JPH0211099B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0211099B2 JPH0211099B2 JP5239485A JP5239485A JPH0211099B2 JP H0211099 B2 JPH0211099 B2 JP H0211099B2 JP 5239485 A JP5239485 A JP 5239485A JP 5239485 A JP5239485 A JP 5239485A JP H0211099 B2 JPH0211099 B2 JP H0211099B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- spark discharge
- sample
- spectroscopic analysis
- generated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は金属試料中に含まれる各種元素を迅速
に分析する方法に関するものであり、製鉄業ある
いは各種非鉄金属製造業などにおける製造工程管
理分析や品質管理分析の分野で利用されるもので
ある。
に分析する方法に関するものであり、製鉄業ある
いは各種非鉄金属製造業などにおける製造工程管
理分析や品質管理分析の分野で利用されるもので
ある。
（従来の技術）
金属の製錬など製造プロセスにおける操業管理
には、金属中に含まれる各種元素の迅速分析が必
須である。この金属試料の工程管理分析法として
は、試料と対電極との間に高電圧をかけてスパー
ク放電を行わせ、発生した励起光を分光して各種
元素を同時に迅速分析する発光分光分析方法
（JIS G1253鉄及び鋼の光電測光法による発光分
光分析方法）が代表的である。本発明は、この発
光分光分析法の範ちゆうに入り、試料にスパーク
放電を飛ばした時に励起光と同時に発生する金属
試料の超微粒子を高周波誘導結合型プラズマ等の
プラズマ中に導入して発光した光を分光し、各種
元素を同時に迅速分析する方法に関するものであ
る。（参考文献、島津科学器械ニユース、
vol.23／No.．１、Mar.1982、P12） 後者の方法は前者に比べ、発生させた超微粒子
をアルゴンガス気流で数10ｍの長距離を搬送する
ことができるために、振動、塵埃、高温など一般
に分析試料が存在する悪い測定環境から精密光学
測定機器である分光検出器を離して設置できる利
点がある。例えば、スパーク放電部を掲帯用とす
ることによつて、悪い測定環境下にある金属材料
をその存在場所で直接分析できるようになる。本
法はこのような便利な点をもつ反面、プラズマ生
成ガス中の微量不純物が主な原因と考えられる高
いバツクグランドによる影響から炭素分析の感
度、精度が前法に比べて低い問題がある。
には、金属中に含まれる各種元素の迅速分析が必
須である。この金属試料の工程管理分析法として
は、試料と対電極との間に高電圧をかけてスパー
ク放電を行わせ、発生した励起光を分光して各種
元素を同時に迅速分析する発光分光分析方法
（JIS G1253鉄及び鋼の光電測光法による発光分
光分析方法）が代表的である。本発明は、この発
光分光分析法の範ちゆうに入り、試料にスパーク
放電を飛ばした時に励起光と同時に発生する金属
試料の超微粒子を高周波誘導結合型プラズマ等の
プラズマ中に導入して発光した光を分光し、各種
元素を同時に迅速分析する方法に関するものであ
る。（参考文献、島津科学器械ニユース、
vol.23／No.．１、Mar.1982、P12） 後者の方法は前者に比べ、発生させた超微粒子
をアルゴンガス気流で数10ｍの長距離を搬送する
ことができるために、振動、塵埃、高温など一般
に分析試料が存在する悪い測定環境から精密光学
測定機器である分光検出器を離して設置できる利
点がある。例えば、スパーク放電部を掲帯用とす
ることによつて、悪い測定環境下にある金属材料
をその存在場所で直接分析できるようになる。本
法はこのような便利な点をもつ反面、プラズマ生
成ガス中の微量不純物が主な原因と考えられる高
いバツクグランドによる影響から炭素分析の感
度、精度が前法に比べて低い問題がある。
（発明が解決しようとする問題点）
炭素成分は金属の機械的強度などの品質評価に
重要な影響を与えるので、高い感度、精度で分析
する必要がある。そのために、上述のような本法
の炭素分析の低い感度および精度を簡単な方法で
改善することが要請されていた。本発明はこの要
請にこたえ炭素分析の感度および精度を向上させ
るものである。
重要な影響を与えるので、高い感度、精度で分析
する必要がある。そのために、上述のような本法
の炭素分析の低い感度および精度を簡単な方法で
改善することが要請されていた。本発明はこの要
