JPH02122252A - 限界電流式ガス濃度センサ - Google Patents
限界電流式ガス濃度センサInfo
- Publication number
- JPH02122252A JPH02122252A JP63275719A JP27571988A JPH02122252A JP H02122252 A JPH02122252 A JP H02122252A JP 63275719 A JP63275719 A JP 63275719A JP 27571988 A JP27571988 A JP 27571988A JP H02122252 A JPH02122252 A JP H02122252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid electrolyte
- electrolyte plate
- protective cap
- gas diffusion
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
U産業−1−の利用分!I!/]
この発明は、限界電流式ガス濃度センサの改良に関する
ものてあり、特にセンサのガス拡散空間と外部雰囲気と
を連通ずるガス拡散孔の位置の改良に関4”るムのであ
る。
ものてあり、特にセンサのガス拡散空間と外部雰囲気と
を連通ずるガス拡散孔の位置の改良に関4”るムのであ
る。
[従来の技術1
従来から、酸素、水素、水等のガス濃度センサとして、
所定のガスのイオン伝導性を何才ろ固体電解質を用いた
限界電流式ガス濃度センサが知られている。
所定のガスのイオン伝導性を何才ろ固体電解質を用いた
限界電流式ガス濃度センサが知られている。
その構造は、第3図に示さイ1ろように、所定ガス例え
ば酸素ガスのイオン伝導性をγI−する安定化ノルコニ
アからなる固体電解質板31の両面に白金からなる多孔
質電極32Δ、32I3が形成され、その片面に一方の
電極32Aを覆って保護キャップ33が封着4A35に
より封着されて、保護キャップ33と固体電解質板31
.1!:の間にガス拡散空間36か形成され、保護キャ
ップ33には、ガス拡散空間36と外部雰囲気とを連通
ずるガス拡散孔34が設置Jられたものである。なお、
図中37A、37 F3は一]−記電極32△、32B
にそれぞれ接続されたリート線である。
ば酸素ガスのイオン伝導性をγI−する安定化ノルコニ
アからなる固体電解質板31の両面に白金からなる多孔
質電極32Δ、32I3が形成され、その片面に一方の
電極32Aを覆って保護キャップ33が封着4A35に
より封着されて、保護キャップ33と固体電解質板31
.1!:の間にガス拡散空間36か形成され、保護キャ
ップ33には、ガス拡散空間36と外部雰囲気とを連通
ずるガス拡散孔34が設置Jられたものである。なお、
図中37A、37 F3は一]−記電極32△、32B
にそれぞれ接続されたリート線である。
また、」二記の構造にお1ノる保護キャップ33の成形
加工性と、保護キャップ33と固体電解質板31aの接
着外表を改詐したものとして、第4図に示す構造のもの
か提案されている。4−なわち、固体電解質板41の両
面に多孔質電極42Δ、42Bか形成され、それらの保
護およびガス拡散空間形成のために、多孔質焼成体43
がその片面または両面に、固体電解質板4Iの焼成と共
に焼成され一体に接合されて設()られ、さらにその片
面の表面に、微細クラックを何するカラス塗布層44か
設けられたものである。ここで、」−記の多孔質焼成体
43は第3図の保護キャップ33に、多孔質焼成体43
の多数の孔は第3図のガス拡散空rfil 3aに、ま
たカラス塗布層44の微細クラックは第3図のガス拡散
孔34に、それぞれ相当している。なお、図中45A、
45RiJ上記電極42Δ、42Bにそれぞれ接続され
たリード線である。
加工性と、保護キャップ33と固体電解質板31aの接
着外表を改詐したものとして、第4図に示す構造のもの
か提案されている。4−なわち、固体電解質板41の両
面に多孔質電極42Δ、42Bか形成され、それらの保
護およびガス拡散空間形成のために、多孔質焼成体43
がその片面または両面に、固体電解質板4Iの焼成と共
に焼成され一体に接合されて設()られ、さらにその片
面の表面に、微細クラックを何するカラス塗布層44か
設けられたものである。ここで、」−記の多孔質焼成体
43は第3図の保護キャップ33に、多孔質焼成体43
