JPH02116520A - 板状体を切断する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、半導体ウェーハ等の板状の工作物を切断する
方法と、２枚の柔軟なフォイルに挟んだ板状の工作物を
切断するための装置に関するものである。

Ｂ、従来技術 ＧａＡｓ及び類似の材料のへき開を行なうためのこの種
の方法は、ＩＢＭテクニカル・ディスクロージー？’プ
ルテン、Ｖｏｌ、２３、Ｎｏ、１０（１９８１年３月）
、ｐｐ、４７４９〜４７５゜に開示されている。この方
法は、ウェーハの表面に刻みを付けた後、ウェーハが刻
みを付けた線に沿って破断するように、ウェーハを制御
しながら曲げることにより行なう。必要であると開示さ
れた操作条件中、次のものが本発明にとって重要である
。

・所定の長さしのバーをへき開するには、ウェーハはＬ
／２より薄（なければならない。

・刻みを付けたウェーハは、曲げ半径の面が刻み線に垂
直であり、刻み線がウェーハの凸側にくるように曲げな
ければならない。

・ウェーハは、ウェーハを支えるのに十分な剛性を有す
るが、必要な曲げ半径まで変形が可能で、ウェーハを曲
げたときウェーハの凹側にくる基板に取り付けなければ
ならない。

・ウェーハの凸側は、ウェーハの基板に接する側にウェ
ーハを基板から引き離すような応力が加わらないように
、拘束しなければならない。

ウェーハと基板とを被覆するために、柔軟な材料を用い
ることができる。

・基板、ウェーハ及び上部フォイルのサンドイッチ構造
は、容易に除去可能でへき開した片に損傷を与えること
のない接着剤を用いて接着しなければならない。

半導体ウェーハを固定する技術分野で、剛性でない粘着
シートが知られている。こうしたシートは、半導体ウェ
ーハを、たとえば切断工程を行なう間、しっかり所定の
位置に保持するために設計されており、軟質塩化ビニル
・フォイルとポリエステル・フォイルをアクリル系接着
剤で接着したサンドイッチ構造として製作される。これ
らは、たとえば日東電気工業株式会社から市販されてい
る。この種のフォイルのサンドイッチ中での接着力は、
シートの種類及び貯蔵期間にもよるが、約１００ないし
３５ＯＮ／ｍであることが示されている。

上記の種類のシート状の柔軟なフォイル２枚の間に挟ん
だ板状の工作物を切断するのに適した装置は、周知のも
ので、たとえば米国のダイナテックス・コーポレーシヨ
ン（Ｄｙｎａｔｅｘ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）から市
販されている。この周知の装置は、ウェーハを上に取り
付けた可動クロス・テーブルとくさび及びアンビルから
なる。クロス・テーブルには、正しく向きを合わせたウ
ェーハを上に載せるための開口部が設けである。くさび
は、開口部を介してウェーハをアンビルに押し付けるた
めのもので、アンビルは、わずかに弾力性があるように
硬質ゴムで作られている。

このような周知の装置を使用してウェーハを切断する工
程は、下記のステップからなる。すなわち、工作物の片
面に、工作物を切断する面を画定する少なくとも１本の
刻み線を付け、工作物を、刻みを付けた面を上にして、
工作物の縁部を越えて延びる柔軟な上部フォイルと下部
フォイルの間に置いて、接着剤で工作物と下部フォイル
を接合し、サンドイッチ構造の下側に上向きの力を加え
て工作物を曲げ、半径の面を工作物の凸側の刻み線に垂
直にして、刻みによって決められたように工作物を個々
のバーに切断させ、上部フォイルを除去した後に下部フ
ォイルを引っ張って個々のバーを分離し、下部フォイル
から取り出して次の処理に回す。

Ｃ０発明が解決しようとする問題点 ウェーハを切断するこのような周知の８及び方法は、半
導体ウェーハのへき開面として鏡面の切断面を得る半導
体レーザの製造用に特に設計されたものではない。実際
に、これらの鏡面はきわめでもろく、下部フォイルを引
っ張ってレーザ・エレメントを分離する前に隣接するレ
ーザ・エレメント同士がぶつかり合って損傷することが
多い。

また、周知の装置は、ウェーハを顕微鏡で観察しながら
、クロス・テーブルを移動させてくさびとアンビルを次
々に各刻み線に正確に位置合せした後、制御されたくさ
び駆動手段によってくさびを正確に操作しなければなら
ないため、きわめて高価である。