請にこたえ炭素分析の感度および精度を向上させ
るものである。
（問題点を解決するための手段）
金属試料にアルゴンガス等の不活性雰囲気下で
スパーク放電を飛ばすと、金属試料中の各元素は
原子化するが短時間の内に互に凝集して金属試料
とほぼ同じ組成の超微粒子を形成する。この超微
粒子は高周波誘導結合型などのプラズマ中にアル
ゴンガス気流などで導入すると鉄、けい素、マン
ガン、りん、硫黄、銅、チタン等の各元素は発光
するが、炭素は微粒子の状態のときよりもガス化
合物の状態で存在する方が数倍強く発光する。そ
こで、スパーク放電の際に金属試料中の炭素がガ
ス化合物に変化する方法について検討を続けた。
その結果、アルゴンガス中に微量の酸素を混合し
た雰囲気下でスパーク放電を飛ばすことにより、
金属試料中の炭素は一部炭酸ガスを伴う一酸化炭
素ガスに変化し、プラズマ中での発光強度は高ま
ることがわかつた。これらの知見を応用し、スパ
ーク放電を行う雰囲気ガスを最初は高純度アルゴ
ンガスなどの不活性ガス雰囲気下で放電を行い、
次に雰囲気ガスを酸素を含むアルゴンガスなどの
不活性ガスに切替えて、そのまま継続してスパー
ク放電を飛ばす方法を採用した。酸素を含む不活
性ガス雰囲気下ではスパーク放電は正常には飛び
にくく、各元素の蒸発量が非常に低い拡散放電と
なりやすく、一酸化炭素ガスの生成量も不安定に
なつたりして炭素および各元素の定量精度が悪く
なる問題があつた。この問題は上記のようなスパ
ーク放電時の雰囲気ガスの制御によつて解決でき
た。
スパーク放電を飛ばすと、金属試料中の各元素は
原子化するが短時間の内に互に凝集して金属試料
とほぼ同じ組成の超微粒子を形成する。この超微
粒子は高周波誘導結合型などのプラズマ中にアル
ゴンガス気流などで導入すると鉄、けい素、マン
ガン、りん、硫黄、銅、チタン等の各元素は発光
するが、炭素は微粒子の状態のときよりもガス化
合物の状態で存在する方が数倍強く発光する。そ
こで、スパーク放電の際に金属試料中の炭素がガ
ス化合物に変化する方法について検討を続けた。
その結果、アルゴンガス中に微量の酸素を混合し
た雰囲気下でスパーク放電を飛ばすことにより、
金属試料中の炭素は一部炭酸ガスを伴う一酸化炭
素ガスに変化し、プラズマ中での発光強度は高ま
ることがわかつた。これらの知見を応用し、スパ
ーク放電を行う雰囲気ガスを最初は高純度アルゴ
ンガスなどの不活性ガス雰囲気下で放電を行い、
次に雰囲気ガスを酸素を含むアルゴンガスなどの
不活性ガスに切替えて、そのまま継続してスパー
ク放電を飛ばす方法を採用した。酸素を含む不活
性ガス雰囲気下ではスパーク放電は正常には飛び
にくく、各元素の蒸発量が非常に低い拡散放電と
なりやすく、一酸化炭素ガスの生成量も不安定に
なつたりして炭素および各元素の定量精度が悪く
なる問題があつた。この問題は上記のようなスパ
ーク放電時の雰囲気ガスの制御によつて解決でき
た。
すなわち、最初に高純度アルゴンガス雰囲気下
でスパーク放電を行うと、試料表面に放電が飛び
易く、表面の汚れなども除去され表面粗度も均一
となるなどして放電状態が短時間で安定する。こ
のように放電が飛び易いガス雰囲気および試料表
面状態を作つておき、雰囲気ガスを酸素混合アル
ゴンガスに切り替えるとスパーク放電は良好な放
電状態を維持する。良好なスパーク放電が維持さ
れると微粒子および一酸化炭素の発生が安定し、
精度よく分析できることにつながる。そこで、各
元素を分析する時期に関して２方法が考えられ
る。すなわち、高純度アルゴンガス雰囲気で放電
中は予備処理放電として分析は行わずに、酸素混
合アルゴンガス雰囲気で放電中に炭素を含む各元
素を一緒に発光分光分析する方法、および高純度
アルゴンガスで放電中に予備処理および炭素を除
く各元素を分析し、酸素混合アルゴンガス雰囲気
で放電中に炭素のみを分析する方法である。前者
は全分析時間が短かい利点があるが、後者に比べ
炭素以外の各元素の分析精度・感度が多少不利と
なるので、分析目的などによつて両方法を使い分
けるのがよい。
でスパーク放電を行うと、試料表面に放電が飛び
易く、表面の汚れなども除去され表面粗度も均一
となるなどして放電状態が短時間で安定する。こ
のように放電が飛び易いガス雰囲気および試料表
面状態を作つておき、雰囲気ガスを酸素混合アル
ゴンガスに切り替えるとスパーク放電は良好な放
電状態を維持する。良好なスパーク放電が維持さ
れると微粒子および一酸化炭素の発生が安定し、
精度よく分析できることにつながる。そこで、各
元素を分析する時期に関して２方法が考えられ
る。すなわち、高純度アルゴンガス雰囲気で放電
中は予備処理放電として分析は行わずに、酸素混
合アルゴンガス雰囲気で放電中に炭素を含む各元
素を一緒に発光分光分析する方法、および高純度