の多数の孔は第3図のガス拡散空rfil 3aに、ま
たカラス塗布層44の微細クラックは第3図のガス拡散
孔34に、それぞれ相当している。なお、図中45A、
45RiJ上記電極42Δ、42Bにそれぞれ接続され
たリード線である。
この限界電流式ガス濃度センサては、ガス拡散孔の大き
さかセンサの感度に重大な影響を及ばす乙のの1つであ
る。
さかセンサの感度に重大な影響を及ばす乙のの1つであ
る。
[発明が解決しよう表する課題1
上記の従来のガス濃度センサは、いずれも外部雰囲気を
取り込むガス拡散孔かイオン伝導体である固体電解質板
を保護−4−る保護キャップに設けられだものであって
、第3図に示される保護キャップ33にあっては、セラ
ミック粉末を円柱状に、その中心軸にプラスデックの極
細繊組を通しておいて、圧縮成形し、これを円板状ペレ
ットに切断した後焼成することに、にり作られる。この
時、ガス拡散孔34は、−]−記のセラミック粉末の円
板状ペレットか焼成される際、予め通しであるプラスチ
ックの極細繊維が燃焼されることにより除去されて形成
されるが、焼成の際に孔の形状の変形か微少であっても
、微細な孔径に比し孔の長さか長いために、ガス拡散抵
抗のバラツキが大きくなり、所望の範囲内のガス拡散孔
を存する製品の歩留りか悪くなる。
取り込むガス拡散孔かイオン伝導体である固体電解質板
を保護−4−る保護キャップに設けられだものであって
、第3図に示される保護キャップ33にあっては、セラ
ミック粉末を円柱状に、その中心軸にプラスデックの極
細繊組を通しておいて、圧縮成形し、これを円板状ペレ
ットに切断した後焼成することに、にり作られる。この
時、ガス拡散孔34は、−]−記のセラミック粉末の円
板状ペレットか焼成される際、予め通しであるプラスチ
ックの極細繊維が燃焼されることにより除去されて形成
されるが、焼成の際に孔の形状の変形か微少であっても
、微細な孔径に比し孔の長さか長いために、ガス拡散抵
抗のバラツキが大きくなり、所望の範囲内のガス拡散孔
を存する製品の歩留りか悪くなる。
また第4図に示されるセンサの保護キャップであるカラ
ス塗布層44が表面に設置)られた多孔質焼成体43の
多数の孔は、面記したように主としてガス拡散空間の役
割をするムのであって、ガス拡散孔としての役割に(j
少しく孔径か人きいので、ガス拡散孔として、ガラス塗
布層4/Iにその層の内外を貫通ずる微細なりラックを
形成さ■なければならないか、その形成に当たってクラ
ックの大きさおよび数をコントロールすることは非常に
困難である。
ス塗布層44が表面に設置)られた多孔質焼成体43の
多数の孔は、面記したように主としてガス拡散空間の役
割をするムのであって、ガス拡散孔としての役割に(j
少しく孔径か人きいので、ガス拡散孔として、ガラス塗
布層4/Iにその層の内外を貫通ずる微細なりラックを
形成さ■なければならないか、その形成に当たってクラ
ックの大きさおよび数をコントロールすることは非常に
困難である。
[課題を解決するための手段1
この発明は、これらの問題点を解決したものであって、
ガス拡散孔を保護キャップ側に設置)ずに、センサエレ
メントであるイオン伝導性を有する固体電解質板に設(
Jたものである。
ガス拡散孔を保護キャップ側に設置)ずに、センサエレ
メントであるイオン伝導性を有する固体電解質板に設(
Jたものである。
1作用]
上記の構成としたことにより、保護キャップにはガス拡
散孔を設ζJなくてもよくなり、また固体電解質板は、
第3図の保護キャップに比へてその厚さは1/10程度
に薄いので、焼成の際に多少の変形があったとしても、
ガス拡散孔の孔径に対する影響は極めて少ない。
散孔を設ζJなくてもよくなり、また固体電解質板は、
第3図の保護キャップに比へてその厚さは1/10程度
に薄いので、焼成の際に多少の変形があったとしても、
ガス拡散孔の孔径に対する影響は極めて少ない。
[実施例]
図面を参照してこの発明の詳細な説明する。
まず第1図において、11は所定のガスのイオン伝導性
を有する固体電解質板、12Δ、12Bは固体電解質板
IIの両面に形成された例えば白金からなる多孔質電極
、I3は固体電解質板11を貫通して設()られたガス
拡散孔、14は固体7u解質板11の片面の多孔質電極
I2Δの側に置かれた保護キャップ、15は固体電解質
板IIと保護キャップ14との間をそれらの周縁部で封
着している封着材、16は固体電解質板11および多孔