したがって、本発明の目的は、工作物の切断時に形成さ
れる工作物エレメントの切断面が互いに接触して破損す
るのを防止するような、半導体ウェーハ等の板状工作物
を切断する方法を提供することにある。

本発明の他の目的は、安価に製造することができると同
時に操作が簡単で、しかも装置に制御駆動手段も顕微鏡
も恒久的に取り付ける必要のない、２枚の柔軟なフォイ
ルの間にサンドイッチ状に挟んだ板状工作物を切断する
装置を提供することにある。

Ｄ１問題点を解決するための手段 上記の目的及び下記の説明から明らかになる他の目的は
、本発明による半導体ウェーハ等の板状工作物を切断す
る方法を実施することにより達成される。この方法は、
下記の工程からなる。すなわち、工作物の片面に工作物
を切断する面を画定する少なくとも１本の刻み線を付け
、工作物を、刻みを付けた面を上にして、工作物の縁部
を越えて延びる柔軟で伸張可能な上部フォイルと下部フ
ォイルの間に置いて、接着剤で工作物と下部フォイルを
接合し、工作物を間に挟んだまま２枚のフォイルを引き
伸ばしくただし少なくとも下部フォイルの工作物が接着
した部分は引き伸ばされない）、サンドイッチ構造の下
側に上向きの力を加えて工作物を曲げ、半径の面を工作
物の凸側の刻み線に垂直にして、刻みによって決められ
たように工作物を個々のバーに切断させ、下部フォイル
の最初に工作物が接着しており現在もまだバーが接着し
ている部分をさらに引き伸ばし、それによって、個々の
バーが隣接する切断面が互いに損傷し合わないように十
分に個々のバーを引き離し、上部フォイルを除去した後
、各バーを取り出して次の処理に回す工程からなる。

下部フォイルの引張強度は、上部フォイルの引張強度よ
り低いことが好ましい。また、サンドイッチ構造を、下
部フォイルと上部フォイルの弾性変形の限界を超えて引
き伸ばすことが好ましい。工作物は、ガリウムヒ素、リ
ン化インジウムまたはシリコン製でも、非晶質材料から
なるものでも、ガラス製でもよい。本発明の１実施例で
は、工作物の上面と上部フォイルとの間に、工作物より
大きくて、工作物の全周を越えて延びる中間フォイルを
挿入する。この中間フォイルは、ポリエステルまたはポ
リイミド製でよい。

また、本発明によれば、２枚の柔軟なフォイルの間に挟
んだ板状の工作物を切断する装置は、下記のものから構
成される。すなわち、実質的に平坦な上面を存し、長さ
方向が横方向より大きなベース部材、ベース部材に固定
され、サンドイッチ構造の一端を解放可能に保持するよ
うに配した第１の把持手段、ベース部材に、長さ方向に
移動できるよう移動可能に取り付けられ、サンドイッチ
構造の他端を解放可能に保持するように配した第２の把
持手段、第２の把持手段を長さ方向に調節可能に移動さ
せるための移動手段、及びベース部材の上面に設けられ
、軸が横方向に平行で、長さ方向に移動可能な円筒形の
ロッドから構成される。

ベース部材には、横方向に対して平行で、ロッドを受け
てベース部材の上面の高さより下でそれを完全に収容す
る溝を上面に設け、ロッドには、それぞれベアリングで
対称に取り付けた、互いにサンドイッチ構造の両端間の
長さ方向に対して垂直な幅よりも広い間隔をあけた１対
のローラを設け、ベース部材の上面に、それぞれ溝に接
続され、ロッドを溝に収容したとき、上記各ローラの少
なくとも一部分を収容する１対の凹みを設けることが好
ましい。また、ベース部材の上面に、上記の当該の凹み
に接続され、長さ方向に延び、ロッドが横方向に平行に
なるように各ローラの一部分を収容する、１対の凹んだ
トラックを設けてもよい。

