JPH02124417A - 位置誤差を決定し修正する方法及び装置 - Google Patents

位置誤差を決定し修正する方法及び装置

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JPH02124417A
JPH02124417A JP1038154A JP3815489A JPH02124417A JP H02124417 A JPH02124417 A JP H02124417A JP 1038154 A JP1038154 A JP 1038154A JP 3815489 A JP3815489 A JP 3815489A JP H02124417 A JPH02124417 A JP H02124417A
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JP1038154A
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Bo Soederberg
ボ　ソーデルベルグ
Bo Pettersson
ボ　ペッターソン
Ulf Hoecke
ウルフ　ホーツケ
Ambjoern Naeve
アムブヨルン　ナエベ
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CE Johansson AB
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば直角座標系のような特定の座標系で位
置が定められる状態の下で、空間内のポイント位置を測
定する場合や、空間内の特定位ｙｔのポイントに位置決
めする場合に発生する位置誤差を決定し補正するための
方法であって、複数の測定値を少なくと＋）１つの基準
値と比較し、この比較に暴づいて修正値を決定する段階
を含む前記方法に関する。
本発明は又、上記方法を実施する装置にも関する。
従来の技術 製造機械、測定装置及び同様な補助機械のような技術的
な補助装置を使用り−る１合には、極めて正確に空間内
にポイントをｆ１７置決めし、或いは空間内のポイント
の位置を決定することがしばしば必要となる。
「空間」はここでは３次元的な位置を意味している。又
、ここではこの用語は、必ずし６そうでないが通常は互
いに角度をなす３つの？＠標軸に関係する体梢容吊に係
わるものと古うことができる。
更に又、ここで使用されている誤差なる用珀はデビエー
ション即らズレも含めて意味される。
それ故に空間内のポイントの位置は、基準ポイント（原
点）に於て互いに直角な座標軸＜ｘ、ｙ。
Ｚ）に関して説明されるか、或いは極座標もしくはその
他の幾つかの変形座標に関して説明されることができる
。以下の説明は殆どが互いに直角な座標系のみを参照し
て与えられる。しかし、本発明は容易に理解できるよう
に他の形式の座標系、例えば１輪又はそれ以上の数の軸
に極座標が使用された座標系、に適用できることは理解
されるであろう。
空間内でのポイントの位置を決定し又は測定づる場合、
或いは空間内の与えられたポイントに位置決めする場合
には、長手刀向即ち座標軸に沿って高度の精度を必要と
することに加えて、ポイントの決定が直角座標系に於て
正しく行われるように各軸がｑいに対して正確に９０°
の角度で位置されることが必要となる。９０°の角度か
らズしていると、座標の読みや記録に三角法的な誤差を
生じることになる。純粋な角度の誤差に加えて、座標軸
の長手方向に於る回転誤差のようなそれ以外の形式の誤
差も生じることになる。
原理的に、例えばいわゆる座標測定機は測定プローブを
含んでいる。このプローブは、３つの互いに直角なＰｌ
！標軸ｘ、ｙ、ｚに沿って空間内で望まれるあらゆる位
置へ移動されることができる。
このプローブの位ｌは、ｘ、ｙ、ｚ座標に圓して、それ
に沿って備えられているスケール即ち目盛の助けを借り
て与えることができる１、この形式の座標系の場合には
、１つの鴫の角度ピッｉ・に誤差があると、３つの軸線
全てによる値に誤ｔを生じてしまうことになるのである
。
実際に、この種の誤差は各軸に圓する幾何学的な３つの
平面に於て３軸の全てに１０１時に発生すると見做され
た。この結果、これらの漬Ｘによる影響を最小限に抑え
るためには、ごれらの座標軸のηいに対する角度位纜を
極めて厳密に正確に調整しなければならないのである。
これに斐する作業はｎｒ！１に多くを要求されると共に
時間が掛かることから、座標軸の相η位置を機械的に調
整する必要性を無くし、この機械的な手順に代えて何等
かの方式の較正手段で代用することが望まれるのである
