JPH0210973A - Ｘ線撮像素子 - Google Patents
Ｘ線撮像素子Info
- Publication number
- JPH0210973A JPH0210973A JP63162333A JP16233388A JPH0210973A JP H0210973 A JPH0210973 A JP H0210973A JP 63162333 A JP63162333 A JP 63162333A JP 16233388 A JP16233388 A JP 16233388A JP H0210973 A JPH0210973 A JP H0210973A
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- JP
- Japan
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- ray
- image pickup
- pickup element
- solid
- fluorescent substance
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は、広く一般に用いられる歓Ｘ線の撮像素子に
関する。
関する。
［発明の概要１
この発明は、軟Ｘ線領域の撮像において、固体撮像素子
上に、６００ｎｍ以上の発光帯を持つハロゲン化バリウ
ム（サマリウム）の螢光体の薄膜を形成させ、これを保
護するためのＸ線透過率が高く、かつ耐放射線性の高い
物質（Ｂｅ、Ｃの単結晶、ポリイミドのフィルム）を、
窓材として使用した窓を取り付け、一体化した小型で長
寿命であり、かつ高分解能なＸ線撮像素子に関する。
上に、６００ｎｍ以上の発光帯を持つハロゲン化バリウ
ム（サマリウム）の螢光体の薄膜を形成させ、これを保
護するためのＸ線透過率が高く、かつ耐放射線性の高い
物質（Ｂｅ、Ｃの単結晶、ポリイミドのフィルム）を、
窓材として使用した窓を取り付け、一体化した小型で長
寿命であり、かつ高分解能なＸ線撮像素子に関する。
［従来の技術１
従来、固体撮像素子上に螢光体を取り付け、放射線を可
視及び赤外光へ変換して撮像する装置として、特公昭５
８−３７７０２号公告の前記螢光体にメタルバックをし
たものがあげられている。
視及び赤外光へ変換して撮像する装置として、特公昭５
８−３７７０２号公告の前記螢光体にメタルバックをし
たものがあげられている。
［発明が解決しようとする課題１
しかし、従来の螢光体の付いた固体撮像素子は、Ｘ線に
対して、弱い材料の組み合わせであり、かつ螢光体層形
成においても決して高分解能を得られる方式となってい
ない。
対して、弱い材料の組み合わせであり、かつ螢光体層形
成においても決して高分解能を得られる方式となってい
ない。
ずなわち、固体撮像素子によるＸ線の撮像は、長寿命を
一番に要求される。このため、Ｘ線を完全に螢光体層で
変換せねば、シリコンを用いた固体撮像素子に像の焼き
肴きを発生させる。また、螢光体層においても、Ｘ線に
よる着色などの損傷を避けなければならない、このため
、耐Ｘ線性のある螢光層でほぼ完全に可視光または赤外
光に変換せねばならない、さらに、変換過程において、
像のにじみを最大限に減らす課題がある。
一番に要求される。このため、Ｘ線を完全に螢光体層で
変換せねば、シリコンを用いた固体撮像素子に像の焼き
肴きを発生させる。また、螢光体層においても、Ｘ線に
よる着色などの損傷を避けなければならない、このため
、耐Ｘ線性のある螢光層でほぼ完全に可視光または赤外
光に変換せねばならない、さらに、変換過程において、
像のにじみを最大限に減らす課題がある。
［課題を解決するための手段］
上記の課題点を解決するために、この発明は、螢光体と
して、現在、一般的に使用されているジノコンを使った
固体撮像素子の分光感度特性に適合した耐Ｘ線性のある
ハロゲン化バリウム（サマリウム）を用い、この螢光体
の単体の層を形成させた。また、膜厚を３０μｍ以下に
押さえることにより螢光体層中でのにぢみを消すことと
した。
して、現在、一般的に使用されているジノコンを使った
固体撮像素子の分光感度特性に適合した耐Ｘ線性のある
ハロゲン化バリウム（サマリウム）を用い、この螢光体
の単体の層を形成させた。また、膜厚を３０μｍ以下に
押さえることにより螢光体層中でのにぢみを消すことと
した。
［作用］
上記の手段により、この発明では、次の作用を得ること
となった盛 ハロゲン化バリウム（サマリウム）の使用することは、
この物質がＥ３００ｎｍ以上、特に７００ｎｍ以上にも
発光帯を持つことにより、シリコン系の分光感度で最適
である８００ｎｍ域にほぼ一致した。
となった盛 ハロゲン化バリウム（サマリウム）の使用することは、
この物質がＥ３００ｎｍ以上、特に７００ｎｍ以上にも
発光帯を持つことにより、シリコン系の分光感度で最適
である８００ｎｍ域にほぼ一致した。
また、蒸着による成膜の成功により、薄く一様な螢光体
のみの層の形成が行なえる様になったことにより、Ｘ線
に対し長寿命になった。また、膜厚を高分解能を保てる
３０μｍ以下に制御可能となった。
のみの層の形成が行なえる様になったことにより、Ｘ線
に対し長寿命になった。また、膜厚を高分解能を保てる
３０μｍ以下に制御可能となった。
この発明の実施例を、以下の図面と表にもとすいて説明
を行なう。
を行なう。
第１図において、固体撮像素子の本体１０１の受光面側
に、撮像素子の受光面上に蒸着により形成した螢光体層
を、保護するために、窓１０２を取り付けた。この窓の
窓材は、耐Ｘ線性があり、かつＸ線透過性が高い必要性
があるため、下記の第２図は、撮像素子の断面図で、撮