移動手段は、ベース部材に長さ方向に平行に取り付けた
２本のガイド・バーと、上記ガイド・バー上を摺動し、
長さ方向に平行なねじを切った穴を有するチャリオット
と、上記の穴にねじ込まれ、一端がベース部材に接する
スピンドルから構成することが好ましい。スピンドルの
他端は、スピンドルを回転させる働きをする。第２の把
持手段は、移動手段によって、ベース部材と整列するよ
うにチャリオットに取り付けられる。また、把持手段は
、ベース部材とチャリオットの当該の穴に圧縮方向にね
じ込まれたスピンドルの各対によって、ベース部材の上
面に垂直な圧縮方向に、それぞれベース部材とチャリオ
ットに対して押し付けられるクランプでもよい。この場
合、各スピンドルは、ベース部材の上面に平行でそれと
は反対向きの各クランプの上面に対して圧縮方向に接す
るノブををし、互いにサンドイッチ構造の幅より広い間
隔をあける。さらにクランプをそれぞれベース部材及び
チャリオットから離して、当該のスピンドルのノブに接
するように押し付けるためのスプリング手段を設けても
よい。

本発明の方法は、本発明による装置を用いて実施するこ
とが好ましいが、工作物を下部フォイルに接着した後に
下部フォイルを引き伸ばすことができる。下部フォイル
は、少なくとも工作物に接着した部分は引き伸ばされな
いので、工作物が切断されると、このフォイルは少なく
とも工作物の切断面として得られる新しくできたファセ
ットの近傍で引伸し可能になる。そのため、ファセット
が互いに引き離されて、切断時に工作物の隣接するエレ
メント間の衝突による損傷が効率良く防止される。

また、本発明による装置は、安価に製造することができ
、操作も簡単である。また小型で軽量のため、操作時に
据え付けたり、キャビネットに収容したりすることが容
易である。このように、この装置は大量生産に適し、熟
練しない作業員でも使用することができる。

Ｅ、実施例 第１図及び第２図に示す本発明の実施例は、工作物とフ
ォイルのサンドイッチ構造３を受けるためのベース部材
１を何する。この目的のため、ベース部材１の表面２は
実質的に平坦で、ベース部材１の幅方向よりも長さ方向
が長い長方形の構造である。

サンドイッチ構造３は、工作物４を切断する面を画定す
る少なくとも１本の刻み線を１つの面に付けた、これか
ら切断しようとするウェーハ状の工作物４を有する。こ
のようなウェーハ状の工作物４は、互いに平行な上面と
下面で画定され、上面または下面の短い方の長さの１／
２より狭い間隔（厚さ）を有する。この実施例では、工
作物４はガリウムヒ素の半導体ウェーハである。しかし
、一般には、工作物４は、上記のガリウムヒ素、リン化
インジウム、シリコン等、所期のへき開面に沿ってへき
開する単結晶材料のウェーハ状のもの、またはガラス等
、所期の切断面に沿って切断される非晶質の板状のもの
とすることができる。

工作物４は、刻みを付けた面を上に向けて、下部フォイ
ル５と上部フォイル６の間に挟む。フォイル５．６はと
もに工作物４の縁部を越えて延び、工作物４を完全に包
み込む。一つの実施例では、工作物４は寸法が約８Ｘ８
Ｘ０．１ｍｍのガリウムヒ素チップであり、サンドイッ
チ構造３は寸法が約５０Ｘ１０Ｘ０．２ｍｍないし１０
０Ｘ２５Ｘ０．２ｍｍである。別の実施例では、工作物
４は寸法が約１８Ｘ１８Ｘ０．１６ｍｍのガラス板であ
り、サンドイッチ構造３は上記のものとほぼ同じ寸法で
ある。

周知のアクリル系等の接着剤を下部フォイル５の上面に
塗布し、下部フォイル５を工作物４または上部フォイル
６のいずれかに接着させる。接着剤の接着力はできる限
り小さ（、シかも工作物４及び工作物４を最終的に切断
してできる個々のバーが、操作中に下部フォイル５から
離れるのを防ぐのに十分なように選択する。適切な接着
力は約１００Ｎ／ｍであると考えられる。

フォイル５．６はいずれも柔軟性があり、損傷を受けず
に１０％以上引き伸ばすことのできるもので、下部フォ
イル５の引張強度は、上部フォイル６の引張強度より低
くする。そのために、下部フォイル５は、たとえば厚み
が０．１ｍｍの塩化ビニル製とし、上部フォイル６は、
たとえば厚みが０．０１ｍｍのポリエステル製とする。

