JPH02109939U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02109939U JPH02109939U JP1707889U JP1707889U JPH02109939U JP H02109939 U JPH02109939 U JP H02109939U JP 1707889 U JP1707889 U JP 1707889U JP 1707889 U JP1707889 U JP 1707889U JP H02109939 U JPH02109939 U JP H02109939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- room
- door
- dust
- closes
- opens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例によるクリーン
ルームの断面図、第２図は、この考案の一実施例
によるクリーンルームの機能を示すブロツク図、
第３図は、従来のクリーンルームの機能を示すブ
ロツク図である。 図において、１はクリーンルーム、２は第１の
扉スイツチ、３は第１の扉、４は第１の扉開閉器
、５は第１の扉検知器、６は第２の扉スイツチ、
７は第２の扉、８は第２の扉開閉器、９は第２の
扉検知器、１０はダストカウンタ、１１は警報器
である。なお、図中、同一符号は同一、又は相当
部分を示す。
ルームの断面図、第２図は、この考案の一実施例
によるクリーンルームの機能を示すブロツク図、
第３図は、従来のクリーンルームの機能を示すブ
ロツク図である。 図において、１はクリーンルーム、２は第１の
扉スイツチ、３は第１の扉、４は第１の扉開閉器
、５は第１の扉検知器、６は第２の扉スイツチ、
７は第２の扉、８は第２の扉開閉器、９は第２の
扉検知器、１０はダストカウンタ、１１は警報器
である。なお、図中、同一符号は同一、又は相当
部分を示す。
Claims (1)
- その内部が外気と遮断された第１の部屋と、外
気とこの第１の部屋とを仕切る第１の扉と、この
第１の扉を開閉する第１の扉開閉器と、上記第１
の部屋に隣接し、所定の温度・湿度・清浄度に調
整されている第２の部屋と、上記第１の部屋とこ
の第２の部屋を仕切る第２の扉と、この第２の扉
を開閉する第２の扉開閉器とからなるクリーンル
ームにおいて、第１の扉の開閉後、第１の部屋内
の塵埃の濃度を測定し、濃度がある基準以下に達
するまで、第２の扉を開放させないように作用す
る塵埃測定器を備えたことを特徴とするクリーン
ルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1707889U JPH02109939U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1707889U JPH02109939U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02109939U true JPH02109939U (ja) | 1990-09-03 |
Family
ID=31230559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1707889U Pending JPH02109939U (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02109939U (ja) |
-
1989
- 1989-02-16 JP JP1707889U patent/JPH02109939U/ja active Pending