。
これを達成するための試みがなされてきた。これらは、
個々の誤差、例えばＸ軸、ｙ軸及びＺ軸の角度誤差及び
位置誤差、を別々に測定することｒ行われてきた。
この測定方法は多数の修正ファクターを与える。
これらの修正ファクターは、適当に作成されたデータプ
ログラムの助けによって、得られた測定値を修正するの
に使用することができるのである。
この７Ｊ払は木質的に全体的に経験的であって、角度基
準として承認された測定機器、レーデ−測定機器等の装
面を必要とするという大きな欠点を有している。このよ
うな測定は機械使用菌の側でしばしば実施されているの
で、このことは高張る大きな、敏感で口つ高価な測定機
器が、必要とされる場所へ搬入され又そこから搬出され
ねばならないことを意味するのである。
基準を使用する方法は当技術分野で知られている。これ
に於ては、既知の基準値が個別の測定手順に関して見出
され、測定値と比較される。この場合、個々の測定手順
は複数の測定手順によって構成される。例えば、球面基
準に基づく測定のような測定手順を含んで構成されるの
である５、この例て・は、基準は球面の中心であり、そ
の中心位置は基準球面から多数の測定を行った後、知ら
れている数学的手法によって中心位：ｉ！ｆ　４ｒ　１
１出することにより、決定されるのである。
発明の６１１２２ この既知の方法とは別に本発明は、個々の測定値の捕準
値を使用することのない、即ちその基準値が既知でない
Ｊ：うな、方法に関する１、この代わりに基準となる既
知の幾何学的な関係状態が使用されるのである１、この
測定装置が全てに於て誤差がない場合にｔよ、この基準
によって決定された複数の集合された測定値のポイント
は基準形状と正確に同一の幾何形状を形成する。１つ又
はそれ以上の数の軸の相ｎの直角度に誤差すしくはズレ
がある場合には、その幾何形状はその関係する座標軸に
於る誤差の１法に応じて変形される。その関係する軸に
於る誤差寸法に関する情報は、既知の幾何学的関係もし
くは幾何形状と比較することによって得られるのである
。従って、本発明の方法は、測定ポイントと既知１１１
　ｔｌ　ｌａとの比較の代わりに既知の幾何形状との比
較が行われること、手順の何れに於て６１予め定めた制
御値との比較のために、個々の測定値又は測定伯の一部
分を比較することが必要とされないこと、そして、比較
が行われることによって全ての座４！２軸に於る誤差に
係わる情報が直接的に得られるということ、を特徴とし
ている。
本発明は既知の技術に付随する問題を排除】る。
例えば、チェックシスデムには固有の測定し位置決めす
る装置が元々使用されていることから、そのための付加
的な機材を搬送する必要がなくなる。
ただ簡単で比較的高の小さい基準物体が搬送されれば良
いのである。測定手順が完全に自動化されるので、簡単
な装備工程の後に、本発明の測定方法の資格のないδに
よってｂ遂行することが可能となるのである。測定手順
を完遂するに要する時間は、既知のパラメータに駐づく
測定手順を遂行する時間の僅か何分の１かで良い。
このようにして、本発明は直角座標系のような特別な座
標系の下で、空間内のポイントの位置を測定し、或いは
空間内に特定の位置を有するポイン１−に位置決めする
場合、に於て生じる位置誤差を決定し、修正する方法に
係わる。この方法は、多数の測定値と少なくと６１つの
３ｊ準値との間で比較を行う段階、及び、この比較に基
づいて修正値を決定する段階を含む。又、このｈ法Ｃは
接触式プローブ、工具ホルダー又は同様ｖｔ置のような
位置決めＩ′ＩＩ能な部材が、測定又は位１１゛コ決め
手順の間に空間内の与えられた位置へ移動されるのであ
る。
この方法は特に、既知の幾何形状もしくは幾何学関係が
基準とされること、測定値が既知の幾何形状と相関関係
（＝Ｊ　Ｇプられること、そして、この相関関係が座標
系に於る座標軸に関Ｊる修１Ｆ値を計ｎするのに使用さ
れること、を特徴とする。
本発明は又、直角座標系のような特別の座標系の手で、
空間内のポイントの位置を測定し、或いは空間内に特定
の位置を有するポイントに位置決め覆る場合、に於て生
じる位置誤差もしくはズレを決定し修正するだめの装置
で、測定及び位置決め手順の間に接触式プローブ、工具
ホルダー或いは同様装置のような位置決め装置を空間内
の与えられた位置へ移動させるための装ｄを含み、又、
多数の測定値を少なくとも１つの基準と比較して、この
比較に基づいて嬬正値を決定するための装置を含む位置
誤差もしくはズレを決定し修′ｉＦＯするための装置に
関する。
本発明の５Ａ置は特に、前記基準を構成する既知の種類
