JPH021147A - 半導体デバイス用ガラスキャップの包装体 - Google Patents
半導体デバイス用ガラスキャップの包装体Info
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- JPH021147A JPH021147A JP1017563A JP1756389A JPH021147A JP H021147 A JPH021147 A JP H021147A JP 1017563 A JP1017563 A JP 1017563A JP 1756389 A JP1756389 A JP 1756389A JP H021147 A JPH021147 A JP H021147A
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- Japan
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- glass
- glass cap
- package
- adhesive
- cap
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0441—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T428/23—Sheet including cover or casing
- Y10T428/239—Complete cover or casing
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- Packages (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はビデオカメラ等に使われる固体撮像装置や乗車
券自動販売機などに使われるＥＦＲＯＭ （Ｅｒａｓ・
ａｂｌｅ Ｐｒｏｐａｍｍａｂｌｅ ＲＯＭ）等の半導
体デバイス用ガラスキャップの包装体に関する。
券自動販売機などに使われるＥＦＲＯＭ （Ｅｒａｓ・
ａｂｌｅ Ｐｒｏｐａｍｍａｂｌｅ ＲＯＭ）等の半導
体デバイス用ガラスキャップの包装体に関する。
（従来の技術）
固体撮像装置はＣＣＤ、ＭＯＳなどの固体撮像素子をセ
ラミックパッケージ等に収納固定し、有機系又は無機系
接着剤があらかじめ塗布されたガラスキャンプを用いて
封止しているが、その概要は第４図のようなポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレン等の材質からなるガラスキャップ
収納用ケース５に収められているガラスキャップ１をピ
ンセットなどによって取り出して、第５図に示すような
セラミックパッケージ６の開口部を塞ぐように固体撮像
素子７の上に設置するか、もしくはパッケージ上縁に接
着剤を塗布した後ガラスキャップを設置し、そのまま或
いはクリップ等で加圧しながら加熱して接着剤を溶かし
、パッケージとガラスキャップとを接着することにより
構成されていた。
ラミックパッケージ等に収納固定し、有機系又は無機系
接着剤があらかじめ塗布されたガラスキャンプを用いて
封止しているが、その概要は第４図のようなポリ塩化ビ
ニル、ポリプロピレン等の材質からなるガラスキャップ
収納用ケース５に収められているガラスキャップ１をピ
ンセットなどによって取り出して、第５図に示すような
セラミックパッケージ６の開口部を塞ぐように固体撮像
素子７の上に設置するか、もしくはパッケージ上縁に接
着剤を塗布した後ガラスキャップを設置し、そのまま或
いはクリップ等で加圧しながら加熱して接着剤を溶かし
、パッケージとガラスキャップとを接着することにより
構成されていた。
同図に於て８は遮光板である。
（発明が解決すべき課題）
このような固体撮像装置やＥＰＲＯＭの製造工程におい
て問題となるのはガラスキャップの汚れであるが、この
汚れは封止用ガラスキャップ製造工程で付着するものだ
けではなく、ガラスキャップ製造後から固体撮像素子を
封止する間に付着するものも問題となっている。
て問題となるのはガラスキャップの汚れであるが、この
汚れは封止用ガラスキャップ製造工程で付着するものだ
けではなく、ガラスキャップ製造後から固体撮像素子を
封止する間に付着するものも問題となっている。
現在−船釣に使用されている第４図のような収納ケース
では搬送時の振動によってガラス粉、接着削粉、ケース
