JPH02112328U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02112328U JPH02112328U JP2255089U JP2255089U JPH02112328U JP H02112328 U JPH02112328 U JP H02112328U JP 2255089 U JP2255089 U JP 2255089U JP 2255089 U JP2255089 U JP 2255089U JP H02112328 U JPH02112328 U JP H02112328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- sealed chamber
- liquid raw
- shielding plate
- edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例の構成図、第2図
はその要部を示す一部切欠断面図、第3図および
第4図は従来例の構成図である。 10……原料タンク、18……原料取出用配管
、2……密封室、25……底面部、26……ノズ
ル部、27……堰、28……遮蔽板、33……配
管、35……処理室。
はその要部を示す一部切欠断面図、第3図および
第4図は従来例の構成図である。 10……原料タンク、18……原料取出用配管
、2……密封室、25……底面部、26……ノズ
ル部、27……堰、28……遮蔽板、33……配
管、35……処理室。
Claims (1)
- 液体原料タンクから液体原料供給用配管を延設
してその先端を密封室の下端に連結するとともに
、その密封室の下側に加熱手段を設け、上記液体
原料タンクから送られてくる液体原料を上記密封
室で加熱蒸発させその気化原料を上記密封室の上
端から延びる気体原料取出用配管を介して処理室
に送り込む蒸発器であつて、上記密封室内の底面
を、上記液体原料供給用配管の先端が連結された
注入用開口部を中心として、外側に向かつて徐々
に低くなつた円形の段状に形成するとともに、そ
の段状の各段の縁部に、その縁部に沿つてリング
状になつた堰を設け、上記底面の上方に、液体原
料飛散防止用の円板状遮蔽板を設け、この遮蔽板
と上記密封室の内周壁および天井面との間を気化
原料通過用の通路に形成したことをことを特徴と
する蒸発器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255089U JPH0612825Y2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 蒸発器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2255089U JPH0612825Y2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 蒸発器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112328U true JPH02112328U (ja) | 1990-09-07 |
| JPH0612825Y2 JPH0612825Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=31240770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2255089U Expired - Lifetime JPH0612825Y2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 蒸発器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612825Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0624895A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-01 | Fujikura Ltd | Cvd原料気化装置 |
| JPH0747201A (ja) * | 1993-08-06 | 1995-02-21 | Toshiba Corp | 気化装置 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP2255089U patent/JPH0612825Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0624895A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-01 | Fujikura Ltd | Cvd原料気化装置 |
| JPH0747201A (ja) * | 1993-08-06 | 1995-02-21 | Toshiba Corp | 気化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0612825Y2 (ja) | 1994-04-06 |