アルゴンガスで放電中に予備処理および炭素を除
く各元素を分析し、酸素混合アルゴンガス雰囲気
で放電中に炭素のみを分析する方法である。前者
は全分析時間が短かい利点があるが、後者に比べ
炭素以外の各元素の分析精度・感度が多少不利と
なるので、分析目的などによつて両方法を使い分
けるのがよい。
（発明の構成・作用・実施例）
第１図に示す本発明の実施装置例をもとに、本
発明の構成、作用等について説明する。本発明装
置は、スパーク放電部１、スパーク放電用電源部
２、アルゴン等のガス制御部３、プラズマ発光分
光分析部４を主体に構成される。スパーク放電部
１は、分析試料６に対向してタングステン製など
の対電極７が設けられ、不活性ガス供給口と排出
口を設けた小容積の放電室８を形成している。分
析試料６および対電極７には、スパーク電源装置
２の陰極および陽極がそれぞれ接続されている。
この両極に高電圧をかけて試料６表面と対電極７
先端部間にスパーク放電を飛ばし、試料中の各元
素を励起蒸発させる。スパーク放電の条件は各元
素の励起の再現性が良い条件が適当である。例え
ば、スパーク放電回路定数が自己誘導10μH、静
電容量3μF、抵抗０Ωで電圧は1000V、周波数
100〜400Hz、電極間間隙は４〜６mm程度の一般
的な低圧スパーク放電条件を採用した場合、各元
素の定量結果の感度、精度が優れていた。
発明の構成、作用等について説明する。本発明装
置は、スパーク放電部１、スパーク放電用電源部
２、アルゴン等のガス制御部３、プラズマ発光分
光分析部４を主体に構成される。スパーク放電部
１は、分析試料６に対向してタングステン製など
の対電極７が設けられ、不活性ガス供給口と排出
口を設けた小容積の放電室８を形成している。分
析試料６および対電極７には、スパーク電源装置
２の陰極および陽極がそれぞれ接続されている。
この両極に高電圧をかけて試料６表面と対電極７
先端部間にスパーク放電を飛ばし、試料中の各元
素を励起蒸発させる。スパーク放電の条件は各元
素の励起の再現性が良い条件が適当である。例え
ば、スパーク放電回路定数が自己誘導10μH、静
電容量3μF、抵抗０Ωで電圧は1000V、周波数
100〜400Hz、電極間間隙は４〜６mm程度の一般
的な低圧スパーク放電条件を採用した場合、各元
素の定量結果の感度、精度が優れていた。
ガス制御部３は高純度アルゴンガスボンベ９、
酸素ガスを0.001〜0.01％程度混合した高純度ア
ルゴンガスボンベ１０、ニードルバルブ付流量計
１１ａ，１１ｂ、電磁弁１２ａ，１２ｂなどから
構成され、両ガスの流路の切替および流量制御を
行う。先ず分析試料６を設定したあと、第１図の
矢印の経路、すなわちアルゴンガスボンベ９、流
量計１１ａ、電磁弁１２ａ、ガス供給管１３、放
電室８、ガス搬送管１４、ガス分配器５、微粒子
導入管１５、プラズマトーチ１６にアルゴンガス
を５〜10/minの流量で流して放電室８内に残
留した大気を排出除去すると共にスパーク放電を
飛ばす。放電室８で発生した微粒子はプラズマト
ーチ１６で発光し、鉄、けい素、マンガン、り
ん、硫黄、銅など一般元素が分析される。しか
し、この方法では炭素について定量感度が低い欠
点がある。次に、このスパーク放電を止めずに雰
囲気ガスを酸素混合アルゴンガスに切替える。す
なわち、放電室８への供給ガスを電磁弁１２ａを
止めて１２ｂを開き、酸素混合アルゴンガスをボ
ンベ１０から、５〜10/minの流量で送り込む。
この条件では試料中の炭素のみが一酸化炭素を主
成分とする酸化物ガスを生成し、その他の鉄、け
い素、マンガン等の各元素は一部酸化された微粒
子となる。これらの生成ガスと微粒子はプラズマ
トーチ１６へ送られて発光し、分光分析される
が、特に炭素について定量感度が著しく向上す
る。
酸素ガスを0.001〜0.01％程度混合した高純度ア
ルゴンガスボンベ１０、ニードルバルブ付流量計
１１ａ，１１ｂ、電磁弁１２ａ，１２ｂなどから
構成され、両ガスの流路の切替および流量制御を
行う。先ず分析試料６を設定したあと、第１図の
矢印の経路、すなわちアルゴンガスボンベ９、流
量計１１ａ、電磁弁１２ａ、ガス供給管１３、放
電室８、ガス搬送管１４、ガス分配器５、微粒子
導入管１５、プラズマトーチ１６にアルゴンガス
を５〜10/minの流量で流して放電室８内に残
留した大気を排出除去すると共にスパーク放電を
飛ばす。放電室８で発生した微粒子はプラズマト
ーチ１６で発光し、鉄、けい素、マンガン、り
ん、硫黄、銅など一般元素が分析される。しか
し、この方法では炭素について定量感度が低い欠
点がある。次に、このスパーク放電を止めずに雰
囲気ガスを酸素混合アルゴンガスに切替える。す
なわち、放電室８への供給ガスを電磁弁１２ａを
止めて１２ｂを開き、酸素混合アルゴンガスをボ