質電極12Aと保護キャップ14との間に封着祠15に
よって作られたガス拡散空間、+7A、7Bは多孔質電
極12A、+2f3にそれぞれ接続されたリード線であ
る。
を有する固体電解質板、12Δ、12Bは固体電解質板
IIの両面に形成された例えば白金からなる多孔質電極
、I3は固体電解質板11を貫通して設()られたガス
拡散孔、14は固体7u解質板11の片面の多孔質電極
I2Δの側に置かれた保護キャップ、15は固体電解質
板IIと保護キャップ14との間をそれらの周縁部で封
着している封着材、16は固体電解質板11および多孔
質電極12Aと保護キャップ14との間に封着祠15に
よって作られたガス拡散空間、+7A、7Bは多孔質電
極12A、+2f3にそれぞれ接続されたリード線であ
る。
つぎに、第2図を参照してこの発明のもう1つの実施例
を説明する。2■は所定のガスのイオン伝導性を有する
固体電解質板、22A、22Bは固体電解質板21の両
面に形成された白金からなる多孔質電極、23は固体電
解質板21を貫通して設置プられたガス拡散孔、24は
固体電解質板21の片面に一方の電極22Aを覆って設
けられた多孔質焼成体、25はその多孔質焼成体24の
表面全体を覆って形成されたガラス塗布層、26Δ、2
6Bは多孔質電極22A、2213にそれぞれ接続され
たリード線である。
を説明する。2■は所定のガスのイオン伝導性を有する
固体電解質板、22A、22Bは固体電解質板21の両
面に形成された白金からなる多孔質電極、23は固体電
解質板21を貫通して設置プられたガス拡散孔、24は
固体電解質板21の片面に一方の電極22Aを覆って設
けられた多孔質焼成体、25はその多孔質焼成体24の
表面全体を覆って形成されたガラス塗布層、26Δ、2
6Bは多孔質電極22A、2213にそれぞれ接続され
たリード線である。
[発明の効果]
ごの発明の限界電流式ガス濃度センサによれば、ガス拡
散孔は固体電解質仮に設(Jられでいるので、その固体
電解質板は、従来の第3図に示されるガス拡散孔34を
存する保護キャップ14の厚さに比へて1/lO程度に
薄いことから、もし固体電解質板の焼成によって僅かの
変形が生じたとしても、ガス拡散孔の孔径にはほとんと
影響せず、所望の範囲内の孔径のガス拡散孔を一層歩留
りよく形成さlることかできる。
散孔は固体電解質仮に設(Jられでいるので、その固体
電解質板は、従来の第3図に示されるガス拡散孔34を
存する保護キャップ14の厚さに比へて1/lO程度に
薄いことから、もし固体電解質板の焼成によって僅かの
変形が生じたとしても、ガス拡散孔の孔径にはほとんと
影響せず、所望の範囲内の孔径のガス拡散孔を一層歩留
りよく形成さlることかできる。
また、従来の第4図の保護;Vヤツプである多孔質焼成
体7I3の表面に形成した微細クラックを有するガラス
塗布層44と比較して、この発明ではカラス塗布層に、
大きさや数をコントロールしにくい微細クラックを設け
るこきはなく、固体電解質仮に所望の範囲内にあるガス
拡散孔を歩留りよく形成させることかできる。
体7I3の表面に形成した微細クラックを有するガラス
塗布層44と比較して、この発明ではカラス塗布層に、
大きさや数をコントロールしにくい微細クラックを設け
るこきはなく、固体電解質仮に所望の範囲内にあるガス
拡散孔を歩留りよく形成させることかできる。
さらに、この発明では保護キャップにはガス拡散孔を設
【jないので、従来はセンサの作動に必要なヒータ回路
パターンをガス拡散孔をよj)で保護キャップの上に形
成するという制限を受1ノでいたのを、この発明では保
護キャップにはガス拡散孔を設けないので、ヒータ回路
パターンに何等の制限も受けることなく形成させること
がてきる。
【jないので、従来はセンサの作動に必要なヒータ回路
パターンをガス拡散孔をよj)で保護キャップの上に形
成するという制限を受1ノでいたのを、この発明では保
護キャップにはガス拡散孔を設けないので、ヒータ回路
パターンに何等の制限も受けることなく形成させること
がてきる。
第1図および第2図はこの発明の限界電流式ガス濃度セ
ンサの異なる実施例を示す側面断面図、第3図および第
4図は従来の限界電流式ガス濃度センサの異なる実施例
を示す側面断面図である。 11、2,1.3 +、4+、固体電解質板、+2A。 12B、22Δ、22B、32A、32B、42A、4
2B、多孔質電極、13.23.34.ガス拡散孔、1
4.33.保護キャップ、I5.35;封着材、16.
