JPH0212668B2 - - Google Patents

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JPH0212668B2
JPH0212668B2 JP9028083A JP9028083A JPH0212668B2 JP H0212668 B2 JPH0212668 B2 JP H0212668B2 JP 9028083 A JP9028083 A JP 9028083A JP 9028083 A JP9028083 A JP 9028083A JP H0212668 B2 JPH0212668 B2 JP H0212668B2
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JP
Japan
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vacuum furnace
heating chamber
magnesium
cooling medium
valve
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Application number
JP9028083A
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Japanese (ja)
Other versions
JPS59215269A (en
Inventor
Shuichi Okabe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
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Publication date
Application filed by Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd filed Critical Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
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Publication of JPS59215269A publication Critical patent/JPS59215269A/en
Publication of JPH0212668B2 publication Critical patent/JPH0212668B2/ja
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/008Soldering within a furnace

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばアルミニウム製品のろう付処
理を行う場合に用いられる真空炉装置に関するも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum furnace apparatus used, for example, in brazing aluminum products.

一般に熱交換器等のアルミニウム製品のろう付
処理を行うための真空炉装置においては、ろう付
に用いられる金属の酸化を防止するために高い真
空度が要求されることから、真空炉体の空気を真
空を真空ポンプにより排気することの他に、酸素
除去物質、例えばマグネシウムを燃焼させること
により真空炉体内に残留する酸素の除去を行うよ
うにしている。このような残留酸素の除去は次の
ようにして行われる。即ち、予めマグネシウムを
含むアルミニウム合金により被覆したアルミニウ
ム製品を真空炉体内に搬入して加熱すると、マグ
ネシウムの温度が約550℃以上になつたときにマ
グネシウムが気化して気体分子として真空炉体内
を飛びまわる。そしてこれが残留酸素と結合する
ことにより酸化マグネシウムに変化し、以つて残
留酸素の除去が行われる。
In general, vacuum furnace equipment for brazing aluminum products such as heat exchangers requires a high degree of vacuum to prevent oxidation of the metal used for brazing. In addition to evacuating the vacuum using a vacuum pump, oxygen remaining in the vacuum furnace is removed by burning an oxygen-removing substance, such as magnesium. Such residual oxygen removal is performed as follows. In other words, when an aluminum product coated with an aluminum alloy containing magnesium is brought into a vacuum furnace and heated, when the temperature of the magnesium reaches approximately 550°C or higher, the magnesium vaporizes and flies around the vacuum furnace as gas molecules. . When this is combined with residual oxygen, it is converted into magnesium oxide, and the residual oxygen is removed.

