JPH02124618A - Ｓａｗ共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分骨］ 本発明は圧電体平板上に電極を形成してなるＳＡＹ共振
子に関する。

［従来の技ＷＩ］ 従来のＳＡＷ共振子の電極配置の一実施例を第２図に示
す。図中各部位の名称は、２００は圧電体平板で、水晶
、リチウムタンタレート等の圧電材料よりなる。圧電平
板上に形成された導体２０１．２０２は外部引出電極端
子部、２０６，２０７は外部引出電極端子部に接続する
バスバー導体、破線で囲った２０４はくし歯状励振電極
、さらに２０５，２０５は導体で形成された反射電極で
ある。前記全構成電極は圧電体平板１００の片側の面に
形成されている。ＳＡＷ共振子の主役となるレーリー型
表面波は２０４の励振電極で圧電体平板の表面に極めて
極在して発生せられその波面は励振電極の交叉する指２
０９の長手方向に平行である。前記励振電極部で発生し
たレーリー型表面波は交叉する指２０９に直交する方向
の両側に向って伝播して２０５，２０４の反射電極の作
り出す音場の周期的摂動効果によりほぼ全反射される。

その結果、励振電極部２０４でレーリー型表面波の振幅
が大きく反射電極側に向って減衰するキャビティ型共振
器が実現する。又第２図中２０８はレーリー型表面波の
幅方向変位分布を示すものである。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、前述の従来技術に於てはレーリー型表面波の幅
方向の変位分布２０８のすそが交叉する指の幅ｔより太
き（２０６，２０７のバスバー導体にかかるため共振特
性が劣化したり、前記すそがかからないようにするため
には逆に交叉する指の長さｔを短かくしてレーリー型表
面波の幅方向の存在領域なせばめなければならず、結果
としてＳＡＷ共振子の直列共振抵抗を増加させるという
問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を解
決するもので、その目的とするところは、小型でかつ直
列共振抵抗の小さいＳＡＷ共振子を市場に提供すること
にある。

［課題を解決するための手段］ 本発明のＳＡＷ共振子は次の各項を特徴とする１）圧電
体平板の表面上にくし歯状励振電極と反射電極を形成し
てなるＳＡＷ共振子に於て、前記励振電極と外部引出電
極端子部とを接続するバスバー導体が、前記圧電体平板
の少なくとも側面に形成されていること。

２）第１項記載のくし歯状電極を、前記圧電体平板の表
裏に形成したうえで、前記圧電体平板の少くとも側面に
形成されたバスバー導体を介して接続したこと。

３）第１項記載の圧電体平板の外形加工を化学的エツチ
ング加工により形成したこと。

［実施例］ 第１図は本発明ＳＡＷ共振子の実施例における斜視図で
あって、図中各部位の名称は、１００は圧電体平板、１
０Ｂは圧電体平板の片側の表面、１０１．１０２は表面
１０８上に形成された外部引出電極端子部、１０３と１
０４は圧電体平板１００の側面に形成されたバスバー電
極である。さらに破線で囲った範囲１０６は励振電極、
１０５と１０７は反射電極である。前記バスバー導体の
一部は圧電体平板の表面部にも存在する。次に第３図に
本発明の他の実施例を示す。第３図は圧電体平板上に形
成された電極導体の展開図であり図中破線で囲まれた３
０１が圧電体平板上の表面、３０２は裏面、３０１と３
０！ｌは圧電体平板上の側面である。記述が遅れたが、
前記電極導体はＡｕ、Ａｇ、Ｏｒ、Ａｔ等の金属材料を
蒸着及びスパッタにより圧電体平面上に形成したもので
ある。第６図中５０１，３０５が本発明のバスバー導体
で゛ある。第３図が第１図と異なる点はＳＡＷ共振子が
圧電体平板の表裏に構成されていることである。第１図
、第３図にみられる通り本発明のバスバー導体は圧電体
平板の少なくとも側面及び表裏面にわずかかかる状態で
構成でき圧電体平板の表裏面のレーリー型表面波の振動
範囲を広くとれる。たとえば第３図の場合には表裏面を
使用しているため約２倍の振動範囲を確保できる。さら
に第６図の通り圧電体平板の表裏に形成されたＳＡＷ共
振子を側面に形成したバスバー導体により容易に接続で
きる。