サンドイッチ構造３のフォイルを引き伸ばすため、ベー
ス部材１に、その横方向に平行な上面に、サンドイッチ
構造３の全幅にわたって、その両端近くの部分を解放可
能に保持するための第１及び第２の把持手段７．８を設
け、第２の把持手段８をベース部材１の長さ方向に調節
可能に移動させるための移動手段を設ける。

第１の把持手段７は、ベース部材１に固定され、ベース
部材１の当該の穴１１にねじ込まれた１対のスピンドル
１０により、上面２に垂直方向に、ベース部材１に対し
て押し付けられるクランプ９として構成されている。ス
ピンドル１０は、クランプ９の上面に対して押し付ける
方向に接するノブ１２を存する。スピンドル１０は、サ
ンドイッチ構造３がその間を通過できるように、サンド
イッチ構造３の幅より広い間隔を置いて配置される。

クランプ９をベース部材１の上面２から離して、ノブ１
２と接するように圧力を加えるスプリング手段（図示せ
ず）を設ける。したがって、ノブ１２をねじ込むと、サ
ンドイッチ構造３の締め付けた部分が保持され、ゆるめ
るとそれが解放される。

第２の把持手段８は、第１の把持手段７と同様の構造で
あるが、第１の把持手段７から離して、上面がベース部
材１の上面２と同一平面のチャリオット１３上に設ける
。

チャリオット１３は、長さ方向に移動可能にベース部材
１に配置され、上記の移動手段の一部をなしている。移
動手段はさらに、ベース部材１に取り付けられ、ベース
部材１の長さ方向に平行な１対のガイド・バー１４を有
する。ガイド・バー１４は、チャリオット１３の各式１
５に挿入すると、チャリオット１３が摺動する手段を支
持し、案内する手段として働く。また、チャリオット１
３は、ベース部材１の長さ方向に平行なねじを切った穴
１６と、穴１６にねじ込むためのスピンドル１７を宵す
る。スピンドル１７の一端は、ベース部材１に接するよ
うにでき、他端では、スピンドル１７をノブ１８によっ
て回転させることができる。

ベース部材１に接した状態でスピンドル１７をねし込ん
だりゆるめたりすると、チャリオット１３が移動し、チ
ャリオット１３とベース部材１との間隔が増減する。し
たがって、第２の把持手段８は、ベース部材１の長さ方
向に調節可能に移動できるように、移動手段により、ベ
ース部材１に移動可能に配置される。

把持手段７．８の間にサンドイッチ構造３を把持して、
その両端を締め付け、ノブ１８を操作してチャリオソト
１３とベース部材１との間隔を増大させると、まずサン
ドイッチ構造３がその全長にわたって伸びることが容易
に理解できる。さらに間隔を増大させると、サンドイッ
チ構造３が、最初はフォイル５．６の弾性変形範囲で、
次に塑性変形範囲で引き伸ばされる。下部フォイル５の
引張強度を、上部フォイル６の引張強度より低く選択し
たことを考慮すると、サンドイッチ構造３を下部フォイ
ル５と上部フォイル６の両方の弾性変形限界を超えて引
き伸ばすと、下部フォイル５が工作物４の下側を圧迫す
る以上に、上部フォイル６が工作物４の上側を圧迫する
。したがって、工作物４の刻みを付けた表面は、切断技
術で要求されるように圧迫され、工作物４側を曲げて実
際の切断工程を行なうと、工作物４の凸側となる。

工作物４の切断を行なうには、サンドイッチ構造３の下
側に、曲げる半径の平面が工作物４の凸側の刻み線に垂
直になるように工作物４を曲げるための上向きの力を与
える曲げ工具を設けなければならない。曲げると、工作
物は、刻み線によって決められ、工作物の材料が結晶質
の場合は、優先的なへき開面によっても決められる、個
別のバーに切断される。しかし、一般に曲げ工具は針量
ではなく、刻み線とともに切断面を決める切断線に沿っ
て工作物４の下側に接触する。したがって、工作物４と
曲げ工具は、所定の面に沿って切断が行なわれるように
、互いに正しく配向しなければならない。

本発明による装置では、曲げ工具は、ベース部材１の上
面２の上に、その軸がベース部材１の横方向に平行にな
るように置かれ、ベース部材１の長さ方向に移動可能な
円筒状のロッド１９である。

