JPH02118205A

JPH02118205A - 流体の流れ安定化装置、質量流量計及び質量流量制御装置

Info

Publication number: JPH02118205A
Application number: JP1061983A
Authority: JP
Inventors: Randall J Vavra; ランダル　ジェイ　ヴァーヴラ; Michael Doyle; ドイルマイケル
Original assignee: Unit Instruments Inc
Current assignee: Unit Instruments Inc
Priority date: 1988-03-14
Filing date: 1989-03-14
Publication date: 1990-05-02
Also published as: KR890014353A; US4858643A; EP0332942A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、広くは流体の流れを安定化する装置に関し、
より詳しくは、流体の流路内に設けられる細管の数を調
節して流路を流れる流体に層流を確立する装置に関する
。

包囲された流体の流路を通って軸線方向に流れる流体に
おいては、流れが層流であるとすると、質量流量（ｍａ
ｓｓ　ｆｌｏｗ　ｒａｔｅ）は、圧力降下に比例する。

しかしながら、流れが乱流の場合には、この比例関係は
維持されない。流体の質量流量の測定及び制御のような
作業は、流量と圧力降下との間の比例関係が維持されな
い場合には首尾良く達成することはできない。従って、
かような作業を行うためには、層流状態を確立すること
が必要である。

粘度と速度とが与えられていると仮定すると、流体の層
流は、を効水力半径（ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ　ｈｙｄｒａ
−ｕｌｉｃ　ｒａｄｉｕｓ：　ｒＥＨＲＪ　）に対する
長さの比が大きいという特徴をもつ流体の流路を設ける
ことにより達成される。尚、ここで、有効水力半径（Ｅ
ＲＲ）とは、流路の横断面積を流路の周囲長さ（周長）
で割ったものである。もしも、与えられた流路のＥＩＩ
Ｈに対する長さの比（長さ／ＥＦＩＲ比）が、層流を確
立できる程に太き（ない場合には、この比は、流路を横
切る長さ／Ｅｌ（Ｉｔ比が大きな流れ制限装置（ｆｌｏ
ｗ　ｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ）を設け、流体が強制的にこ
の流れ制限装置を通って流れるようにすることにより、
増大させることができる。これ迄に、大きな長さ／ＥＨ
Ｒ比をもつ種々の流れ制限装置が提案されている。その
−例が米国特許第４．４９７．２０２号に開示されてお
りかつ該米国特許には他の参考文献が記載されている。

多くの流れ制限装置は金属等で作られていて、腐食性流
体により侵食される。かような腐食性流体の成るものは
成る種の金属を侵食し、他の流体は別の金属を侵食する
。従って、もしも、流れ制限装置を必要とする装置を１
種類以上の流体と共に使用できるようにするには、種々
の材料で作られた幾つかの流れ制限装置を設けておき、
特定の流体が使用されるときに、適当な１つの流れ制限
装置を取り付けるようにしている。

また、流れ制限装置は、温度、密度、粘度、流量及び圧
力等の流体の流れパラメータの限定範囲内で最適に機能
する。従って、これらのパラメータの種々の値に最適な
幾つかの流れ制限装置を用意しておき、必要に応じて取
り付ける必要がある。

以上から、閉流路内で流体の層流を達成でき、腐食性流
体によって悪影響を受けることがなく、流体の流れパラ
メータの種々の範囲に亘って最適性能が得られるように
容易に調節できる流体の流れスタビライザ（ｆｌｏｗ　
５ｔａｂｉｌｉｚｅｒ）が必要になることは明白であろ
う。

従って本発明の目的は、流体の閉流路内に層流を確立で
きかつ流体の流れパラメータの種々の範囲に亘って最適
結果が得られるように容易に調節できる流体の流れスタ
ビライザ（流れ安定化袋Ｗ）を提供することにある。