ところでマグネシウムを燃焼させる方法におい
ては、残留酸素の除去により高い真空度を得るこ
とができるが、気化されたマグネシウム或いは酸
化マグネシウムが約400℃以下の温度になると固
化し始めることから、約400℃以下の物体に当る
とその表面に付着堆積するようになる。このため
ろう付処理(ろう付処理の温度は約580℃であ
る。)が終了し、真空状態を維持したままで放置
冷却を始めたり、或いは循環フアン等により不活
性ガスを真空炉体内に導入させて強制冷却を始め
たりすると、マグネシウム或いは酸化マグネシウ
ム(以下これらを総称して単に「マグネシウム」
という。)は真空炉体内の低温化した部分(温度
約400℃以下の部分)に付着堆積するようになつ
て次のような問題を生じる。即ちマグネシウムが
真空炉体内の電気絶縁材表面に付着すると漏電の
原因になるし、また真空炉体内に加熱室が別途形
成されていて当該加熱室内に被加熱処理物を台車
により搬入するようなものについては、台車と加
熱室の壁との隙間にマグネシウムが固着し、これ
により台車を加熱室の外に搬出することが困難に
なる等の問題が生じる。またマグネシウムは真空
炉体或いは加熱室の冷却に伴いこれらの内壁に付
着するようになるが、付着したマグネシウムの除
去を怠つた場合には、真空炉体の扉を開放したと
きにマグネシウムが大気中の水分を吸収するよう
になる。このため次に扉を閉じて真空ポンプによ
り排気を行つたときに、高真空状態に至るまでの
排気時間が長いものとなつてしまい、操業性が低
下するようになる。一方一回の操業が終る度毎に
内壁に付着したマグネシウムを除去することは、
特に真空炉体或いは加熱室が大きい場合には、多
くの労力と時間とを必要とし、これによりランニ
ングコストの増大と操業性の低下を招くことにな
る。更に真空炉体内に作業員が入つて清掃作業を
行うことは、マグネシウムが着火性の物質である
ことから危険であるし、その上マグネシウムの粉
塵により健康を害するおそれもある。
By the way, in the method of burning magnesium, a high degree of vacuum can be obtained by removing residual oxygen, but since vaporized magnesium or magnesium oxide begins to solidify at a temperature of about 400°C or below, When it hits an object, it becomes deposited on its surface. For this reason, after the brazing process (the temperature of the brazing process is approximately 580℃) is completed, cooling may be started while maintaining the vacuum state, or inert gas may be introduced into the vacuum furnace using a circulation fan, etc. When forced cooling is started, magnesium or magnesium oxide (hereinafter collectively referred to simply as ``magnesium'')
That's what it means. ) begins to adhere and accumulate in the low-temperature parts of the vacuum furnace (parts with a temperature of about 400°C or less), causing the following problems. In other words, if magnesium adheres to the surface of the electrical insulating material inside the vacuum furnace, it will cause electrical leakage.Also, a heating chamber is formed separately in the vacuum furnace, and the object to be heated is carried into the heating chamber by a trolley. In this case, problems such as magnesium sticking to the gap between the cart and the wall of the heating chamber arise, such as making it difficult to carry the cart out of the heating chamber. Magnesium will also adhere to the inner walls of the vacuum furnace body or heating chamber as they cool down, but if the adhering magnesium is not removed, magnesium will be released into the atmosphere when the door of the vacuum furnace body is opened. It begins to absorb water. For this reason, the next time the door is closed and the vacuum pump is used to evacuate, it takes a long time to reach a high vacuum state, which reduces operability. On the other hand, removing magnesium adhering to the inner wall after each operation is
Particularly when the vacuum furnace body or heating chamber is large, much labor and time are required, resulting in increased running costs and decreased operability. Furthermore, it is dangerous for workers to enter the vacuum furnace to perform cleaning work because magnesium is an ignitable substance, and furthermore, magnesium dust may pose a health hazard.

本発明はこのような事情のもとになされたもの
であり、漏電事故等の防止を図ることができ、し
かも加熱室における酸素除去物質の除去のための
清掃作業が不要であつて操業性の向上を図ること
のできる真空炉装置を提供することを目的とする
ものである。
The present invention was made under these circumstances, and can prevent electrical leakage accidents, etc., and does not require cleaning work to remove oxygen removing substances in the heating chamber, improving operability. It is an object of the present invention to provide a vacuum furnace device that can be improved.

以下図面によつて本発明の実施例について説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は実施例に係る真空炉装置の縦断正面
図、第2図は真空炉体及び被加熱処理物の搬入の
ための機構を示す側面図である。1は円筒状の真
空炉体であり、この中の空気は排気管11を介し
て真空ポンプ12により吸引されることになる。
2は扉であり、開閉機構21により開閉される。
3はフレームに断熱材を取り付けた壁体であり、
加熱室30の上壁部及び側壁部を構成している。
31は電熱ヒータである。この例では、真空炉体
1内に被加熱処理物を搬入しまたここから取り出
すために台車4が利用され、この台車4は、真空
炉体1の中び外に夫々配置されたレール41,4
2に沿つて案内される。台車4の底板43は、台
車4が真空炉体1内に収納されたときに加熱室3
0の底壁部を成す役割をもつており、前記壁体3
と同様にフレームに断熱材を取り付けたものが用
いられる。したがつて台車4の上に載置された被
加熱処理物Mは、前記壁体3及び底板43により
囲まれた加熱室30内で加熱されることになる。
FIG. 1 is a longitudinal sectional front view of a vacuum furnace apparatus according to an embodiment, and FIG. 2 is a side view showing a vacuum furnace body and a mechanism for carrying in a material to be heated. Reference numeral 1 denotes a cylindrical vacuum furnace body, and air therein is sucked through an exhaust pipe 11 by a vacuum pump 12.
2 is a door, which is opened and closed by an opening/closing mechanism 21;
3 is a wall with insulation material attached to the frame;
It constitutes an upper wall part and a side wall part of the heating chamber 30.
31 is an electric heater. In this example, a trolley 4 is used to carry the object to be heated into and take it out from the vacuum furnace body 1, and this trolley 4 has rails 41, 4
You will be guided along 2. The bottom plate 43 of the truck 4 is attached to the heating chamber 4 when the truck 4 is housed in the vacuum furnace body 1.
0, and has the role of forming the bottom wall of the wall 3.
Similar to the above, a frame with heat insulating material attached is used. Therefore, the object to be heated M placed on the trolley 4 is heated in the heating chamber 30 surrounded by the wall 3 and the bottom plate 43.

