JPH02108908A - コーティング付被測定物の厚さ測定方法 - Google Patents

コーティング付被測定物の厚さ測定方法

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JPH02108908A
JPH02108908A JP26064388A JP26064388A JPH02108908A JP H02108908 A JPH02108908 A JP H02108908A JP 26064388 A JP26064388 A JP 26064388A JP 26064388 A JP26064388 A JP 26064388A JP H02108908 A JPH02108908 A JP H02108908A
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修 高橋
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、コーティングが施された被測定物の真の厚さ
をコーティング上から測定するための厚さ測定方法に関
するものである。
[従来の技術] コーティングが施された鋼板等の被測定物の厚さを測定
する場合、コーティングを剥がした後に適当な厚さ測定
装置を用いて測定するのが一般的な方法である。しかし
ながら、コーティングの除去及び再塗装は非常に手間の
かかる作業であるために、被測定物をコーティング付き
のままで測定できる手段が従来から色々と考えられてい
る。
例えば第5図に示す厚さ測定装置は超音波パルスの反射
を利用して被測定物の厚さを測定するものであり、コー
ティング付被測定物1に密着される超音波探触子2と、
超音波探触子2がらの信号により厚さを測定する厚さ測
定器3とがら成っている−0この装置に用いられる超音
波探触子2はいわゆる分割形と呼ばれるものであり、円
筒形のケース4内に互いに並設された超音波パルスの送
信部材5と受信部材6を有している。送信部材5と受信
部材6との間には、送信部材5から超音波パルスが受信
部材6に直接伝播しないように、音響仕切板7が設けら
れており、これはケース4の開口面まで延びている。ま
た、ケース4内には遅延材8が充填されている。このよ
うな超音波探触子2は、その端面をコーティング付被測
定物1の表面に密着させることにより用いられ、送信部
材5から超音波パルスを発すると、該パルスはコーティ
ングつと被測定物10との境界面、及び被測定物10の
底面にて反射され、これらの反射波が受信部材6により
受信され、その受信信号が厚さ測定器3に送られる。そ
して、この境界面反射波及び底面反射波の信号を利用し
て厚さ測定器3内でこれらの受信時刻の差により板厚を
算出しようとするものである。
また、別の方法としては、底面反射波の多重反射波を利
用するいわゆるB、−82方式がある。このB、−82
方式は、第6図に示すように、最初に被測定物10の底
面で反射された底面反射波(第1底面反射波)と、第1
底面反射波の一部がコーティングつと被測定物10との
境界面を透過せずに反射され再び被測定物10の底面で
反射された底面反射波(第2底面反射波)との受信部材
6による受信時刻の差を測定することにより板厚を求め
る方法でである。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、前述した従来の厚さ測定方法には以下に
示す問題点がある。
まず、境界面及び底面の反射波を利用する方法は、超音
波探触子2の音響仕切板7がコーティング付被測定物1
の表面に接するので、境界面反射波の受信レベルが低く
、測定誤差が生じやすいという問題点がある。即ち、境
界面反射波による信号を取り出すためには大幅な増幅が
必要とされ、増幅による誤差を無視できなくなる場合が
あり、同時に測定誤差の原因となる雑音(境界面反射波
のコーティング9内での多重反射波、表面反射波等を含
む)も拾い易くなるのである。従って、特にコーティン
グが薄い場合、境界面反射波による信号を選択して確実
に取り出すことは難しく、被測定物10の真の板厚を正
確に求めることは困難であった。
他方、B、−B2方式では、上述した如き境界面反射波
の取出しに伴う問題は生じないが、第7図のようにコー
ティング付被測定物1の底面に腐食部11が存在する場
合には、条件によっては受信部材6から出力される信号
に腐食部11の反射波による信号f2、その多重反射波
f2、及び底面反射波信号B、が混在し、これらを区別
することができず、被測定物10の厚さを正確に測定す
ることが不可能となる。
従って、本発明の目的はかかる問題点を解決することに
ある。
[課題を解決するための手段] 前記目的を達成するために、本発明は、超音波パルスの
送信及び受信が可能な第1の部材と、少なくとも超音波
パルスの受信が可能な第2の部材とが音響仕切板を隔て
て並設されている分割形の超音波探触子を用い、コーテ
ィング付被測定物の被測定物のみの厚さを測定する厚さ
測定方法であって、前記超音波探触子の前記第1の部材
から超音波パルスを発すると共に、コーティング表面に
よる表面反射波、及びコーティングと被測定物との間の
境界面による境界面反射波を前記第1の部材により受信
し、前記第1の部材により受信された信号から前記境界
面反射波の信号のみを取り出して計時スタート信号とし
、他方、前記超音波探触子の前記第2の部材により被測
定物の底面による底面反射波を受信して計時ストップ信
号とし、前記計時スタート信号と前記計時ストップ信号
とから被測定物の厚さを算出することを特徴としている
[作用〕 本発明によれば、表面反射波及び境界面反射波を送信側
の第1の部材により受信させることにより、これらの反
射波の受信レベルが高レベルとなり、被測定物の厚さ測
定に必要な境界面反射波を確実に収り出すことができる
[実施例] 以下、図面と共に本発明の好適な実施例について詳細に
説明するが、図中、同−又は相当部分には同一符号を用
いることとする。
図面の第1図は本発明の測定方法を実施するための装置
の一例を示している。符号2は従来一般に用いられてい
る分割形の超音波探触子であり、超音波パルスを発する
送信部材(第1の部材)5と、受信を行う受信部材(第
2の部材)6とがケース4内に並設され、両者間には音
響仕切板7が配置されている0通常、これらの部材5.
6は振動子と呼ばれるものから成り、送信及び受信の両
方の機能を有している。本発明では、送信部材5におい
て超音波パルスの送信と受信を行うように回路構成がな
