらリードフレームが重合されている請
求項１、２又は３記載の光学的パターン検出装置の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63161604A JPH0210877A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 光学的パターン検出装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63161604A JPH0210877A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 光学的パターン検出装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210877A true JPH0210877A (ja) | 1990-01-16 |
Family
ID=15738318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63161604A Pending JPH0210877A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 光学的パターン検出装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0210877A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1988
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