本発明による流体の流れ安定化装置すなわち流れスタビ
ライザは、流体の一次流路を形成する一次包囲体と、一
次流路内で互いに隣接して配置された複数のスタビライ
ザユニット（各スタビライザユニットが複数の細管を形
成している）と、スタビライザユニットを複数の相対位
置の中の任意の位置に位置決めすべく調節できる割り出
し手段（位置決め手段）とを有している。

両スタビライザユニットが第１相対位置にあるとき、複
数の第１細管の中の多数の細管が、他の複数の細管の中
の多数の細管と流体連通されて第１の数のスタビライザ
流路を形成し、両スタビライザユニットが第２相対位置
にあるとき、前記複数の第１細管の中の多数の細管が、
他の複数の細管の中の多数の細管と流体連通されて第２
の数のスタビライザ流路を形成する。

かような各スタビライザ流路は、該スタビライザ流路を
通る流体に層流を確立するのに充分な大きさの長さ／Ｅ
ＲＲ比をもつことを特徴とする。

スタビライザの性能は、流体に対して開放しているスタ
ビライザ流路の数を変えることにより、温度、密度、粘
度、流量及び圧力等の流体の流れパラメータに対して最
適化される。このことは、割り出し手段を次のように調
節することにより行われる。すなわち、一方のスタビラ
イザユニットを、第２のスタビライザユニットに対して
、複数の位置の中のいずれか１つに位置決めするか、１
つのスタビライザユニットを他の複数のスタビライザユ
ニットのいずれかに隣接して配置することにより、一方
のスタビライザユニットの所望数の細管を他のスタビラ
イザユニットの細管と流体連通させて、所望数のスタビ
ライザ流路を形成することにより行われる。

好ましい実施例においては、付加的な複数の゛細管を形
成する付加的なスタビライザユニットを、既に一次流路
中に配置されているスタビライザユニットに隣接して配
置し、これにより、付加的な細管の中の多数の細管をス
タビライザ流路の多数の細管と流体連通させて、スタビ
ライザ流路の長さを増大させ、スタビライザの性能を最
適化するように構成されている。

スタビライザユニットは、ＫＥＬ−Ｆ　、　ＴＦＥ　、
　ｌ’Ｌ八等の材料又は腐食性流体による侵食に耐える
ことができる耐薬品性プラスチックで作ることができる
。

好ましい実施例においては、一次流路内に延入する肩部
が包囲体に設けられていて、第１のスタビライザユニッ
トが肩部に衝合するようになっている。例えば、ばねの
ような保持手段によりスタビライザユニットを肩部に対
して押し付けることによって、スタビライザユニットが
一次流路内の所定位置に保持される。

本発明による流体の流れスタビライザは、流体の質量流
量計の一次流路を通る流体に確実に層流を形成するのに
有効に使用できる。二次包囲体により流体の二次流路が
形成される。二次流路は一次流路と流体連通しており、
スタビライザユニットより上流側の位置において、一次
流路を流れる流体の一部を受け入れて、この流体を、ス
タビライザユニットより下流側の位置において一次流路
に放出して戻すようになっている。サーマルセンサ又は
他の形式の質量流量センサにより、二次流路を通る流体
の質量流量が検出され、測定された質量流量を表す信号
が発生される。二次流路の流量は一次流路の流量に比例
するため、両流路の流量は、二次流路の測定された流量
から容易に計算することができる。

上記形式の質量流量計に流量制御弁を付加することによ
り、流体の質量流量制御装置が提供される。この弁は、
前述の信号に応答して流体の質量流量を制御するように
なっている。

本発明の他の特徴及び利点は、本発明の原理を例示的に
示す添付図面を参照して述べる以下の詳細な説明により
明らかになるであろう。

例示の目的のための図面に示すように、本発明は、スタ
ビライザ流路の数を調節して一次流路を通る流体に層流
を確立できる流体の流れスタビライザに具現化されてい
る。従来、流体の層流を達成するのに、種々の形式の流
れ制限装置が使用されているが、腐食性流体により侵食
されることがなくかつ流体の流れパラメータの種々の範
囲において最適性能が得られるように調節できる流れス
タビライザが要求されている。