像素子２０２の表面に直接、螢光体層を形成させる。薄
膜形成にあたっては、真空蒸着法を用いた。このときフ
ッ化物系においては、昇華法により行ない、他のハロゲ
ン化物においては、フラッシュ法により３０μｍ以下の
薄膜を一様に、螢光体２０１として形成させることがで
きた１本発明においては、軟Ｘ線領域を対称としたこと
から、膜厚を１０μｍとした。このことにより、Ｘ線の
透過は、０゜０１％以下に押さえられ、固体撮像素子の
損傷を、はぼ完全になくし、かつ解像度の劣化を２０１
２ ｐ ／ ｍ ｍ以上にした。
に、撮像素子の受光面上に蒸着により形成した螢光体層
を、保護するために、窓１０２を取り付けた。この窓の
窓材は、耐Ｘ線性があり、かつＸ線透過性が高い必要性
があるため、下記の第２図は、撮像素子の断面図で、撮
像素子２０２の表面に直接、螢光体層を形成させる。薄
膜形成にあたっては、真空蒸着法を用いた。このときフ
ッ化物系においては、昇華法により行ない、他のハロゲ
ン化物においては、フラッシュ法により３０μｍ以下の
薄膜を一様に、螢光体２０１として形成させることがで
きた１本発明においては、軟Ｘ線領域を対称としたこと
から、膜厚を１０μｍとした。このことにより、Ｘ線の
透過は、０゜０１％以下に押さえられ、固体撮像素子の
損傷を、はぼ完全になくし、かつ解像度の劣化を２０１
２ ｐ ／ ｍ ｍ以上にした。
また、フッ化物系を除くこの系の母材は、湿気と炭酸ガ
スに弱いため、螢光体２０１を保護する窓１０２との空
間に、乾燥した窒素ガスの薄層を作り、環境因子による
損傷を防いだ。
スに弱いため、螢光体２０１を保護する窓１０２との空
間に、乾燥した窒素ガスの薄層を作り、環境因子による
損傷を防いだ。
さらに、撮像素子の本体及び透過による他へのＸ線損傷
を防ぐため、表面を約１ｍｍのポリイミド樹脂のＸ線シ
ールド２０３でおおった。
を防ぐため、表面を約１ｍｍのポリイミド樹脂のＸ線シ
ールド２０３でおおった。
以上により、一体化となった小型で長寿命なＸ＃ｉｌ擾
像素子ができた。
像素子ができた。
［発明の効果］
この発明は、以上説明したように、固体撮像素子の分光
感度特性に適した螢光物質を、はぼＸ線を完全に吸収す
る厚さで成膜したことにより、１０１ｐ／ｍｍを越＾、
約３０〜４０℃ｐ ／ ｍ ｍの分解能をもった長寿命
のＸ線撮像素子を作り出すことに成功した。
感度特性に適した螢光物質を、はぼＸ線を完全に吸収す
る厚さで成膜したことにより、１０１ｐ／ｍｍを越＾、
約３０〜４０℃ｐ ／ ｍ ｍの分解能をもった長寿命
のＸ線撮像素子を作り出すことに成功した。
第１図は、この発明によって完成したＸ線ＩＲ像素子の
外観図、第２図は、このＸ線撮像素子の主たる構成要素
の部分の実施例を簡易的に示す断面図である。 ・・本体 ・・窓 ・・螢光体 ・・撮像素子 ・・Ｘ線シールド
外観図、第２図は、このＸ線撮像素子の主たる構成要素
の部分の実施例を簡易的に示す断面図である。 ・・本体 ・・窓 ・・螢光体 ・・撮像素子 ・・Ｘ線シールド
Claims (1)
- 固体撮像素子上に、ハロゲン化バリウム（サマリウム）
の螢光体層を形成させたことを特徴とするＸ線撮像素子
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63162333A JPH0210973A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Ｘ線撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63162333A JPH0210973A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Ｘ線撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0210973A true JPH0210973A (ja) | 1990-01-16 |
Family
ID=15752555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63162333A Pending JPH0210973A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | Ｘ線撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0210973A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042267A (en) * | 1997-04-09 | 2000-03-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray image pickup apparatus for intraoral radiography |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP63162333A patent/JPH0210973A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042267A (en) * | 1997-04-09 | 2000-03-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray image pickup apparatus for intraoral radiography |
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