ンベ１０から、５〜10/minの流量で送り込む。
この条件では試料中の炭素のみが一酸化炭素を主
成分とする酸化物ガスを生成し、その他の鉄、け
い素、マンガン等の各元素は一部酸化された微粒
子となる。これらの生成ガスと微粒子はプラズマ
トーチ１６へ送られて発光し、分光分析される
が、特に炭素について定量感度が著しく向上す
る。
上記のようにスパーク放電雰囲気ガスを変えた
場合の炭素分析精度、感度について第２図で具体
的に述べる。第２図は炭素含有率が異なる鉄鋼標
準試料を高純度アルゴンガスおよび酸素を0.002
％含むアルゴンガス雰囲気下でスパーク放電を飛
ばし、生成した微粒子および一酸化炭素ガスをプ
ラズマトーチ１６へ導入して193.1nmの波長の発
光を分光分析した結果を検量線として示したもの
である。高純度アルゴンガス雰囲気下でスパーク
放電した場合に比べ、酸素混合アルゴンガス雰囲
気を用いた場合は検量線の傾きの比較から後者が
約4.3倍感度が向上した。また、0.20％の炭素を
含む鋼試料を10回繰り返して分析した場合の変動
係数は前者が3.2％、後者が1.1％で定量精度も著
しく向上した。けい素、マンガンなど他の各元素
は前者の方が後者に比べ、精度、感度ともわずか
に優れた分析結果が得られた。また、アルゴンガ
ス中に混合する酸素の濃度はスパーク放電が正常
に飛ぶことおよびプラズマトーチ１６のアルゴン
プラズマ１８が消えずに安定することなどによつ
て規制され、通常0.001〜0.1％の酸素濃度が適当
であつた。
場合の炭素分析精度、感度について第２図で具体
的に述べる。第２図は炭素含有率が異なる鉄鋼標
準試料を高純度アルゴンガスおよび酸素を0.002
％含むアルゴンガス雰囲気下でスパーク放電を飛
ばし、生成した微粒子および一酸化炭素ガスをプ
ラズマトーチ１６へ導入して193.1nmの波長の発
光を分光分析した結果を検量線として示したもの
である。高純度アルゴンガス雰囲気下でスパーク
放電した場合に比べ、酸素混合アルゴンガス雰囲
気を用いた場合は検量線の傾きの比較から後者が
約4.3倍感度が向上した。また、0.20％の炭素を
含む鋼試料を10回繰り返して分析した場合の変動
係数は前者が3.2％、後者が1.1％で定量精度も著
しく向上した。けい素、マンガンなど他の各元素
は前者の方が後者に比べ、精度、感度ともわずか
に優れた分析結果が得られた。また、アルゴンガ
ス中に混合する酸素の濃度はスパーク放電が正常
に飛ぶことおよびプラズマトーチ１６のアルゴン
プラズマ１８が消えずに安定することなどによつ
て規制され、通常0.001〜0.1％の酸素濃度が適当
であつた。
プラズマ発光分光分析部４は、プラズマトーチ
１６、高周波発生装置１７、分光器１９、検出器
２０、成分含有率算出装置２１などから構成され
る。放電室８で生成された微粒子は搬送管１４を
通り、ガス分配器５に入るが、微粒子を生成する
時のアルゴンガス流量（５〜10/min）とプラ
ズマトーチ１６への導入流量（0.5〜３/min）
とは異なるため、一部のガスや微粒子を排出し、
適当な量を導入管１５からトーチ１６へ導入す
る。微粒子および一酸化炭素はプラズマ１８中で
発光し、分光器１９へ導びかれ各元素の分析スペ
クトル線に分光され、各々が光電子増倍管の検出
器２０で測定され、各元素含有率は２１で算出さ
れる。本発明によれば、鉄鋼試料中の炭素および
けい素、マンガン等の各元素を40秒以内の短時間
で迅速に分析できる。
１６、高周波発生装置１７、分光器１９、検出器
２０、成分含有率算出装置２１などから構成され
る。放電室８で生成された微粒子は搬送管１４を
通り、ガス分配器５に入るが、微粒子を生成する
時のアルゴンガス流量（５〜10/min）とプラ
ズマトーチ１６への導入流量（0.5〜３/min）
とは異なるため、一部のガスや微粒子を排出し、
適当な量を導入管１５からトーチ１６へ導入す
る。微粒子および一酸化炭素はプラズマ１８中で
発光し、分光器１９へ導びかれ各元素の分析スペ
クトル線に分光され、各々が光電子増倍管の検出
器２０で測定され、各元素含有率は２１で算出さ
れる。本発明によれば、鉄鋼試料中の炭素および
けい素、マンガン等の各元素を40秒以内の短時間
で迅速に分析できる。
（発明の効果）
本発明は以上説明したように、これまで炭素の
分析精度、感度に難点があつたスパーク放電微粒
子生成−プラズマ発光分光分析法に、放電時の雰
囲気ガスを高純度不活性ガスおよび酸素混合不活
性ガスに切替える新しい方法を導入することによ
り、金属試料中の炭素を含む各種元素を精度、感
度よく迅速に分析できるようになつた。その結
果、本発明は優れた非破壊迅速分析法として更に
有用なものとなり、鉄鋼、チタン、アルミニウ
ム、銅などの金属の精錬や製造プロセスの操業管
理や品質管理に対して極めて効果が大きい。