本発明によれば、流体の一次流路内に複数のスタビライ
ザユニット（各ユニットは複数の細管を形成している）
が配置される。ユニットは、調節自在の位置決め手段す
なわち割り出し手段（ｉｎｄｅｘ　ｍｅａｎｓ）により
、複数の相対位置の中の任意の位置に位置決めされ、こ
れにより、複数の細管の中の多数の細管が他の複数の細
管と流体連通され、スタビライザの複数の流体流路が形
成される。スタビライザのこれらの流路により、一次流
路を通る流体に層流が確立される。スタビライザのかよ
うな流路の数と長さは、温度、密度、粘度、流量及び圧
力といった流体の流れパラメータに応じて最適性能が得
られるように調節される。スタビライザユニットは、腐
食性流体による侵食に堪え得る材料で作られる。

より詳しくは第１図〜第５図に示すように、本発明によ
る流体の流れスタビライザすなわち流れ安定化装置は、
流体の一次流路１３を形成する一次包囲体１）と、一次
流路１３内で互いに隣接して配置されたユニット１５．
１７のような複数のスタビライザユニット（スタビライ
ザユニット１５．１７には、それぞれ複数の細管１９．
２１が形成されている）と、該スタビライザユニット１
５．１７を複数の相対位置のいずれかの位置に位置決め
できるように調節可能な割り出し手段とを有している。

両スタビライザユニット１５．１７が第１相対位置に配
置されているとき、細管１９のような複数の第１細管が
、細管２Ｉのような複数の細管と流体連通し、多数の第
１スタビライザ流路を形成する。同様に、両ユニット１
５．１７が第２相対位置にあるときには、複数の前記第
１細管１９が複数の細管２１と流体連通した状態になり
、多数の第２スタビライザ流路を形成する。各スタビラ
イザ流路は、該スタビライザ流路を通る流体に層流を確
立するのに充分な大きさの、長さ／ＥＩＩＲ比、を有し
ているという特徴をもつ。

流路の長さ／ＥＨＲ比は、流路の長さを、流路の有効水
力半径（ｒＥＨｌ’ｌ　Ｊ　）で割ったものとして定義
されている。また、有効水力半径（ＥＨＲ）は、流路の
横断面積を流路の周囲長さ（周長）で割ったものとして
定義されている。

好ましい実施例においては、割り出し手段は、スタビラ
イザユニット１７に支持された複数の割り出しピン２３
と、スタビライザユニット１５に形成された複数の補完
孔２５とにより構成されており、補完孔２５はピン２３
を受け入れて、スタビライザユニット１５をスタビライ
ザユニット１７に対して、複数の位置の中の任意の位置
に位置決めできるようになっている。

スタビライザユニット１５に対するスタビライザユニッ
ト１７の位置は、割り出し手段を調節することによって
変えることができる。すなわち、両ユニット１５．１７
を引き離して相対的に回転し、前とは別のピン２３を前
とは別の補完孔２５に挿入すれば、両ユニット１５．１
７を通って延在するスタビライザ流路の数を変えること
ができる。

例えば第４図及び第５図に最も良く示すように、第１及
び第２のスタビライザユニット１５．１７が第１相対位
置にあるとき、第１ユニツト１５の細管１９Ａが、第２
ユニツト１７の同様な直径をもつ細管２１Ａと整合及び
流体連通して第１スタビライザ流路を形成し、また、第
１ユニツト１５の細管１９Ｂが第２ユニツト１７の細管
２１Ｂと整合及び流体連通し、第２スタビライザ流路を
形成する。しかしながら、第１ユニツト１５の細管１９
Ｃは、第２ユニツト１７のいずれの細管とも流体連通す
ることがなく、従って、細管１９Ｃによっては何らの流
路も形成されない。