自体の微細な欠は等が生成したりケースに付着していた
異物が飛散したりすることなどにより、これらがガラス
キャップに付着する傾向があり、これらの異物が付着し
たガラスキャップを使用して固体撮像装置の製造を行な
った場合、撮像装置としての機能を損うことになる。
では搬送時の振動によってガラス粉、接着削粉、ケース
自体の微細な欠は等が生成したりケースに付着していた
異物が飛散したりすることなどにより、これらがガラス
キャップに付着する傾向があり、これらの異物が付着し
たガラスキャップを使用して固体撮像装置の製造を行な
った場合、撮像装置としての機能を損うことになる。
このためこれらの異物等の除去や、異物発生を防ぐため
慎重細心な取扱いが要求されるがこれに対処する為に著
しく作業性が悪く、自動化も困難なものであった。
慎重細心な取扱いが要求されるがこれに対処する為に著
しく作業性が悪く、自動化も困難なものであった。
本発明は上記の如き課題を解決するもので、透光性ガラ
スを汚すことなく収納、搬送、保管し得るような包装体
を提供することを目的とし、これにより固体撮像装置等
の製造の自動化を達成できるようにするものである。
スを汚すことなく収納、搬送、保管し得るような包装体
を提供することを目的とし、これにより固体撮像装置等
の製造の自動化を達成できるようにするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は前記課題を解決するべく鋭意研究の結果なされ
たもので、その概要は２枚のプラスチックフィルムのう
ち少なくも１枚の内側面に弱粘着性を付与せしめ、かか
る２枚のプラスチックフィルム間に半導体デバイス用ガ
ラスキャップを挟み込ませ、これを前記プラスチックフ
ィルムの粘着性により、プラスチックフィルム相互を接
着封止するようにした包装体を提供するものである。
たもので、その概要は２枚のプラスチックフィルムのう
ち少なくも１枚の内側面に弱粘着性を付与せしめ、かか
る２枚のプラスチックフィルム間に半導体デバイス用ガ
ラスキャップを挟み込ませ、これを前記プラスチックフ
ィルムの粘着性により、プラスチックフィルム相互を接
着封止するようにした包装体を提供するものである。
いま本発明による包装体の例を図面により説明すれば、
第１図（イ）は封止用ガラスキャップ１を１個毎にプラ
スチックフィルム２の間に挾んだ単体包装体、第１図（
０）は多数個の封止用ガラスギャップを数列に配置して
２枚のプラスチックフィルム２により上下より挟んで周
囲を封止したシート条包装体、第１図（ハ）は２枚のテ
ープ状のプラスチックフィルム２の間に１乃至数列でか
つ一定間隔毎に封止用ガラスキャップ１を配置し、その
周囲を封止し巻き取り可能とした包装体である。
第１図（イ）は封止用ガラスキャップ１を１個毎にプラ
スチックフィルム２の間に挾んだ単体包装体、第１図（
０）は多数個の封止用ガラスギャップを数列に配置して
２枚のプラスチックフィルム２により上下より挟んで周
囲を封止したシート条包装体、第１図（ハ）は２枚のテ
ープ状のプラスチックフィルム２の間に１乃至数列でか
つ一定間隔毎に封止用ガラスキャップ１を配置し、その
周囲を封止し巻き取り可能とした包装体である。
第２図はその部分拡大断面図で下側縁に封止用接着剤４
を塗布したガラスキャップは２枚のプラスチックフィル
ム２０間に封止してあり、プラスチックフィルム２の内
面には粘着剤３（一方のみでもよい）が設けられている
。
を塗布したガラスキャップは２枚のプラスチックフィル
ム２０間に封止してあり、プラスチックフィルム２の内
面には粘着剤３（一方のみでもよい）が設けられている
。
なお、ガラスキャップ１にあらかじめ封止用接着剤４を
塗布してあれば、これをパッケージに取付けるに当り、
該パンケージの取付は部分には封止用接着剤の塗布を要
しないが、ガラスキャップに封止用接着剤を塗布してい
ない場合はパッケージの接合部に封止用接着剤を塗布し
ておく必要がある。又上記の封止用接着剤は塗料のよう
に無定形のものに限らず第３図に示すようにガラスキャ
ンプｌとセラミックパッケージ６の間に適合する形の枠
状接着剤９を用いてもよい。ここに包装基材となるプラ
スチックフィルムはポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リスチレン、ポリ酢酸ビニル、エチレン−エチルアクリ
レート共重合体、ポリエステルなどのプラスチックフィ
