JPH02119042A - 放電灯 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は露光装置の光源として用いられる放電灯に関す
るものである。

集積回路やカラー受像管の製造において、微細なパター
ン加工を光学的に行なうが、このとき使用さ九る露光装
置の光源としては安定に発光する放電灯が、例えば水冷
構造のもとで用いられる。

第１図は露光装置に用いられる従来の発光装置の一例の
平面断面図、第２図は第１図のｍｌ　−ＩＩ断面図であ
る６図において、１はランプハウス台で。

ガイドピン２ａ、２ｂ、２ｃによって位置決めされ、固
定部３ａ、３ｂを締めつけることにより基台上にセツテ
ィングされる。ランプハウス台１には、上面から凹んで
円孤状の管収容部１ａ、その両端の電極収容部１ｂ、ｌ
ｃおよび電極収容部１ｂ、ｌｃから斜め下方に貫通して
入路１ｄ、出路１ｅがそれぞれ形成され、さらに入路１
ｄ、出路１ｅの各開口端には流入管４ａ、流出管４ｂが
それぞれ接合されている。また、ランプハウス台１の下
面からは先端が電極収容部１ｂ、ｌｃ内に配置されるよ
うに電力供給端子５ａ、５ｂがねじ込まれ、気密性を保
持するためにエポキシレジンで固定されている。放電部
が円孤状に形成された放電灯は、ガラス、セラミック等
からなる透明絶縁管（以下ガラス管という）とその両端
に固定されたステム７ａ、７ｂからなり、ステム７ａ、
７ｂをロケータ９に固定された取付板８ａ、８ｂにはん
だ付けして固定することによりロケータ９に取付けられ
る。ロケータ９は両端にピン孔１０ａ。

１０ｂを有し、ランプハウス台１の上面に植設されたガ
イドピンｌｌａ、ｌｌｂにピン孔１０ａ。

１０ｂをはめ込むことにより、ロケータ９はランプハウ
ス台１上に正しく位置決めして取付けられる。このとき
、ガラス管６．ステム７ａ、７ｂは管収容部１ａ、電極
収容部１ｂ、ｌｃ内にそれぞれ収容される。また、１２
ａ、１２ｂはリード線で、一端は取付板８ａ、８ｂには
んだ付けされ。

他端は止めねじ１３ａ、１３ｂによって電力供給端子５
ａ、５ｂにねじ止めされている。

一方ランプハウス台１の上面にはガラスからなるフェー
スプレート１４、およびフェースプレート１４上に開口
Ｌ５ａを有する蓋１５が設けられ、蓋１５はＯリング１
６ａ、１６ｂを介してランプハウス台１に圧接されてい
る。したがって、管収容部１ａ、電極収容部１ｂ、ｌｃ
は気密に保持される。

このような構成で、流入管４ａから冷却水を流入させる
と、矢印に示すように、水は入路１ｄ。

電極収容部１ｂ、管収容部１ａ、電極収容部１ｃ。

出路１ｅを経て流出管４ｂから流出される。この水によ
って放電灯は水冷される。そして、′ｉｔｔ力供給端子
５ａ、５ｂを電源に接続するとガラス管６の中心部は発
光し、この光はフェースプレート１４、開口１５ａを経
て放射される。

この場合、ステムは放電灯の電極に接続されているので
高電圧部分が水中に露出するという問題がある。

第３図は前述したような装置に用いられる放電灯の電極
部の断面図である。ガラス管６の先端の電極部には水銀
１８が収容され、さらにこの水銀１８の面から管内に先
端部が突き出した例えばタングステン等からなる電極１
９が封着されている。

電極１９の他方の端はガラス管６の外に引出され。

この部分で外部引出導体、この例では裸導線のリード１
ｉＡ２０と溶接のような手段で接合されている。

ガラス管６の外周面には電極１９とリード１ｉＡ２０の
溶接部分を覆うようにステム７ａ（７ｂ）がかぶされ、
その間にはエポキシレジン２１が充填され互いに固定さ
れている。そして、ステム７ａ（７ｂ）の端には封止金
属２２がはめ込まれ、さらに、ステム７ａ　（７ｂ）と
リード線２０の間がはんだ２３によって接続されている
。