第１及び第２のユニット１５．１７が第２相対位置にあ
る場合には、第１ユニツト１５の多数の細管１９が第２
ユニツト１７の多数の細管２１と流体連通するようにな
り、両ユニット１５．１７間には、第１相対位置の場合
とは異なる数のスタビライザ流路が形成される。このよ
うにして、スタビライザの性能を、流体の流れパラメー
タの種々の範囲に対して最適化することができる。

割り出し手段の別の実施例として、スタビライザユニッ
ト１５のような１つのユニットを、スタビライザユニッ
ト１７又は他のスタビライザユニット２９のような複数
の他のスタビライザユニットのいずれかに隣接して配置
するように構成することができる。いかなるときでも、
ユニット１５にはユニット１７又は２９のいずれか一方
のみが隣接して配置され、使用しないユニット１７又は
２９は保管しておく。

スタビライザユニット２９は、スタビライザユニット１
７の複数の細管２１とは異なる構成の複数の細管３１を
有している。前述のように、スタビライザユニット１７
がスタビライザユニット１５に隣接して配置されると、
両ユニット１５．１７を通る成る数のスタビライザ流路
が形成される。また、ユニット１５に隣接してユニット
２９を配置した場合には、両ユニット１５．２９の間に
異なる数のスタビライザ流路が形成される。従って、い
かなるときでも、ユニット１５と組み合わせて使用され
るのはユニット１７又は２９のいずれか一方であり、い
ずれのユニット１７又は２９を選択するかは、組み合わ
される両ユニット間に形成しようとするスタビライザ流
路の数に応じて決められる。

後者の実施例の場合、割り出し手段は、例えば、ユニッ
ト１７により支持されたピン２３の外に、ユニット２９
により支持された複数の割り出しピン３２と、ユニット
１５に形成された補完孔２５とにより構成される。ユニ
ット１５に対するユニッ）１７．２９の位置は、割り出
し手段を調節することにより変えることができる。すな
わち、ユニット１７の割り出しピン２３をユニット１５
の補完孔２５から引き抜いてユニット１７をユニッ）１
５から分離し、次いでユニット２９をユニット１５に隣
接して配置し、ユニット２９の割り出しピン３２をユニ
ット１５の補完孔２５に挿入すればよい。

好ましい実施例においては、第１図に最も良く示すよう
に、一次色囲体１）は、一次流路１３の周囲で環状をな
して該一次流路１３内に延入している肩部３３を備えて
いる。この肩部３３には第１スタビライザユニツト１５
が衝合しており、ユニット１７のような別のスタビライ
ザユニットが、第１スタビライザユニツト１５に関して
肩部３３とは反対側に配置されている。両スタビライザ
ユニット１５．１７は、ばね３５のような保持手段によ
り肩部３３に対して押し付けられて、一次流路１３内で
所定位置に保持されている。

ばね３５は、例えばプラグ３７により所定位置に保持さ
れている。プラグ３７は雄ねじを備えていて、該雄ねじ
を包囲体１）の入口孔３９に形成された補完雌ねじに螺
入することにより、ばね３５がプラグ３７とスタビライ
ザユニットとの間で圧縮される。スタビライザ流路の数
を調節したい場合には、プラグ３７を取り外して、ばね
３５及び両スタビライザユニットを取り出し、これらの
両スタビライザユニットの相対位置を変えるか、或いは
一方のスタビライザユニットを、異なる細管パターンを
もつ別のスタビライザユニットと取り替えるだけでよい
。

第１スタビライザユニツト１５に、環状凹部４１のよう
な手段を設けておくことは任意である。

すなわち、この環状凹部４１は肩部３３を補完する形状
になっていて、スタビライザユニット１５を肩部３３に
対してシール関係をなして配置し、これにより、両スタ
ビライザユニットを通って延在するスタビライザ流路を
通る以外には、いかなる流体も流れることができないよ
うに構成することができる。