36;ガス拡散空間、24.43、多孔質焼成体、25
.ガラス塗布層、4イ微細クラツクを有するガラス塗布
層。
ンサの異なる実施例を示す側面断面図、第3図および第
4図は従来の限界電流式ガス濃度センサの異なる実施例
を示す側面断面図である。 11、2,1.3 +、4+、固体電解質板、+2A。 12B、22Δ、22B、32A、32B、42A、4
2B、多孔質電極、13.23.34.ガス拡散孔、1
4.33.保護キャップ、I5.35;封着材、16.
36;ガス拡散空間、24.43、多孔質焼成体、25
.ガラス塗布層、4イ微細クラツクを有するガラス塗布
層。
Claims (1)
- 所定ガスのイオン伝導性を有する固体電解質板の両面に
多孔質電極が形成され、その片面に上記電極を覆つて、
ガス拡散空間を有する保護キャップが封着されてなる限
界電流式ガス濃度センサにおいて、センサの外部雰囲気
と上記ガス拡散空間とを連通するガス拡散孔が上記固体
電解質板に設けられてなることを特徴とする限界電流式
ガス濃度センサ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63275719A JPH0814566B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 限界電流式ガス濃度センサ |
| EP89111786A EP0366863B1 (en) | 1988-10-31 | 1989-06-28 | An oxygen sensor device |
| DE68917856T DE68917856T2 (de) | 1988-10-31 | 1989-06-28 | Sauerstoffsensorvorrichtung. |
| AU37144/89A AU614392B2 (en) | 1988-10-31 | 1989-06-28 | An oxygen sensor device |
| CA000604647A CA1308781C (en) | 1988-10-31 | 1989-07-04 | Oxygen sensor device |
| US07/747,411 US5178744A (en) | 1988-10-31 | 1991-08-19 | Oxygen sensor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63275719A JPH0814566B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 限界電流式ガス濃度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02122252A true JPH02122252A (ja) | 1990-05-09 |
| JPH0814566B2 JPH0814566B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=17559425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63275719A Expired - Lifetime JPH0814566B2 (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | 限界電流式ガス濃度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814566B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62294957A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 酸素センサ素子 |
| JPS6478148A (en) * | 1987-09-19 | 1989-03-23 | Riken Kk | Oxygen sensor |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP63275719A patent/JPH0814566B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62294957A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 酸素センサ素子 |
| JPS6478148A (en) * | 1987-09-19 | 1989-03-23 | Riken Kk | Oxygen sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0814566B2 (ja) | 1996-02-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8591712B2 (en) | Gas sensor element and gas sensor | |
| JPS5824855A (ja) | 酸素濃度検出器 | |
| JPS61108953A (ja) | セラミツクスを用いたセンサ素子の電気的接続端子 | |
| JPH07209246A (ja) | ガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサおよびその製造方法 | |
| JPH08122287A (ja) | ガス成分の濃度の測定装置および方法 | |
| JPS6015549A (ja) | 抵抗測定フイ−ラ | |
| JPH01201149A (ja) | 複合ガスセンサ | |
| JP2005520766A (ja) | 絶縁材料およびガスセンサ | |
| JP2810779B2 (ja) | 容量式薄膜湿度センサおよびその製造方法 | |
| JPH028208Y2 (ja) | ||
| JPH0814566B2 (ja) | 限界電流式ガス濃度センサ | |
| JPS60171450A (ja) | 燃焼機器用安全検出装置 | |
| JPS6311644Y2 (ja) | ||
| JPH0532765Y2 (ja) | ||
| JPH01219662A (ja) | 酸素検出素子の製造方法 | |
| JP2513234B2 (ja) | 酸素濃度検出器の製造方法 | |
| JPH02232555A (ja) | 酸素センサ | |
| JPH0326451Y2 (ja) | ||
| JP2643409B2 (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
| JPH02126150A (ja) | 酸素センサ | |
| JP2514591B2 (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
| JPH02201257A (ja) | 酸素センサ | |
| JPH06242067A (ja) | 限界電流式酸素センサ及びその製造方法 | |
| JPH0743342A (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
| JPH02198353A (ja) | 酸素センサ |