ルム又はこれらの共重合体フィルムを用い前述の如く粘
着剤を塗布する。（塗布厚は５０μｍ以下）。又本発明
では粘着剤を塗布することなくそれ自身粘着性のあるエ
チレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エ
チル共重合体フィルムを使用することができる。このう
ち本発明においてはエチレン酢酸ビニル共重合体フィル
ムが好適である。この場合のコモノマーの比、すなわち
エチレン／酢酸ビニル比は９８７２〜７０／３０が本発
明でいう弱粘着性を維持するために好ましい。酢酸ビニ
ルモノマーが２％以下では粘着性不足であり、３０％以
上では粘着性が大きすぎて包装体からガラスキャップを
剥離する際に支障をきたす。前記弱粘着性の程度はガラ
スキャップとの剥離力が１８０°剥離で５００ｇ／１０
■１幅以下（ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準する）かほど良
いものである。 ここに用いられる粘着剤としては、本
発明の包装体からガラスを剥離したとき粘着面がガラス
に転写しない程度のアクリル酸エステル系、エチレン酢
酸ビニル共重合体などの酢酸ビニル系、エチレン−エチ
ルアクリレート共重合体などのアクリル酸エステル系、
天然ゴム、スチレンブタジェンゴムなどのゴム系、直鎖
状オルガノポリシロキサンなどのシリコーン系がある。
塗布してあれば、これをパッケージに取付けるに当り、
該パンケージの取付は部分には封止用接着剤の塗布を要
しないが、ガラスキャップに封止用接着剤を塗布してい
ない場合はパッケージの接合部に封止用接着剤を塗布し
ておく必要がある。又上記の封止用接着剤は塗料のよう
に無定形のものに限らず第３図に示すようにガラスキャ
ンプｌとセラミックパッケージ６の間に適合する形の枠
状接着剤９を用いてもよい。ここに包装基材となるプラ
スチックフィルムはポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リスチレン、ポリ酢酸ビニル、エチレン−エチルアクリ
レート共重合体、ポリエステルなどのプラスチックフィ
ルム又はこれらの共重合体フィルムを用い前述の如く粘
着剤を塗布する。（塗布厚は５０μｍ以下）。又本発明
では粘着剤を塗布することなくそれ自身粘着性のあるエ
チレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エ
チル共重合体フィルムを使用することができる。このう
ち本発明においてはエチレン酢酸ビニル共重合体フィル
ムが好適である。この場合のコモノマーの比、すなわち
エチレン／酢酸ビニル比は９８７２〜７０／３０が本発
明でいう弱粘着性を維持するために好ましい。酢酸ビニ
ルモノマーが２％以下では粘着性不足であり、３０％以
上では粘着性が大きすぎて包装体からガラスキャップを
剥離する際に支障をきたす。前記弱粘着性の程度はガラ
スキャップとの剥離力が１８０°剥離で５００ｇ／１０
■１幅以下（ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準する）かほど良
いものである。 ここに用いられる粘着剤としては、本
発明の包装体からガラスを剥離したとき粘着面がガラス
に転写しない程度のアクリル酸エステル系、エチレン酢
酸ビニル共重合体などの酢酸ビニル系、エチレン−エチ
ルアクリレート共重合体などのアクリル酸エステル系、
天然ゴム、スチレンブタジェンゴムなどのゴム系、直鎖
状オルガノポリシロキサンなどのシリコーン系がある。
これらの粘着剤の中では、エチレン−酢酸ビニル共重合
体と直鎖状オルガノポリシロキサンが本発明に好適に使
用される。
体と直鎖状オルガノポリシロキサンが本発明に好適に使
用される。
実施例１
厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの
片面に、アクリル酸エステル系粘着剤を１０μｍの厚さ
で塗布乾燥して片面弱粘着性ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを作成した。このフィルムのガラスに対する
１８０°剥離力は１０８７１０鶴幅であった。
片面に、アクリル酸エステル系粘着剤を１０μｍの厚さ
で塗布乾燥して片面弱粘着性ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを作成した。このフィルムのガラスに対する