次に第４図に第１図又は第３図圧電体平板を組立てたＳ
ＡＷ共振子の組立図を示す。図中、４０４は電極形成後
の圧電体平板、４０２は気密端子４０１と４０３は気密
端子４０２の各々外と内のリード端子部材である。４０
３と４０４とは第１及び第３図の外部引出電極端子部に
於て半田及び導電ペースト等の固着部材により導通固定
されている。又、破線４０５は圧電体平板４０４が外力
等により変位した状態であり０は静止位置と変位時の板
面接線のなす角である。さらに第５図は第１図ＳＡＷ共
振子の前記０に対するＳＡＷ共振子の共振周波数ｆ、の
関係を示す特性図であり、図中のｆ。が前記静止位置の
共振周波数％／１１／２は０の正及び負の特定値に於る
、共振周波数である。−吉事５図ＳＡＷ共振子の場合に
は圧電体平板の表裏にＳＡＷ共振子が形成されたうえに
並列接続されているので、圧電体平板が変位０の変形を
受けた際にも、全体としての共振周波数Ｆは？　”　（
／　ｓ　＋　／　２）　／　２　＝　／　ｏ　となって
静止時の共振周波数と同一の一定値のままであることが
証明できる。以上に述べた圧電体平板の外形加工につい
て次に述べる。圧電体平板は片面研摩後の圧電体ウェハ
ーを機械的にカッターで切断することによってもできる
。但しこの場合には側面と表面とのコーナにチッピング
等が発生し易い。特に水晶の場合には通常腕時計用音叉
型水晶振動子に使用されているフッ酸等の化学液による
エツチング加工が行なわれている。この場合の加工面は
化学的腐食加工であるためにキズ及びチッピングの発生
はない。

本発明の第３図のような圧７電体平板の両面にＳＡＷ共
振子を形成する場合には、両面研摩した後、化学的エツ
チング加工により外形を形成しさらに圧電体平板１００
の側面に導体を形成すると、極めて良質なバスバー導体
が構成できることになる。殊に水晶のＳＴカットは圧電
体平板の両方縁方位が水晶の２軸から４２．５０であり
充分化学的腐食加工が可能な角度である。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、圧電体平板の側面に
励振電極と外部引出電極端子とを接続するバスバー導体
の主要部が形成されるために、圧電体平板９表面上のレ
ーリー型表面波の存在領域が広くとれるために良好な直
列共振抵抗が得られる他、圧電体平板の表裏にＳＡＷ共
振子を構成し側面のバスバー導体で接続すれば表面波の
存在領域は著しく広くなり、通常特性を得ようとすれば
圧電体平板の幅寸法を格段に小さくすることができ一層
の小型化が可能となる。さらに圧電体平板を化学的に腐
食加工した後に側面にバスバー導体を形成することは容
易であり、コストダウンが可能となる。ざらに又、圧電
体平板の表裏面にＳＡＷ共振子を形成した場合外力に対
する振動に対して共振周波数が安定であることから今後
多大の利益が期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のＳＡＷ共振子の一実施例を示す斜視図
。第２図は従来のＳＡＷ共振子の一実施例を示す平面図
。第６図は本発明のＳＡＷ共振子の他の実施例に於る電
極構成の展開図である。第４図はＳＡＷ共振子の組立図
。第５図は特性図である。 １００・・・・・・・・・・・・・・・圧電体平板１０
５．１０４・・・バスバー導体 １０６・・・・・・・・・・・・・・・励振電極１０５
．１０７・・・反射電極 以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）圧電体平板の表面上にくし歯状励振電極と反射電
   極を形成してなるＳＡＷ共振子に於て、前記励振電極と
   外部引出電極端子部とを接続するバスバー導体が、前記
   圧電体平板の少なくとも側面に形成されていることを特
   徴とするＳＡＷ共振子（２）第１項記載のくし歯状電極
   を、前記圧電体平板の表裏に形成したうえで、前記圧電
   体平板の少くとも側面に形成されたバスバー導体を介し
   て接続したことを特徴とするＳＡＷ共振子。 （３）第１項記載の圧電体平板の外形加工を化学的エッ
   チング加工により形成したことを特徴とするＳＡＷ共振
   子。