このように従来の放電灯においては、ガラス管に封着さ
れた電極と外部引出導体とは溶接のような手段で接合さ
れるため、材質的な点からも溶接外れ等の発生があり、
両者の接合の信頼性が低いという問題があった。

本発明はこのような従来の問題を解決するために考えら
れたもので、その目的とするところは、電極と外部引出
導体との接合の信頼性の極めて高い放電灯を提供するこ
とにある。

このような目的を達成するために、本発明は、電極と外
部引出導体との接合部からガラス管の端部に亘ってその
周囲にコイルを配置固定したものである。

以下１本発明を実施例にもとすいて詳細に説明する。

第４図は本発明に係る放電灯の一実施例の要部断面図で
、第３図と同一部分には同一符号を付しである。図にお
いて、２５は外部引出導体で、その先端部２５ａは電極
１９の外方突出部１９ａと接合部２６で溶接接合されて
いる。２７は電極１９と先端部２５ａの接合部２６の外
周面上からガラス管６の先端部の外周面上に亘って弾力
でがん合した補強用のコイルで、このコイル２７は図示
の如く装着後に半田２８によりコイル２７の巻線相互間
を半田接合し、コイル２７が一体の剛体を呈する構成と
なっている。しかも前記コイル２７の巻線相互の半田付
け（半田上げという）により、接合部自体にも半田が流
入し、電極と外部引出導体との接合を強化する効果もあ
る。この配置及び構成とすることにより、接合部の信頼
性が向上する。２９は所定の長さに形成されたシリコン
ゴムからなる絶縁チューブで、この絶縁チューブ２９は
前記コイル２７を囲繞すると共に、一端はガラス管６の
外周面に強くがん合しており、他端は外部引出導体２５
の延在部分２５ｂと対向してこれを囲続している。そし
て、絶縁チューブ２９の内側には、ガラス管６の先端部
、電極１９の外方突出部１９ａ、外部引出導体２５の先
端部２５ａ。

接合部２６を埋めるようにエポキシレジン３０が充填さ
れ、また、ステム７ａ（７ｂ）と絶縁チューブ２９との
間隙にも同じくエポキシレジン３１が充填されている。

３２はコイルで、このコイル３２はステム７ａ　（７ｂ
）とガラス管６とを接合しており、しかも前述のコイル
２７と同様に半田上げされている。なお、３３はシール
材である。

このような構造の放電灯では、ステム自身は電極から絶
縁され、しかも外部引出導体と電極の接合部等は、絶縁
チューブで覆われ、さらにエポキシレジン等が内部に充
填されており、したがって。

放電灯を水中に配置しても絶縁不良を起こしたりするよ
うなことはなくなることは勿論のこと、本発明に係る放
電灯では、電極と外部引出導体との接合部からガラス管
の端部に亘ってその周囲にコイルを配置し、このコイル
が一体の剛体として作用する構成としたことにより、前
記接合部の接合の信頼性を確保できる優れた放電灯を可
能にしたものである。

なお、上述の実施例ではコイル２７を接合部２６からガ
ラス管６の端部に亘って連続して囲続して配設したが、
接合部のみ、あるいはガラス管の端部から電極の外方突
出部迄をそれぞれ単独にあるいは組合せて囲続する構成
としても良いことは勿論である。

このように、本発明に係る放電灯によると、電極と外部
引出導体との接合の信頼性が確保できるという優れた特
徴を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は発光装置の平面断面図、第２図は第１図の■−
■断面図、第３図は従来の放電灯の断面図、第４図は本
発明に係る放電灯の一実施例の断面図である。 ６・・・ガラス管、７ａ、７ｂ・・・ステム、１８・・
・水銀、１９・・・電極、１９ａ・・・外方突出部、２
５・・・外部引出導体、２５ａ・・・先端部、２５ｂ・
・・延在部分、２６・・・接合部、２７・・・コイル、
２８・・・半田、２９・・・絶縁チューブ、３０．３１
・・・エポキシレジン、３２・・・コイル、３３・・・
シール材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、透明絶縁管の両端部に一端が管内に他端が外方に突
   出するようにそれぞれ電極を封着し、この電極の外方突
   出部に外部引出導体の一端部を接合し、この接合部から
   前記透明絶縁管の端部に亘ってその周囲にコイルを配置
   固定したことを特徴とする放電灯。