１８０°剥離力は１０８７１０鶴幅であった。
かかる片面弱粘着性ポリエチレンテレフタレートフィル
ム２枚の間に、洗滌乾燥された固体撮像素子用ガラスキ
ャップを第１図（）１）のように２０枚縦方向に連結し
て挟み、全面を弾力性ローラーで軽く圧着し密着封止し
て本発明の包装体を得た。
ム２枚の間に、洗滌乾燥された固体撮像素子用ガラスキ
ャップを第１図（）１）のように２０枚縦方向に連結し
て挟み、全面を弾力性ローラーで軽く圧着し密着封止し
て本発明の包装体を得た。
実施例２
厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの
片面に、アクリル酸エステル系粘着剤を２０μｍの厚さ
で塗布乾燥して片面弱粘着性ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを作成した。
片面に、アクリル酸エステル系粘着剤を２０μｍの厚さ
で塗布乾燥して片面弱粘着性ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを作成した。
このフィルムのガラスに対する１８０°剥離力は１５ｇ
／１０ｍｍ幅であった。
／１０ｍｍ幅であった。
かかる片面弱粘着性ポリエチレンテレフタレートフィル
ムと、粘着剤を塗布していない厚さ２５μｍの通常のポ
リエチレンテレフタレートフィルムとを、粘着剤を内側
にして洗ｉ条乾燥された固体１最像素子用ガラスキヤツ
プを第１図（ハ）のようにシート状にはさんで、全面を
密着封止し本発明の包装体を得た。
ムと、粘着剤を塗布していない厚さ２５μｍの通常のポ
リエチレンテレフタレートフィルムとを、粘着剤を内側
にして洗ｉ条乾燥された固体１最像素子用ガラスキヤツ
プを第１図（ハ）のようにシート状にはさんで、全面を
密着封止し本発明の包装体を得た。
実施例３
自己接着性を有する厚さ２００μｍのエチレン−酢酸ヒ
ニルコポリマーフィルム（サンニー化学工業社製商品名
ＰＡＣ−３）を用意した。このフィルムのガラスに対す
る１８０°剥離力は５ｇ／１０ｍ幅であった。
ニルコポリマーフィルム（サンニー化学工業社製商品名
ＰＡＣ−３）を用意した。このフィルムのガラスに対す
る１８０°剥離力は５ｇ／１０ｍ幅であった。
かかるフィルム２枚の間に、洗滌乾燥された固体撮像素
子用ガラスキャップを実施例１と同様に挟み、全面に密
着封止し本発明の包装体を得た。
子用ガラスキャップを実施例１と同様に挟み、全面に密
着封止し本発明の包装体を得た。
比較例
第４図に示すガラスキャップ搬送用ケースに洗滌乾燥後
の固体撮像素子用ガラスキャンプ２０枚を収納し、蓋を
して比較用の試料とした。
の固体撮像素子用ガラスキャンプ２０枚を収納し、蓋を
して比較用の試料とした。
次に実施例１〜３および比較例の各試料について以下の
ような搬送テストを行なった。
ような搬送テストを行なった。
先ず、実施例および比較例の試料をポリエチレン袋に入
れて真空梱包したのち振とう機（太陽科学工業社製、Ｒ
−ｉ型）に実施例及び比較例の試料を固定し、振幅３０
ｆｌ、振とう速度６０回／ｍｔｎ％６時間振とうした後
、ガラスキャップをプラスチックフィルムおよびケース
から取り出し、ガラスキャップに付着した異物の大きさ
及び数を実体顕微鏡を用いて調べた。
れて真空梱包したのち振とう機（太陽科学工業社製、Ｒ
−ｉ型）に実施例及び比較例の試料を固定し、振幅３０
ｆｌ、振とう速度６０回／ｍｔｎ％６時間振とうした後
、ガラスキャップをプラスチックフィルムおよびケース
から取り出し、ガラスキャップに付着した異物の大きさ
及び数を実体顕微鏡を用いて調べた。
この結果を表示すれば表１のとおりである。
表１ ガラスキセフ１１枚当たりの平均異物数（投入数
２０初表１から明らかな通り本発明の包装体によればガ
ラスキャンプの異物の付着は明らかにすくないことが明
白である。
２０初表１から明らかな通り本発明の包装体によればガ
ラスキャンプの異物の付着は明らかにすくないことが明
白である。
（発明の効果）
本発明によれば、固体撮像装置やＥＰＲＯＭ等の半導体
デバイスに用いるガラスキャップを汚染することなく搬
送することが可能となり、かつ実装の自動化にも有利で
ある。
デバイスに用いるガラスキャップを汚染することなく搬
送することが可能となり、かつ実装の自動化にも有利で
ある。
第１図Ｃ４） （Ｅｌ）は本発明におけるガラスキャッ
プ包装体の１例の斜視図、（ハ）は本発明の１例の断面