の幾何形状に従って配置された位ｙを（１“「定するた
めに位置確定装置が儀えられており、又、測定値に対す
る幾何形状の相関関係を基にして座標系の座標軸に関す
る修正値を計算するための装置が備えられていることを
特徴とする。
本発明は以下に例とする実施例を参照し、１１つ又添付
図面を参照して、詳細に説明される。
実施例の説明 第１図は座標測定機を概略的に示している１、この座標
測定機は接触式測定プローブ１を含んでいる。このプロ
ーブ１は所望される位置へ移動されることができ、又、
このプローブはｌ座標の測定軸３の自由端に取り付けら
れている。この測定軸３はハウジング４によって担持さ
れており、このハウジング４はレール５上に移動１可能
に取り付けられている１、レール５はＸＪ！様の測定＠
６を形成しＣいる。レール５は紙面に対して直角方向に
移動できるようになっていて、Ｙ座はの測定軸７を形成
するようになっている。この座標系は第１図の右側に別
に示されている。
第１図は７座標の傾ぎαを５）張して示している。
この傾きによりＸ座標及びＹ座標の両方向に於て測定に
誤差を生じることになる。
このようにし−（、測定プローブは位置を変化でき、測
定対象物体へ向けて移動され、接触されることを意図さ
れるのである。接触ポイントのそれらの座標に閃しての
位置が測定され記録される。
第２図に於て、符号８は位置確定装置を示している。こ
のＶｔ置はり準としで！！ｒ１ざヒることを意図された
既知の幾何学関係もしくは幾何形状と同−Ｕ準の位置を
生じるのに有効である。この位置確定袋Ｍ８はアーム９
を有して構成されている。
このアーム９は精密なボールカップリング１０．１１に
よって機械等のテーブル１２上の固定位置並びに機械等
の座標系に連結されている固定位譜即ら固定部品１３に
対して運動可能に軸支されている。この固定部品はこの
場合には位置決め可能な部材によつＣ構成されている。
従って、この測定ｎ等は、アーム１の長さによって許容
される位置のみ移動できるように拘束されており、これ
により位置決めされる部材と接触１Ｊるアームの端部は
、第３図及び′５４図に概略的に丞されるにうに、空間
に完全な球面を描くのである１、従って、この特別な実
施例では幾何学関係は次の通りである。
即ら、 「１　　　　＝　Ｘ　　　　−ト　ｙ　　　　４・　２
ここで、ｒは球面の半径であり、ｘ、ｙ及びＺは座標で
ある。
第５図及び第６図は位置確定装置の他の実施例を示して
いる。この［２は本質的に既知の方式のものであり、支
柱とされたスタンド１４を含んでいる。このスタンド１
４は測定機のテープ上に置かれるように意図されており
、又、アーム１５を相持するように意図されている。こ
のアームは枢ａｔｉｉに極めて正確に取り付けられてお
り、又、一端に二股ｔＩＩｓ１６を有している。この二
股部１６は例えば図面に概略的に丞されたようにボール
を備えた測定プローブと協＃！ｌづるように意図されて
いる。アーム１５はプローブによって運動されるよ゛）
に構成されており、又、接触装置１７を有している。こ
の接触装置１７に対してプローブのボール或いは同様装
置が移動して、位置を検出できるように意図されている
。この位置確定ｉｉ！ｉ置すまた球面上にＤつ上述の幾
何学関係でもって位置を確定するのである。又、この位
置確定装置は、測定すべき位置の間を移動されるときに
、この測定プローブ及び同様装置が球面に沿って移動さ
れる必要はなく、例えば１線的に変位できるという利点
を有している。このような動きは測定プローブをアーム
１５が接触装置１７に接触されて停止される。
修正値を計重して（ｑるためには１つの幾何学関係もし
くは幾何形状をもって十分である。修正の基礎に於て著
しい１ＥＩａさを達成するためには、少なくとも２つの
相互に異なる幾何学関係もしくは幾何形状を形成するた
めに、複数の位置確定装置が使用される。この柵の、第
２図、第５図及び第６図に概略的に示す装置に於ては、
このことは幾つかのアームが使用され、これらのアーム
はｎいに良さが相違して、異なる半径の球面を形成する
ようになされることを意味しているのである１゜特に、
本発明の１つの実施例によれば、適当り種類のコンピュ
ータとされた装置が見出されている。これらは、既知の
幾何学関係もしくは既知の幾何形状によって配置された
複数の測定ポイントを記録すること、及び、測定値に対
する予め定めた値の相関性の助けを借りてそれぞれの軸
に関する修正値を計算すること、に於て有効である。
このような装置、即ちコンピュータ、はＨＩ　Ｒした修
正値を保存するためにメモリーユニットを有しているこ
とが好ましい。
測定機及び同様装置の場合は、計算した修正値にも（づ