分析精度、感度に難点があつたスパーク放電微粒
子生成−プラズマ発光分光分析法に、放電時の雰
囲気ガスを高純度不活性ガスおよび酸素混合不活
性ガスに切替える新しい方法を導入することによ
り、金属試料中の炭素を含む各種元素を精度、感
度よく迅速に分析できるようになつた。その結
果、本発明は優れた非破壊迅速分析法として更に
有用なものとなり、鉄鋼、チタン、アルミニウ
ム、銅などの金属の精錬や製造プロセスの操業管
理や品質管理に対して極めて効果が大きい。
第１図は本発明実施例装置の説明図、第２図は
本発明による鉄鋼試料中の炭素の分析結果例を示
したものである。 １…スパーク放電部、２…スパーク放電用電源
部、３…雰囲気ガス制御部、４…プラズマ発光分
光分析部、５…ガス分配器、６…分析試料、７…
対電極、８…放電室、９…アルゴンガスボンベ、
１０…酸素混合アルゴンガスボンベ、１１ａ，１
１ｂ…流量調節器付ガス流量計、１２ａ，１２ｂ
…電磁弁、１３…雰囲気ガス供給管、１４…微粒
子搬送管、１５…微粒子導入管、１６…プラズマ
トーチ、１７…高周波発生装置、１８…プラズ
マ、１９…分光器、２０…検出器、２１…成分含
有率算出装置。
本発明による鉄鋼試料中の炭素の分析結果例を示
したものである。 １…スパーク放電部、２…スパーク放電用電源
部、３…雰囲気ガス制御部、４…プラズマ発光分
光分析部、５…ガス分配器、６…分析試料、７…
対電極、８…放電室、９…アルゴンガスボンベ、
１０…酸素混合アルゴンガスボンベ、１１ａ，１
１ｂ…流量調節器付ガス流量計、１２ａ，１２ｂ
…電磁弁、１３…雰囲気ガス供給管、１４…微粒
子搬送管、１５…微粒子導入管、１６…プラズマ
トーチ、１７…高周波発生装置、１８…プラズ
マ、１９…分光器、２０…検出器、２１…成分含
有率算出装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 金属試料表面にスパーク放電を飛ばして発生
させた物質を高周波誘導結合型等のプラズマ中に
導入して試料中の各元素含有率を求める発光分光
分析方法において、最初に高純度の不活性ガス雰
囲気下で予備的にスパーク放電を飛ばして試料表
面状態および放電状態を安定化させたのちに、微
量の酸素を含んだ不活性ガス雰囲気に切替えてス
パーク放電によつて発生した一酸化炭素等のガス
成分を対象に炭素を、同時に発生する微粒子を対
象に各種元素を発光分光分析することを特徴とす
る金属試料中の炭素および各元素のプラズマ発光
分光分析方法。 ２ 金属試料表面にスパーク放電を飛ばして発生
させた物質を高周波誘導結合型等のプラズマ中に
導入して試料中の各元素含有率を求める発光分光
分析方法において、最初の高純度の不活性ガス雰
囲気下におけるスパーク放電で発生する微粒子を
対象に炭素を除く各種元素を発光分光分析し、次
に微量の酸素を含んだ不活性ガス雰囲気に切替え
てスパーク放電によつて発生した一酸化炭素等の
ガス成分を対象に炭素を発光分光分析することを
特徴とする金属試料中の炭素および各元素のプラ
ズマ発光分光分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5239485A JPS61212747A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 金属試料のプラズマ発光分光分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5239485A JPS61212747A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 金属試料のプラズマ発光分光分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61212747A JPS61212747A (ja) | 1986-09-20 |
| JPH0211099B2 true JPH0211099B2 (ja) | 1990-03-12 |
Family
ID=12913582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5239485A Granted JPS61212747A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 金属試料のプラズマ発光分光分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61212747A (ja) |
-
1985