ロッド１９の直径は、把持手段７と８の間のサンドイワ
ナ構造の長さの約５％である。

ロッド１９の正しい配向を確保し維持するため、ロッド
１９には、各ベアリングによって対称形に取り付けられ
、互いにベース部材１の長さ方向を横切るサンドイッチ
構造３の幅より広く間隔をあけた１対のローラ２０を設
ける。一方、ベース部材１の上面２には、ベース部材１
の長さ方向に延び、各ローラ２０の一部分を収容する１
対の凹んだトラック２１を設け、ローラ２ｏとトラック
２１が協同して、ロッド１９をベース部材１の横方向に
平行に位置決めし保つようにする。

また、ベース部材１の上面２には、ベース部材１の横方
向に平行にＴｌ４２２（第４図及び第５図）を設ける。

溝２２は、ロッド１９をベース部材１の上面２より下の
休止位置に完全に収容するようにロッド１９を受ける（
第１図及び第２図）、ロッド１９がベース部材ｌの上面
２より上に突き出さないように完全に溝２２中に収容す
るため、ベース部材１の上面２には、それぞれ溝２２と
当該のトラック２１に接続され、それぞれが少なくとも
各ローラ２０の一部分をロッド１９の休止位置に収容す
る、１対の凹部２３を設ける。

ロッド１９を切断工具として容易に支障なく操作するに
は、ロッド１９は、ベース部材１の横方向に平行な幅よ
りも長クシ、ベアリング２５によってロッド１９の両端
に対称に取り付けた１対の操作ノブ２４を設ける。これ
により、ロッド１９は確実に、ベース部材１の上面２と
下部フォイル５の下面で摩擦を生じる場合でも自由に回
転することができる。

工作物４を切断するためにサンドイッチ構造３を正しく
引き伸ばすには、サンドイッチ構造３をベース部材１の
上面２に平らに置き、サンドイッチ構造３を上述のよう
に引き伸ばしたときにロッド１９が休止位置にくるよう
にしなければならない。この休止位置では、ロッド１９
はサンドイッチ構造３より下にあるが、まだベース部材
１とサンドイッチ構造３の間にあることが容易にわかる
。

ロッド１θを溝２２中に収める代わりに、ベース部材１
とチャリオット１３の間のガイド・バー１４上に置くこ
ともできる。ただし、この場合は、ロッド１９がサンド
イッチ構造３の下にくるようにその間にローラ２０を収
容するのに十分な間隔を設けなければならない。

また工作物４は、ベース部材１の上に、必要な切断面を
ベース部材１の横方向に平行に向けて配置する必要があ
る。これは、サンドイッチ構造３を把持手段７．８で締
め付ける前に、ロッド１９に対して方向づけをすること
によって行なう。この位置合せは、通常透明または少な
くとも半透明な上部フォイル６を通して工作物４を顕微
鏡で観察しながら、サンドイッチ構造３をベース部材１
の上面２に対して手で動かして行なう。

この条件が溝だされると、工作物４を切断するために、
オペレータがノブ２４を用いてロッド１９を休止位置か
ら手で引き上げて、溝２２（またはベース部材１とチャ
リオット１３の間の空間）から出し、ロッド１９がベー
ス部材１の上面２の上にくるまで、ベース部材１の正し
い長さ方向に（溝または上記の空間から離れる方向に）
動かす。

これを行なうとき、オペレータは、ロッド１９が下部フ
ォイル５とベース部材１の上面２の間に挿入されるよう
に、下部フォイルＳを溝２２の近くのベース部材１の上
面２から引き上げている。

次にオペレータは、下部フォイル５の柔軟性により、ロ
ッド１９がサンドイッチ構造３の下部フォイル５を介し
て工作物４に接するまで、ノブ２４を用いてロッド１９
をベース部材１の長さ方向にさらに動かす。切断工程の
この段階を、ロッド１９が溝２２から引き上げられ始め
た場合について、第４図及び第５図に示す。変形態様で
は、装置の寸法比と工作物４の長さに応じ−て、サンド
イッチ構造３のフォイル５とフォイル６の張力は、口。

ド１９を上記の接触位置まで移動させるのに十分である
。また他の変形態様では、オペレータがノブ１８を回し
てチャリオット１３を動かし、フォイル５．６の張力を
増加させて、ロッド１９を上記の接触位置にまで移動さ
せる。