図ミ第２図は本発明の包装体の要部を示す拡大断面図、
第３図はガラスキャップをパッケージに取りつけるとき
の分離斜視図、第４図は従来の固体撮像装置用ガラスキ
ャンプ収納ケースの斜視図、第５図は固体撮像装置用パ
ッケージの斜視図である。 １・・・ガラスキャップ、２・・・プラスチックフィル
ム、３・・・粘着剤、４・・・封止用接着剤、５・・・
収納ケース、６・・・セラミックパッケージ、７・・・
固体撮像素子、８・・・遮光板、９・・・枠状接着剤代
理人 弁理士 竹 内 守
プ包装体の１例の斜視図、（ハ）は本発明の１例の断面
図ミ第２図は本発明の包装体の要部を示す拡大断面図、
第３図はガラスキャップをパッケージに取りつけるとき
の分離斜視図、第４図は従来の固体撮像装置用ガラスキ
ャンプ収納ケースの斜視図、第５図は固体撮像装置用パ
ッケージの斜視図である。 １・・・ガラスキャップ、２・・・プラスチックフィル
ム、３・・・粘着剤、４・・・封止用接着剤、５・・・
収納ケース、６・・・セラミックパッケージ、７・・・
固体撮像素子、８・・・遮光板、９・・・枠状接着剤代
理人 弁理士 竹 内 守
Claims (1)
- （１）半導体デバイス用ガラスキャップが、少なくとも
１枚の内側面に弱粘着性を付与してなる２枚のプラスチ
ックフィルムの間に挟み込まれ、かつ前記プラスチック
フィルムの弱粘着性により封止さてれなることを特徴と
する半導体デバイス用ガラスキャップの包装体
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3206088 | 1988-02-15 | ||
| JP63-32060 | 1988-02-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021147A true JPH021147A (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=12348337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1017563A Pending JPH021147A (ja) | 1988-02-15 | 1989-01-30 | 半導体デバイス用ガラスキャップの包装体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5033615A (ja) |
| JP (1) | JPH021147A (ja) |
| KR (1) | KR930008961B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100253467B1 (ko) * | 1991-07-08 | 2000-04-15 | 체노웨쓰 딘 비. | 마이크로칩 보관테이프 |
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| US5199564A (en) * | 1992-03-13 | 1993-04-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Carrier tape for electronic through-hole components |
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-
1989
- 1989-01-30 JP JP1017563A patent/JPH021147A/ja active Pending
- 1989-02-15 US US07/311,158 patent/US5033615A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-02-15 KR KR1019890001710A patent/KR930008961B1/ko not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930008961B1 (ko) | 1993-09-17 |
| KR890012870A (ko) | 1989-09-19 |
| US5033615A (en) | 1991-07-23 |
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