好ましい実施例においては、スタビライザユニットは、
例えば、Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ　Ｍｉｎｉｎｇ　ａｎｄ　
Ｍａｎｕｆａ−ｃｔｕｒｉｎｇ社の製造に係る［にＥＬ
−Ｆ　Ｊのような耐蝕性の非金属材料をモールド成形す
ることにより作られている。

スタビライザユニットの寸法は、適用例及び流体の流れ
パラメータの値に応じて適当に変えることができる。例
えば、本発明の流れスタビライザを、産業用のプロセス
ガスの質量流量制御装置に適用する場合には、各スタビ
ライザユニットは、直径が約０．５！ン（約１２．７　
ｍｍ）、厚さが約０．２５　！ン（約６．３５　ｍｍ）
の寸法を存し、複数の細管については、その各々が、約
０．０１３〜０．０６０　！ン（約０．３３０〜１．５
２４　ｍｍ）の直径、及び０．２５１ン（約６．３５　
ｍｍ）の長さ（スタビライザユニットの厚さ方向に延在
する長さ）を有している。

従って、互いに隣接して配置されたかような２つのスタ
ビライザユニットからなるスタビライザ組立体は、約０
．０１３〜０．０６０　ｋン（約０．３３０〜１．５２
４ｆｆｌＩ！１）の直径と、約０．５）ン（約１２．７
　ｍｍ）の長さ（１つのスタビライザユニットの細管の
長さの２倍の長さ）の寸法をもつ複数のスタビライザ流
路を形成することになる。

好ましい実施例においては、スタビライザの性能は、例
えば、付加的な複数の細管を形成する付加的なスタビラ
イザユニットを設けることによってスタビライザ流路の
長さを増大させることにより、最適化される。この付加
的なスタビライザユニットは、既に一次流路内に配置さ
れているスタビライザユニットに隣接して配置すること
ができる。この場合、付加的なスタビライザユニ、２ト
の多数の細管が、既に一次流路に配置されているスタビ
ライザユニットにより形成された多数のスタビライザ流
路と連通し、スタビライザ流路の長さが増大される。

実際、本発明による流体の流れスタビライザは、幾つか
のスタビライザユニットを必要なだけ互いに重ね合わせ
ることにより、所望の長さにすることができる。例えば
、第６図に示すように、６つのスタビライザユニット４
３．４５．４７．４９．５１及び５３からなるスタビラ
イザを構成することができる。これらのスタビライザユ
ニットは、ばね３５を取り出し、これらのユニットを挿
入し、再度ばね３５を取り付けることにより、互いに重
ね合わせた状態で一次流路１３内に挿入される。

かような方法により、単一ユニットとして具合良（モー
ルド成形できるスタビライザユニットがもつ長さ／ＥＲ
Ｒ比よりも溝かに大きな長さ／ＥＨＲ比をもつことを特
徴とするスタビライザ流路を備えた流体の流れスタビラ
イザを、容易に組み立てることが可能になる。

流体が、包囲体１）の入口孔３９から流入して一次流路
１３内に入ると、スタビライザユニットに出合い、該ス
タビライザユニットの多数の細管により形成されたスタ
ビライザ流路を通って強制的に流される。各スタビライ
ザ流路は、該スタビライザ流路を通って流れる流体に層
流を確立するのに充分な大きさの長さ／Ｈ）ＩＲ比を有
しているため、一次流路１３の長さ／ＥＲＲ比が小さく
て、もしもスタビライザユニットが存在しない場合には
乱流が発生するような一次流路１３であっても、これら
のスタビライザユニットを配置することにより、一次流
路１３を通る流れを確実に層流にすることができる。

本発明を具現化した流体の流れ安定化装置すなわち流れ
スタビライザは、流体の質量流量計のような装置の一次
流路を通って流れる流体に確実に層流を発生させるよう
な場合にも有効に使用することができる。例えば第１図
に示すように、二次包囲体５５を用いて流体の二次流路
５７を形成する。この二次流路５７は、スタビライザユ
ニット１５．１７の上流側の位置５９において一次流路
１３と連通しており、一次流路を流れる流体の−部を受
け入れて、この流体を、スタビライザユニットの下流側
の位置６１において一次流路１３に放出して戻すように
構成されている。