次に、オペレータは、ロッド１９がサンドイッチ構造３
中の工作物４の下にくるまで、ノブ２４を用いてロッド
１９をベース部材の長さ方向にさらに動かす。この移動
により、工作物４は、下側が凹状になって曲がり、凸状
になった上面は、下部フォイル５に接する工作物４の下
側に工作物４を下部フォイル５から分離させる恐れのあ
る応力が加わるのを防ぐように、上部フォイル６によっ
てなお圧迫されている。

工作物４の切断が起こる場合、サンドイッチ構造３で観
察される現象を説明するために、まず事前の状況を参照
する。サンドイッチ構造３を引っ張る前は、工作物４は
フォイル５．６の間に挟まれ、下部フォイル５に接着さ
れていた。したがって、サンドイッチ構造３が引っ張ら
れたとき、工作物４が、下部フォイル５の少なくとも工
作物４が接着される部分内で、こうした引っ張りを防止
していた。次に、工作物４のある場所で切断が生じた瞬
間に、下部フォイル５は、その場所の近傍が引っ張られ
るのを防止されなくなる。これにより、下部フォイル５
の、最初工作物４が接合されていた工作物４の切断が起
こった部分はさらに引っ張られ、このため、工作物４の
切断時にできた個々の工作物の要素は、切断されるとた
だちに工作物から分離する。この分離により、切断面が
互いに接触して突き当たるために、隣接する切断面が損
傷するのを防止することができる。

所定の位置で工作物４が切断されると、ロッド１９はさ
らにベース部材１の同じ長さ方向に十分に移動して、ロ
ッド１９と工作物要素が将来接触するのを防止する。張
力を維持するため、ロッド１９が、上面２からベース部
材１とチャリオット１３との間に落下しないようにしな
ければならない。ベース部材１に取り付けたストッパ（
図示せず）をこの目的で使用する。次にオペレータが各
クランプ９の近くで上部フォイル６を、たとえばカッタ
の刃または小型のはさみを用いて切る。上部フォイル６
の切断部を、たとえばピンセットまたは吸引装置で除去
した後、オペレータはノブ１８を回してチャリオット１
３とベース部材１の間隔をさらに広げて、下部フォイル
５をたとえばクランプ９間の最初の引き伸ばさない長さ
の５０％たけさらに引き伸ばす。その結果、下部フォイ
ル５は塑性変形範囲で引き伸ばされ、引伸し動作を終了
しても切断時の長さには戻らない。同時に、工作物４が
切断されて形成される工作物要素、たとえば半導体レー
ザ・バーは互いにさらに分離され、引伸し動作を終了し
てもただちに互いに隣接した位置には戻らない。そのた
め、工作物要素を、その後の処理のため、下部フォイル
Ｓから容易に除去することが可能になる。この除去は、
たとえばビンセットまたは吸引装置で行なうが、各工作
物要素の切断面がかなり離れるため、工作物要素を下部
フォイルＳから離すときにこれらの切断面が損傷を受け
る危険がほとんどなくなるので、容易に行なわれる。

サンドイッチ構造３の作製時に、工作物４の上面と上部
フォイル６との間に中間フォイル２６を挿入することが
望ましい。この中間フォイル２６は工作物４よりも大き
く、工作物４の外側まで延びるように工作物４の上に置
く。この場合、サンドイッチ構造３は、第６図に示すよ
うに３層のフォイル、すなわち（下から上へ）下部フォ
イル５、中間フォイル２６、上部フォイル６からなり、
工作物４はサンドイッチ構造３の一部分で、下部フォイ
ル５と中間フォイル２６の間に挿入される。中間フォイ
ル２６の目的は、工作物４の上面と上部フォイル６の摩
擦を小さくして、工作物４に加えられるひずみを減少さ
せる必要なく、工作物４を圧迫しているフォイルに対し
て工作物４の上面が摺動する能力を改善することである
。これにより、応力と、それによって生じる工作物４の
縁部及び隅部の損傷が減少する。この効果を得るために
、中間フォイルはたとえば厚みが０．０２ｍｍのポリエ
ステルまたはポリイミドとする。

容易に理解できるように、工作物４の切断を行なうロッ
ド１９の特徴は、円筒形のマントルの表面の上部だけで
ある。したがって、上記のロッド形の切断工具を使用す
ること、またはマントル線が所期の切断面に平行なマン
トル面を上部に存する切断工具を使用することと同等で
ある。この意味では、直線的な刃はロッド１９と同等で
ある。