されている6尚、以下の説明では、送信部材を送受信部
材と称する。また、符号20は超音波探触子2に接続さ
れた厚さ測定器である。
かかる装置を用いてコーティング付被測定物1の厚さを
測定する場合、まず、コーティング9の表面にグリセリ
ン等の接触媒質を塗布し超音波探触子2の開口面を密着
させる。
超音波探触子2の送受信部材5は厚さ測定器20の超音
波パルス発生器21に接続されており、この超音波パル
ス発生器21は原発振器22からの一定周期の矩形パル
スを受けることにより超音波パルス発生信号を発し、送
受信部材5から一定の周期で超音波パルスを送信させる
。送受信部材5から発せられた超音波パルスの一部は、
まず、コーティング9の表面で反射される。この表面反
射波は、音響仕切板7により遮られ受信部材6には殆ど
伝播されず、主に送受信部材5により受信される。
また、コーティング9を通過した超音波パルスの一部は
、コーティング9と被測定物10との境界面で反射され
、この境界面反射波の大部分が表面反射波と同様に送受
信部材5で受信される0表面反q(波及び境界面反射波
を受信した送受信部材5からの信号■は厚さ測定器20
の表面反射波アンプ23に送られる(第2図■)8表面
反射波アンプ23において、オートゲインコントロール
24によりオートゲインコントロール電圧(本実施例で
は負の一定電圧)が信号■に加えられ、第2図■に示す
ように適当なレベルに調整される0次いで、この調整さ
れた信号■は境界面反射波セレクタ25に入力される。
境界面反射波セレクタ25では、コーティング9の厚さ
に応じて第2図■の如く予め設定されたゲート信号■を
セレクタゲート回路26から受け、表面反射波及び境界
面反射波に対応する信号■が出力される(第2図■)、
そして、レベル設定回路27で、レベル設定値(第2図
■)を越える信号、即ち境界面反射波に対応する信号■
のみが取り出され、この信号■に基づいて板厚測定のた
めの計時スタート信号■がスター1へ信号発生回路28
で形成される(第2図■1■)。
また、送受信部材5から発せられた超音波パルスの他の
部分は、コーティング9及び被測定物10を伝播して被
測定物10の底面で反射し、その底面反射波は受信部材
6により受信される。この受信信号[F]は厚さ測定器
ZOの底面反射波アンプ29を通り、オートゲインコン
トロール30により調整された後、底面反射波セレクタ
31に入力される (第2図■、■)0次いで、信号■
は、底面反射波セレクタ31においてセレクタゲート回
路32からのゲート信号[株]により信号0に変換され
(第2図[相]、■)、レベル設定回路33にてレベル
設定値(第2図0)に基づき底面反射波に対応する信号
[相]が取り出される(第21”J@)、この後、信号
■はストップ信号発生回路34で計時ストップ信号■と
して出力される(第2図■)。
計時スタート信号■と計時ストップ信号■はフリップフ
ロップ回路35に入力され、フリ117071回路35
7J′−らは、第2図■から理解されるように境界面反
射波の受信時刻から底面反射波の受信時刻までの時間に
相当する信号■が出力される。
これを計時・演算回路36で計時すると共に、被測定物
10中の超音波の伝播速度に基づいて演算処理すること
で、被測定物10の真の厚さが算出され、その値が測定
値表示部37に表示される。
第3図は広帯域特性を有する超音波探触子を用いて本発
明による厚さ測定を行った場合における送受信部材5で
の受信信号と受信部材6での受信信号の波形を示すオシ
ロスコープの写真である。
ここで、広帯域超音波探触子とは、反射波のピーク数が
4程度までのもので、反射波の周波数スペクトルの帯域
幅が広い探触子をいう、また、第4図は、第3図と同条
件で狭帯域超音波探触子を用いた場合のオシロスコープ
の写真である。第3図及び第4図を比較して分かるよう
に、前者は表面反射波と境界面反射波の分解能は良いが
、底面反射波の応答出力の電圧が小さく、大きな増幅を
必要としているのに対し、後者の狭帯域超音波探触子は
表面反射波と境界面反射波の分解能が悪く、底面反射波
の応答出力が大きいという特性がある。
いずれの超音波探触子を用いても本発明は実施可能であ
るが、それぞれ一長一短があるので、境界面反射波と表
面反射波の分解能が良好で且つ底面反射波の大幅な増幅
を不要とするためには、超音波探触子2は、送受信部材
5とその背面側のダンパー40は広帯域特性を有するも
のとし、受信部材6とその背面側のダンパー41は狭帯
域特性を有するものとするのが好適である。
[発明の効果] 以上のように、本発明によれば、分割形超音波探触子の
送信側の部材により境界面反射波を受信することとした
ので、境界面反射波の受信レベルは大きく、その信号を
確実に取り出すことができる。従って、境界面反射波と
底面反射波とから、コーティングを含まない被測定物の
真の板厚を正確に測定することが可能となる。また、B
+B−方式でみられるような被測定物の腐食による測定
誤差も生じ得ない、更に、従来においては、受信部材で
受信される各種反射波の信号を分離して取り出すために
、コーティング、被測定物及び遅延材の厚さや、それぞ
れの超音波伝播速度等に応じて超音波探触子の種類を選
ぶ必要があったが、本発明では、表面反射波及び境界面
反射波と、底面反射波とを別個に受信することとしたの
で、信号の取出しが容易化され、1種類の超音波探触子
で多種の被測定物に対応することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による厚さ測定方法を実施するための厚
さ測定装置の一例を示す概略説明図、第2図は第1図に
おける各出力信号の波形を示す波形説明図、第3図は広
帯域特性を有する超音波探触子を用いた場合における送
受信部材と受信部材での受信信号の波形を示すオシロス
コープの写真、第4図は狭帯域特性を有する超音波探触
子を用いた場合における送受信部材と受信部材での受信
信号の波形を示すオシロスコープの写真、第5図は従来
一般の厚さ測定装置を示す概略説明図、第6図及び第7
図はB、−82方式による厚さ測定を示す概略説明図で
ある0図中、 1・・・コーティング付被測定物 2・・・超音波探触子  3.20・・・厚さ測定器5
・・・送受信部材(第1の部材) 6・・・受信部材(第2の部材) 9・・・コーティング  10・・・被測定物特許出願
人  トーヨーカネツ株式会社同 上   ジャパンプ
ローブ株式会社第 1図 箆 図(yCの1) 児3図 馬4図 も 第 2区H量の2) 第 図 根