いて位置に関する値を好ましくは自動的に修１１ｖるよ
うに構成された記録及び演算ユニットを向えていること
が好ましい。
与えられたポイントに対して位置決めすることが望まれ
る装置αの場合には、位置決めｌ［１ｌｌｌｉｌ信号を
好ましくは自動的に修正するための記録及び演算ユニッ
トを備えていることが好ましい。このような修正手順は
計算された修正値に塁づいて行われるのである。
本発明の方法及び本発明の装置に於る作動が上述から基
本に於て全【理解されたであろう。
好ましく番よ、上述した球面の幾何学関係もしくは幾何
形状のような既知の幾何学関係に従って配置された複数
の位置に関する測定を実施し、しかる掛、座標値Ｘ　ｒ
　、　　ｌ　、　Ｚ　Ｌの関連する議定値によって得ら
れる幾何学関係を、同じ数学的モデルの既知の幾何学関
係と数学的な解析によって比較すると、３次元的な誤差
マトリックスが得られるのである。この誤差マトリック
スは３つの座標軸の全てにより影響される各個の誤差を
含むのであり、座標値は予め定めた３次元の関係による
別別のｘｌｙ及びＺの値の複数の異なる組み合わせを含
む。
この必須の修正ファクターは適当な数学的手法の助けを
借りて計陣することができる。この誤差は従って各測定
ポイントにｌして複数の７トリツクス方程式を組み込ん
だあ鐸に於て上記幾何学関係との比較によって、座標系
の基準、即ち、ｘｌｙ及び２の座標、に関して汰き出し
て、分＃　ｉＪることができる。コンピュータのメモリ
ーにこれらの修正値を保存ｙることによってこれらの庵
正データは、基準物体である位ｉｔ！ｆ確定装置の容積
（ｖｏｌｕｍｅ）の内外両側に位置する測定値を、自動
的に修正するのに使用口Ｉ能となるのである１゜第１の
段階は各種の座標軸の間の角ｒ′＃、誤差のような線形
誤差に１則する修正ファクターをコンパイルする段階で
ある。しかしながら、例えば軸に沿うガイドに於て歪み
や曲がりがある結果として、非線形誤差も生じる。これ
らの非線形誤差も、例えば基準対象面ｒの複数の測定値
を作ることによって較正できるのである。位置確定装置
の設定位置が別の測定手順の間に移動されるのである。
上述から、本発明は既知技術に比較して重大なる利点を
与えることが理解されよう。修正ファクターはこのよう
にして、基礎的な測定及び／又はチエツク制御された装
置ぐある位置決め装置の助けを借りて容易且つ迅速にコ
ンパイルされることができるのである。比較的制限され
た数の測定が行われ、計算は装置自体のコンピュータに
よってこの場合には比較的短時間で遂行される。
本発明は、その例とする実ＩＮ例を参照して説明されて
きた。しかしながら、その曲の実施例や多少の変更が本
発明の概念から逸＋ｉＩ２撲ることなくなされ得ること
は理解されよう。
ざ１達した位置が既知の幾何形状にＪ、って配置される
場合には、球面以外の多くのその伯の幾何形状が１１１
　考できる。幾何形状の形式に係わる知識は必要である
が、何れの幾何形状ら明白に知られでいる必要はない。
２つ又はそれ以上の数の異なるｌｌ椋系が１つのより大
きな共通の座標系の一部として使用される場合には、部
分系を正確に座標合わせすることが必要となる。これに
関して、本発明は基準系に関（る様々な座標系の配向を
学ぶことが望まれる場合に、適用できる。この場合、こ
の測定手順は様様な座標系で同じ位置確定装置に対して
遂行できるのである。１つの使用例に於ては、２つ又は
それ以上の数の座標測定機が一緒に連結されて１つの大
きな共通の測定容積を得るようになされる。
或いは、大きな構成詮索を同時に機械加Ｔ、？Ｊるよう
に意図された多数のミル機械を形成するようになされる
のである。
測定機械等に元々繊わっている固有のシステムが、測定
プローブのような位置決め１可能な部材を適当な位置に
間層して測定値を得たり、或いは、適当な位ηを確定す
るために使用できる。これに関して、事前に１０グラム
された動きのパターンを得ることができ、それと共に、
測定手順を完全に自動化するようになすことができる１
、測定ポイントの密度も又、計算によって要求された必
ａ事瑣に容易に適用することができるのである。幾つか
の異なる半径の球面が使用される球面関係状態の場合に
は、球面半径に関係なく同じ測定ポイントの密度を実際
的に使用できることが見出されている。
乙えられることとして、又、多くの場合に好ましいとさ
れることとして、測定機械等の容積を小さな容積ブロッ
クに分割し、又、各ブロックに関する修正値を決定する
ことＣある。各ブ［１ツクは別々に監視される。これは
、幾つかの機械等が関連させて使用されている場合に、
