JPH0211156U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0211156U JPH0211156U JP8766588U JP8766588U JPH0211156U JP H0211156 U JPH0211156 U JP H0211156U JP 8766588 U JP8766588 U JP 8766588U JP 8766588 U JP8766588 U JP 8766588U JP H0211156 U JPH0211156 U JP H0211156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hearth
- recess
- evaporation source
- hearth liner
- liner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の第１実施例の蒸発源の断面
図である。第２図はこの考案の第２実施例の蒸発
源の断面図である。第３図は従来の蒸発源の断面
図である。 １……ハース、２……凹部、５……ソース、８
，１０……ハースライナ、８ａ，１０ａ……鍔部
、８ｂ……屈曲部。
図である。第２図はこの考案の第２実施例の蒸発
源の断面図である。第３図は従来の蒸発源の断面
図である。 １……ハース、２……凹部、５……ソース、８
，１０……ハースライナ、８ａ，１０ａ……鍔部
、８ｂ……屈曲部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 上面に凹部を有するハースと、前記凹部に収
納されたハースライナと、このハースライナ内に
収容されたソースとを備えてなる蒸発源において
、 前記ハースライナの上端に鍔部を設けて、ハー
スの凹部内面とハースライナの外面との間に隙間
を形成したことを特徴とする蒸着装置用蒸発源。 ２ 前記ハースライナの上端の鍔部は、外方端に
屈曲部を有する、請求項１記載の蒸着装置用蒸発
源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8766588U JPH0211156U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8766588U JPH0211156U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211156U true JPH0211156U (ja) | 1990-01-24 |
Family
ID=31312266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8766588U Pending JPH0211156U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0211156U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62180067A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子ビ−ム蒸着装置および電子ビ−ム蒸着方法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP8766588U patent/JPH0211156U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62180067A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子ビ−ム蒸着装置および電子ビ−ム蒸着方法 |