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 超音波パルスの送信及び受信が可能な第1の部材と、少
    なくとも超音波パルスの受信が可能な第2の部材とが音
    響仕切板を隔てて並設されている分割形の超音波探触子
    を用い、コーティング付被測定物の被測定物のみの厚さ
    を測定する厚さ測定方法であって、前記超音波探触子の
    前記第1の部材から超音波パルスを発すると共に、コー
    ティング表面による表面反射波、及びコーティングと被
    測定物との間の境界面による境界面反射波を前記第1の
    部材により受信し、前記第1の部材により受信された信
    号から前記境界面反射波の信号のみを取り出して計時ス
    タート信号とし、他方、前記超音波探触子の前記第2の
    部材により被測定物の底面による底面反射波を受信して
    計時ストップ信号とし、前記計時スタート信号と前記計
    時ストップ信号とから被測定物の厚さを算出することを
    特徴とするコーティング付被測定物の厚さ測定方法。
JP26064388A 1988-10-18 1988-10-18 コーティング付被測定物の厚さ測定方法 Expired - Lifetime JP2812688B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5271274A (en) * 1991-08-14 1993-12-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Thin film process monitoring techniques using acoustic waves

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5271274A (en) * 1991-08-14 1993-12-21 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Thin film process monitoring techniques using acoustic waves

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