ブロックが属する機械等に拘わらずに適用できる９、 それ故に、本発明は１達した実施例に限定されるように
考えられてはならないのである１、何故ならば、特許請
求の範囲の欄に記載された本発明の範囲に含まれる範囲
で変更をなし得るからである。。
【図面の簡単な説明】
第１図は、ｙ座標の測定軸の方向に見た座ＪＲＩＲ定機
の概略図。 第２図は、本発明の装置と共に使用される位置確定装置
の第１実施例の概略図。 第３図は、実質的に第２図による装置によって形成され
た球面を示す概略図。 第４図は、第３図で上方から児た第３図の平面図。 第５図は、本発明の装置と共に使用される位置確定ｖｔ
置の第２実施例の概略図。 第６図は、第５図に示した装置の端部に対重る測定を示
す概略図。 １・・・プローブ、３．６．７・・・測定軸、４・・・
ハ・クジング、５・・・レール、８・・・位置確定装置
、９・・・アーム、１２・・・テーブル、１３・・・固
定部分、１４・・・スタンド、１５・・・アーム、１６
・・・二股部、１７・・・接触装置。

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）直角座標系のような特別の座標系の下で、空間内
    のポイントの位置を測定し、或いは空間内に特定の位置
    を有するポイントに位置決めする場合、に於て生じる位
    置誤差を決定し修正するための方法で、多数の測定値を
    少なくとも１つの基準値と比較し、この比較に基づいて
    修正量を決定して、このような測定及び決定の手順の間
    に接触式プローブ、工具ホルダー或いは対応装置のよう
    な位置決め可能な部材を空間内の与えられた位置へ移動
    させる段階を含む位置誤差を決定し修正するための方法
    であつて、前記基準が既知の種類の幾何形状であり、又
    、座標系の座標軸（３、６、７）に関する修正値を計算
    するのに相互関係が使用されることを特徴とする位置誤
    差を決定し修正する方法。
  2. （２）前記修正が、異なる座標軸の間の角度誤差もしく
    はズレのような線形の誤差もしくはズレに関して行われ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の方法
    。
  3. （３）線形誤差又は非線形誤差が前記修正に基づいて作
    られ、非線形誤差もしくはズレに関する修正値を決定す
    る目的のために幾つかの幾何形状が使用され、これらの
    異なる幾何形状に於る相違が測定値に於る非線形誤差も
    しくはズレの影響を検出することを可能にするようにな
    されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
    第２項の何れかに記載の方法。
  4. （４）少なくとも２つの幾何形状が使用されることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項から第３項迄の何れか１
    項に記載の方法。
  5. （５）幾何形状が球面であることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項から第４項迄の何れか１項に記載の方法。
  6. （６）幾何形状が位置確定装置（８、１４、１５）の助
    けを借りて得られるようになつており、この位置確定装
    置に対して測定値が決定され、又、この確定装置は幾つ
    かの位置へ位置できるようになされていることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項から第５項迄の何れか１項に
    記載の方法。
  7. （７）計算された修正値がメモリーユニットに保存され
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第６項迄
    の何れか１項に記載の方法。
  8. （８）位置の測定値が計算された修正値に基づいて好ま
    しくは自動的に修正されることを特徴とする特許請求の
    範囲第１項から第７項迄の何れか１項に記載の方法。
  9. （９）空間内の与えられたポイントに位置させるときに
    、制御信号が計算された修正値に基づいて好ましくは自
    動的に修正されることを特徴とする特許請求の範囲第１
    項から第８項迄の何れか１項に記載の方法。
  10. （１０）より大きな共通の座標系の一部として意図され
    た２つ又はそれ以上の数の座標系が、前記異なる座標系