次にこの実施例の要部について説明すると、冷
却ガス(例えば窒素ガス)或いは冷却水等の冷却
媒体を加熱室30内に導入するための冷却媒体導
入管(以下「導入管」という。)5A及び冷却媒
体を加熱室30より排出するための冷却媒体排出
管(以下「排出管」という。)5Bが各々外部か
ら真空炉体1内に突入して設けられている。真空
炉体1内における導入管5Aの一端には導入用可
撓ホース51Aが接続され、排出管5Bの一端に
は排出用可撓ホース51Bが接続されている。一
方台車4の底板43には、各々これの下方から当
該底板43を貫通して上方に伸びる導入用中間パ
イプ52A及び排出用中間パイプ52Bが固定し
て設けられており、台車4が加熱室30内に収納
されたときに前記中間パイプ52A,52Bの下
端が夫々クイツクジヨイント53A,53Bによ
つて前記可撓ホース51A,51Bに接続される
ことになる。前記底板43の上方側に位置する中
間パイプ52A,52Bの端部には、第3図に示
すように夫々冷却媒体流路部材(以下「流路部
材」という。)6の一端及び他端がクイツクジヨ
イント61A,61Bを介して着脱自在に接続さ
れている。ここに流路部材6は、加熱処理が終了
して加熱室30内を強制冷却若しくは放置冷却す
るときに、当該流路部材6の中に冷却媒体を流す
ことによつて、酸素除去物質例えばマグネシウム
をその表面に付着する役割を果たすものである。
この流路部材6としては、管体或いは箱体等を用
いることができ、この実施例ではU字状の管体を
使用している。前記導入管5Aの途中には、流量
制御弁7及び第1の開閉弁8Aが上流側からこの
順に設けられ、前記排出管5Bの途中には、第2
の開閉弁8Bが設けられている。Tは加熱室30
を流れた冷却媒体の温度を検出するための温度検
出器であり、この温度検出器Tよりの温度信号が
コントローラ100に入力されるとこの入力信号
に対応した操作信号がコントローラ100より流
量制御弁7に送られるようになる。これにより流
量制御弁7の開度が調整されて冷却媒体の流量が
制御されるようになり、加熱室30内を流れる冷
却媒体の温度が一定に維持されることとなる。前
記第1の開閉弁8Aから流路部材6を介して第2
の開閉弁8Bに至るまでの流路、例えば導入管5
Aにおける第1の開閉弁8Aのすぐ下流側には、
当該導入管5Aから分岐し、第3の開閉弁91を
介して真空炉体1内に開口する分岐管9が設けら
れている。この分岐管9は加熱処理が行われてい
るときに第1の開閉弁8Aから第2の開閉弁8B
に至るまでの流路中を真空炉体1内と同程度の真
空状態にするためのものである。尚このような分
岐管は導入管5A及び排出管5Bの双方に設けて
もよい。
Next, the main parts of this embodiment will be explained. A cooling medium introduction pipe (hereinafter referred to as "introduction pipe") 5A for introducing a cooling medium such as cooling gas (for example, nitrogen gas) or cooling water into the heating chamber 30. A cooling medium discharge pipe (hereinafter referred to as "discharge pipe") 5B for discharging the cooling medium from the heating chamber 30 is provided so as to protrude into the vacuum furnace body 1 from the outside. A flexible introduction hose 51A is connected to one end of the introduction pipe 5A in the vacuum furnace body 1, and a flexible discharge hose 51B is connected to one end of the discharge pipe 5B. On the other hand, the bottom plate 43 of the cart 4 is fixedly provided with an introduction intermediate pipe 52A and a discharge intermediate pipe 52B extending upward from below through the bottom plate 43. When housed inside, the lower ends of the intermediate pipes 52A, 52B are connected to the flexible hoses 51A, 51B via quick joints 53A, 53B, respectively. At the ends of the intermediate pipes 52A and 52B located above the bottom plate 43, as shown in FIG. They are detachably connected via quick joints 61A and 61B. Here, the flow path member 6 is provided with an oxygen removing substance such as magnesium by flowing a cooling medium into the flow path member 6 when the heating chamber 30 is forcedly cooled or left to cool after the heat treatment is completed. It plays the role of adhering to the surface.
A tube, a box, or the like can be used as the flow path member 6, and in this embodiment, a U-shaped tube is used. A flow control valve 7 and a first on-off valve 8A are provided in this order from the upstream side in the middle of the introduction pipe 5A, and a second valve 8A is provided in the middle of the discharge pipe 5B.
An on-off valve 8B is provided. T is heating chamber 30
This is a temperature sensor for detecting the temperature of the cooling medium flowing through the temperature sensor T. When a temperature signal from the temperature sensor T is input to the controller 100, an operation signal corresponding to this input signal is sent from the controller 100 to the flow control valve. 7 will be sent. As a result, the opening degree of the flow control valve 7 is adjusted to control the flow rate of the cooling medium, and the temperature of the cooling medium flowing inside the heating chamber 30 is maintained constant. From the first on-off valve 8A to the second valve via the flow path member 6
A flow path leading to the on-off valve 8B, for example, the introduction pipe 5
Immediately downstream of the first on-off valve 8A at A,
A branch pipe 9 is provided that branches from the introduction pipe 5A and opens into the vacuum furnace body 1 via a third on-off valve 91. This branch pipe 9 is connected from the first on-off valve 8A to the second on-off valve 8B during the heat treatment.
This is to create a vacuum state in the flow path up to the same level as the inside of the vacuum furnace body 1. Incidentally, such a branch pipe may be provided in both the introduction pipe 5A and the discharge pipe 5B.

