JPH02110876U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02110876U JPH02110876U JP1969289U JP1969289U JPH02110876U JP H02110876 U JPH02110876 U JP H02110876U JP 1969289 U JP1969289 U JP 1969289U JP 1969289 U JP1969289 U JP 1969289U JP H02110876 U JPH02110876 U JP H02110876U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- probe needle
- insulating
- probe
- leaf spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図ａは本考案の実施例１を示す平面図、ｂ
は同正面図、第２図ａは本考案の実施例２を示す
平面図、ｂは同側面図である。 １，２……板バネ、１ａ，２ａ……電極、１ｂ
，２ｂ……ネジ孔、１ｃ，２ｃ……プローブニー
ドル用孔、１ｄ，２ｄ……ネジ、３……ベース、
４……長孔、５……ニードルガイド、５ａ，５ｂ
……プローブニードル用ガイド孔、６ａ，６ｂ…
…プローブニードル、７……表面が曲面のベース
、８……表面が曲面のニードルガイド、８ａ……
プローブニードル用ガイド孔。
は同正面図、第２図ａは本考案の実施例２を示す
平面図、ｂは同側面図である。 １，２……板バネ、１ａ，２ａ……電極、１ｂ
，２ｂ……ネジ孔、１ｃ，２ｃ……プローブニー
ドル用孔、１ｄ，２ｄ……ネジ、３……ベース、
４……長孔、５……ニードルガイド、５ａ，５ｂ
……プローブニードル用ガイド孔、６ａ，６ｂ…
…プローブニードル、７……表面が曲面のベース
、８……表面が曲面のニードルガイド、８ａ……
プローブニードル用ガイド孔。
Claims (1)
- プローブニードル用孔及びプローブニードル調
整用孔並びに電極を有する導電性の２枚の板バネ
と、プローブニードル用ガイド孔を有する絶縁性
ニードルガイドと、中心に板バネ位置調整用長孔
を有する絶縁性ベースとを含むことを特徴とする
半導体用プローブヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1969289U JPH0622218Y2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 半導体用プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1969289U JPH0622218Y2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 半導体用プローブヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02110876U true JPH02110876U (ja) | 1990-09-05 |
| JPH0622218Y2 JPH0622218Y2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=31235427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1969289U Expired - Lifetime JPH0622218Y2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 半導体用プローブヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622218Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002354A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Yokogawa Electric Corp | プローブアクセサリ |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP1969289U patent/JPH0622218Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002354A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Yokogawa Electric Corp | プローブアクセサリ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0622218Y2 (ja) | 1994-06-08 |