    に関して同じ幾何形状を使用することで相互に適用され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第９
    項迄の何れか１項に記載の方法。
  11. （１１）直角座標系のような特別の座標系の下で、空間
    内のポイントの位置を測定し、或いは空間内に特定の位
    置を有するポンイトに位置決めする場合、に於て生じる
    位置誤差もしくはズレを決定し修正するための装置で、
    測定及び位置決め手順の間に接触式プローブ、工具ホル
    ダー或いは同様装置のような位置決め装置を空間内の与
    えられた位置へ移動させるための装置を含み、又、多数
    の測定値を少なくとも１つの基準と比較して、この比較
    に基づいて修正値を決定するための装置を含む位置誤差
    もしくはズレを決定し修正するための装置であつて、前
    記基準を構成する既知の種類の幾何形状によつて配置さ
    れた位置を確定するために位置確定装置（８、１４、１
    ５）が備えられており、又、測定値に対する幾何形状の
    相関関係の助けを借りて座標系の座標軸（３、６、７）
    に関する修正値を計算するための装置が備えられている
    ことを特徴とする位置誤差を決定し修正する装置。
  12. （１２）前記修正値が、異なる座標軸（３、６、７）の
    間の角度誤差やズレのような線形の誤差もしくはズレを
    基礎とするように意図されていることを特徴とする特許
    請求の範囲第１１項に記載の装置。
  13. （１３）修正値が線形の誤差もしくはズレ及び非線形の
    誤差もしくはズレを基礎とするように意図されており、
    これと共に、非線形の誤差もしくはズレに関する修正値
    が幾つかの幾何形状を使用して決定されるようになつて
    おり、これらの幾何形状の間の相違が前記一定値に於る
    非線形誤差もしくはズレの影響を検出可能にするように
    なつていることを特徴とする特許請求の範囲第１１項又
    は第１２項の何れかに記載の装置。
  14. （１４）位置確定装置（８、１４、１５）が少なくとも
    ２つの互いに相違する幾何形状との係合に於て有効とさ
    れることを特徴とする特許請求の範囲第１１項から第１
    ３項迄の何れか１項に記載の装置。
  15. （１５）前記幾何形状が球面に相当することを特徴とす
    る特許請求の範囲第１１項から第１４項迄の何れか１項
    に記載の装置。
  16. （１６）位置確定装置（８、１４、１５）が測定アーム
    （９、１５）を含み、該アームの第１部分が軸支部に対
    して枢動可能に取り付けられ、該軸支部は測定手順の間
    にはテーブル（１２）、スタンド或いは同様な構造部に
    対して固定されるようになつており、又、第１部分から
    離れた該アームの第２部分（１１、１７）が位置決め可
    能な部材（１、１３）と協働して枢動するように意図さ
    れていて、１つの同じ球面上に位置を定めることができ
    るようになされていることを特徴とする特許請求の範囲
    第１１項から第１５項迄の何れか１項に記載の装置。
  17. （１７）計算した修正値を保存するためのメモリーユニ
    ットを備えていることを特徴とする特許請求の範囲第１
    １項から第１６項迄の何れか１項に記載の装置。
  18. （１８）計算された修正値に基づいて好ましくは自動的
    に位置測定値を修正するための装置を備えていることを
    特徴とする特許請求の範囲第１１項から第１７項迄の何
    れか１項に記載の装置。
  19. （１９）与えられたポイントに位置決めされるときに、
    好ましくは自動的に制御信号を修正するための装置が備
    えられていて、この修正は計算された修正値に基づいて
    行われるようになつていることを特徴とする特許請求の
    範囲第１１項から第１８項迄の何れか１項に記載の装置
    。
  20. （２０）１つの大きな共通の座標系の一部として使用さ
    れるように意図され構成された２つ又はそれ以上の数の
    座標系が、全ての座標系に関して同じ幾何形状を使用す
    ることによつて相互に適用できるように意図されている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１１項から第１９項
    迄の何れか１項に記載の装置。
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