- 1985-03-18 JP JP5239485A patent/JPS61212747A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61212747A (ja) | 1986-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhang et al. | Determination of trace heavy metals in environmental and biological samples by solution cathode glow discharge-atomic emission spectrometry and addition of ionic surfactants for improved sensitivity | |
| US7782456B2 (en) | Direct ICP emission spectral analysis method of solid sample | |
| EP0475636B1 (en) | Method for analysis of gases using plasma | |
| JP2008508511A (ja) | コロナ放電イオン化エレメントを備えたイオン移動度分光器 | |
| JPH0211099B2 (ja) | ||
| JPS6165154A (ja) | 金属試料中の炭素，硫黄成分の迅速分析方法および装置 | |
| JP7752446B2 (ja) | 元素の定量分析方法 | |
| JP3353632B2 (ja) | 鋼中Ａｌの態別分析方法 | |
| Broekaert et al. | Investigations of a jet-assisted glow discharge lamp for optical emission spectrometry | |
| Strauss et al. | Size-resolved analysis of fine and ultrafine particulate matter by laser-induced breakdown spectroscopy | |
| JPH06109639A (ja) | 発光分光分析方法 | |
| JPS60233538A (ja) | 水素化物生成炭素，燐，硫黄成分の迅速分析方法および装置 | |
| JPH0151939B2 (ja) | ||
| RU2090867C1 (ru) | Способ спектроаналитического определения состава дымов | |
| JPH0450981B2 (ja) | ||
| Kubota | Interference effects in a capillary arc excitation source for emission spectrometry | |
| RU2184951C1 (ru) | Способ спектрального анализа дымов | |
| Karanassios et al. | Determination of mercury vapor in air using electrically heated, gold-coated wire-loops, in-torch vaporization sample introduction and inductively coupled plasma atomic emission spectrometry with photodiode array detection | |
| Farnsworth | Optical Emission Spectroscopy | |
| Hermann et al. | Multi-element determination with solid sampling by laser ablation using electrothermal atomisation and continuum source coherent forward scattering spectrometry | |
| Wirz et al. | A new method for direct trace element determinations in solids using a DC plasma as atomizer in a ZAA-spectrometer | |
| JPH0238901B2 (ja) | ||
| Kumar et al. | ATOMIC ABSORPTION SPECTROSCOPY: A SHORT REVIEW | |
| Malhotra | Atomic Emission Spectroscopy | |
| JPS59157542A (ja) | 微粒子生成プラズマ発光分光法による溶融金属の直接分析装置 |