二次流路５７は、該二次流路５７内に層流を確立するの
に充分な大きさの第２の長さ／ＥＨＲ比を有しているこ
とに特徴がある。一次流路１３内に配置されたスタビラ
イザユニット１５．１７は、該一次流路１３を通る流れ
を確実に層流にする。

一般に、流れが層流であるとすると、流路を通る流体の
質量流量は流路に沿う圧力降下に比例すること、及び、
二次流路５７に沿う圧力降下は一次流路１３に沿う圧力
降下に等しいことから、二次流路５７を通る質量流量が
一次流路１３通る質量流量に比例することは当然である
。

一次流路１３及び二次流路５７の各流路の圧力降下は位
置５９と位置６１との間で測定されるため、一次流路１
３に沿う圧力降下は二次流路５７に沿う圧力降下に等し
い。両流路１３．５７を通る流量が同一の圧力降下に比
例すること、及び両流路１３．５７内の流れが層流であ
ることから、両流量は互いに比例することは当然である
。

例えばプロセスガスの質量流量の測定に使用される種類
の質量流量計は、上記装置にセンサエレメント６３．６
５のような流体の質量流量検出手段を設けることにより
実施される。これらのセンサエレメント６３．６５は、
サーモエレメント又は二次流路５７と連通ずる他のセン
サで構成でき、二次流路５７を通る流体の質量流量を検
出して、該質量流量を表す信号を発生するようになって
いる。

一次流路１３及び二次流路５７を通る流量は比例関係に
あるため、両流路１３．５７を通る全流量は、二次流路
５７を通る流量を表す信号から容易に計算することがで
きる。

流体の質量流量制御装置は、かような質量流量計に弁６
７を付加することにより実施される。この弁６７は質量
流量信号に応答して、流体の質量流量を制御するための
ものである。弁６７は、一次流路１３からの流体を受け
入れ、この流体を出口孔６９を通して放出する。出口孔
６９は、プラグ７１を介して、流体を受け入れる他の装
置（図示せず）に連結される。

以上の説明から、本発明による流体の流れスタビライザ
は、大きな長さ／ＥＨＲ比をもっことを特徴とする複数
のスタビライザ流路を通して流体を流すことにより、流
路中に流体の層流を確立できる簡単で経済的な手段であ
ることが理解されよう。

かようなスタビライザ流路の数及び長さは、種々の粘度
、流量及び圧力をもつ種々の流体に対して最適な性能が
得られるように、容易に調節することができる。また、
本発明の流れスタビライザは腐食性流体による侵食に耐
える材料で作ることができ、従って、腐食性のプロセス
ガス等の測定及び制御に使用される質量流量計及び質量
流量制御装置等にも容易に使用することができる。