この場合、切断工具をサンドイッチ構造３と垂直に接す
るように移動させた後、サンドイッチ構造３を切断工具
のマントル面に沿って曲げることによって切断を行なう
。

半導体ウェーハ等の板状の工作物を切断する上記の方法
を要約すると、オペレータが工作物の上面に刻みを付け
て、工作物を切断する１つまたは複数の平面を画定し、
好ましくは工作物と上部フォイルとの間に中間フォイル
を挿入した後で、刻みを付けた面を上にして工作物を上
部フォイルと下部フォイルの間にサンドイッチ状に挟み
、サンドイッチ構造を引き伸ばし、サンドイッチ構造の
下側に上向きの力を加えて工作物を曲げ、上部フォイル
（及び必要があれば中間フォイル）を除去した後、下部
フォイルから個々のバーを取り出して後の処理に回す。

Ｆ０発明の効果 例えば半導体ウェーハのような板状体の切断時に、切断
面が互いに接触して破損するような事故を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、工作物を切断するために、工作物とフォイル
のサンドイッチ構造を取り付け、工作物の切断工程を開
始する前に切断工具を休止位置に置いた本発明の装置の
概略平面図である。 第２図は、第１図の装置、サンドイッチ構造及び切断工
具の概略側面図である。 第３図は、切断工具の概略平面図である。 第４図及び第Ｓ図は、工作物とフォイルのサンドイッチ
構造及び切断工具が切断を開始する直前の位置にある、
第１図及び第２図と同様の本発明の装置を示す概略図で
ある。 第６図は、工作物とフォイルのサンドイッチ構造の特定
の実施例の中央部分の長さ方向の概略断面図である。 １・・・・ベース部材、３・・・・サンドイッチ構造、
４・・・・板状体、５・・・・下部フォイル、６・・・
・上部フォイル、７．８・・・・把持手段、９・・・・
グリップ、１０．１７・・・・スピンドル、１２．１８
．２４・・・・ノブ、１３・・・・チャリオット、１４
・・・・ガイド・バー１９・・・・切断用ロッド、２０
・・・・ローラ、２２・・・・溝、２６・・・・中間フ
ォイル。 出願人　　インターナシロナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 復代理人　弁理士　　篠　　１）　文　　雄５・−Ｔ部
フォイ１し ６−一上Ａ不フすイ（し

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体ウェーハなどの板状体を切断する方法であ
   って、 切断すべき板状体（４）に、切断面を画定する少なくと
   も１本の刻み線を付け、 上記の板状体をその刻み線を付けた面を上にして、該板
   状体の縁を越えて延びる柔軟で伸張可能な上部フォイル
   （６）及び下部フォイル（５）の間に置いて、接着剤で
   板状体を下部フォイルに接着し、 上記の板状体を間に挟んだまま、そのサンドイッチ構造
   （３）の両端間の距離を増大する方向に力を加えること
   によって、下部フォイルの板状体が接着した部分以外の
   上部及び下部フォイルを引き伸ばし、 上記サンドイッチ構造の下側に上向きの力を与えること
   によって、板状体を曲げて曲がりの半径の面を板状体の
   凸側にある刻み線に垂直にして刻み線の位置で個々の部
   分に切断し、 板状体が接着していたために引き伸ばされていなかった
   下部フォイルの部分が、上記の切断の瞬間に引き伸ばさ
   れて、切断面が互いに離隔されるようにしたことを特徴
   とする、板状体を切断する方法。
2. （２）２つの柔軟なフォイル（５、６）の間に挟んでサ
   ンドイッチ構造（３）にした状態で板状体（４）を切断
   する装置であって、 長さ方向の寸法が横断方向の寸法よりも大きく平坦な上
   面（２）を有するベース部材（１）と、上記サンドイッ
   チ構造の一端を着脱自在に保持するためベース部材に固
   定的に配置された第１の把持手段（７）と、 上記サンドイッチ構造の他端を着脱自在に保持して長さ
   方向に移動しうるようにベース部材に可動的に配置され
   た第２の把持手段（８）と、上記第２の把持手段を長さ
   方向に調節自在に移動させるための移動手段（１３−１
   ８）と、円筒形をなし、その軸線が上記ベース部材の横
   断方向に平行に、かつ長さ方向に移動自在に上記ベース
   部材の上面（２）上に載置するのに適した円筒形のロッ
   ド（１９）と、 を備えた板状体を切断する装置。