以上、本発明の成る実施例について説明したが、本発明
は上記説明に係る特定の形状や構成に制限されるもので
はなく、従って本発明の範囲及び精神から逸脱すること
なく種々の修正及び変更を施すことができる。従って、
本発明は、特許請求の範囲内において、上記説明に係る
特定の実施例以外のものについても実施することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の新規な特徴を具現化した流体の流れ
スタビライザを備えた質量流量制御装置の一部を断面し
た平面図である。第２図は、第１図の実施例に使用されるスタビライザユ
ニットを、その構成が明瞭になるように互いに引き離し
た状態を示す斜視図である。第３図は、第２図のスタビライザユニットの一方と取り
替えることができるスタビライザユニットを示す斜視図
である。第４図は、第１図の実施例の流れスタビライザの右端面
を示す図面である。第５図は、第４図の５−５線に沿う断面図である。第６図は、第１図の実施例に使用される複数のスタビラ
イザユニットを備えた流体の流れスタビライザ組立体を
示す斜視図である。１）・・・一次色囲体、　　　１３・・・一次流路、１
５．１７．４３．４５．４７．４９．５１５３・・・ス
タビライザユニット、１９．１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ，２１，２１Ａ１２１Ｂ
、３１・・・細管、２３．３２・・・割り出しビン、２５・・・補完孔、　　　　３５・・・ばね、３７．７
１・・・プラグ、　３９・・・入口孔、５５・・・二次
包囲体、　　５７・・・二次流路、６３．６５・・・セ
ンサエレメント、６７・・・弁、　　　　　　６９・・・出口孔。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）流体の一次流路を形成する一次手段と、前記一次
流路内において互いに隣接して配置された第１及び第２
のスタビライザユニットであって、それぞれ、軸線方向
に平行に延在する複数の第１細管及び軸線方向に平行に
延在し前記第１細管にも平行な複数の第２細管を備えて
いる第１及び第２のスタビライザユニットとを有してお
り、これらの第１及び第２のスタビライザユニットは、
前記第１細管及び第２細管の中の或るものが互いに整合
しかつ流体連通した状態に配置されかつ前記第１細管及
び第２細管の中の他のものが互いに整合することなく従
って流体連通もしていない状態に配置される種々の相対
位置に移動することができ、種々の相対位置の中から選択された１つの位置に固定す
るための割り出し手段を更に有しており、前記第１細管
及び第２細管を通る流体に層流を確立するのに充分な大
きさの長さ／ＥＨＲ比をもつ所望の数の整合した第１細
管及び第２細管を選択できることを特徴とする流体の流
れ安定化装置。
（２）前記第１及び第２のスタビライザユニットに隣接
して配置され、かつ互いに整合した前記第１細管及び第
２細管と選択的に整合できる付加的な複数の細管を形成
する１つ以上の付加的なスタビライザユニットを更に有
しており、前記整合した第１細管及び第２細管を通る流
体のスタビライザ流路の長さを増大できることを特徴と
する請求項１に記載の流れ安定化装置。
（３）前記一次流路と流体連通しており、前記スタビラ
イザユニットの上流側の位置において、前記一次流路を
流れる流体の一部を受け入れ、この流体を、前記スタビ
ライザユニットの下流側の位置において前記一次流路に
放出して戻す、流体の二次流路を形成する二次手段を更
に有していることを特徴とする請求項１に記載の流れ安
定化装置。
（４）請求項３に記載の流体の流れ安定化装置と、二次
流路に連通していて該二次流路を通る流体の質量流量を
検出すべく作動し、質量流量を表す信号を発生するセン
サ手段とを有することを特徴とする流体の質量流量計。
（５）請求項４に記載の流体の質量流量計と、流体の質
量流量の制御信号に応答する弁とを有することを特徴と
する流体の質量流量制御装置。
（６）スタビライザユニットの衝合端部が一次流路に対
してシール関係をなすように、スタビライザユニットを
押圧する保持手段を有していることを特徴とする請求項
１に記載の流れ安定化装置。
（７）前記保持手段が、前記スタビライザユニットを一
緒に押圧すべく作用するばねであることを特徴とする請
求項６に記載の流れ安定化装置。
（８）流体の流路を形成する手段と、前記流路に対して同心状に配置されかつ軸線方向に平行
に延在する複数の直線状の細管を備えている複数の円形
状のスタビライザユニットとを有しており、該スタビラ
イザユニットは、それぞれのスタビライザユニットの前
記細管の或るものが互いに整合しかつ流体連通した状態
にありかつ残余の細管が互いに整合することなく従って
流体連通もしていない状態にある種々の回転位置を占め
るように相対回転することができ、前記スタビライザユニットを、種々の回転位置の中から
選択された１つの位置に固定するための割り出し手段を
更に有しており、前記細管を通る流体に層流を確立する
のに充分な大きさの長さ／ＥＨＲ比をもつ所望の数の整
合した細管を選択できることを特徴とする流体の流れ安
定化装置。