このような構成の装置では、例えばろう付を行
うべき被加熱処理物Mを台車4の上に載せ、この
台車4を真空炉体1内に搬入して扉2を閉じ、真
空ポンプ12により真空炉体1内の空気を排気す
る。一方予め第1の開閉弁8A及び第2の開閉弁
8Bを閉じ、第3の開閉弁91を開いておくこと
により、第1の開閉弁8Aから流路部材6を介し
て第2の開閉弁8Bに至るまでの流路中の空気が
分岐管9及び真空炉体1を経て排気管11より排
気される。そして真空炉体1内が十分真空状態に
なつた後電熱ヒータ31により被加熱処理物Mを
加熱し、当該被加熱処理物Mの表面温度が約500
℃を越えると、これに付着していたマグネシウム
が気化されて秒速1Km程度の速度で加熱室30内
を反射しながら飛びまわるようになり、残留酸素
と結合する。こうしてつくられた高真空状態の雰
囲気でろう付処理が終了すると加熱室30内は例
えば不活性ガスの導入等により冷却されるように
なる。そして加熱室30の内壁等の温度が400℃
以下になる前に、例えばろう付処理が終了した直
後に、第3の開閉弁91を閉じてから第1の開閉
弁8A及び第2の開閉弁8Bを開き、流路部材6
の表面温度が400℃以下となるように、コントロ
ーラ100により流量制御弁7の開度が調整され
て流量が制御された状態で、冷却媒体を図示しな
い供給源より導入管5A、流路部材6及び排出管
5B内を流すようにする。このため気化したマグ
ネシウムは流路部材6の表面に付着するようにな
る。その後流路部材6内の冷却媒体を、例えば導
入管8Aから空気を送入することにより追い出し
た後、クイツクジヨイント53A,53Bを外
し、台車4を真空炉体1の外に引き出す。このと
き中間パイプ51A,51Bは台車4と共に引き
出されることになる。そしてクイツクジヨイント
61A,61Bを外すことによつて流路部材6を
中間パイプ51A,51Bから取り外し、新たな
流路部材6と交換し、次のろう付け作業に備え
る。また流路部材6に付着したマグネシウムの除
去は、ハンマー等による機械的方法、着火して燃
焼させる方法、化学的方法等を用いることによつ
て行うことができ、マグネシウムが除去された流
路部材6は再び使用することができる。
In an apparatus having such a configuration, for example, the object to be heated M to be brazed is placed on the trolley 4, the trolley 4 is carried into the vacuum furnace body 1, the door 2 is closed, and the vacuum pump 12 is used to generate a vacuum. The air inside the furnace body 1 is exhausted. On the other hand, by previously closing the first on-off valve 8A and the second on-off valve 8B and opening the third on-off valve 91, the second on-off valve is connected from the first on-off valve 8A via the flow path member 6. The air in the flow path up to 8B is exhausted from the exhaust pipe 11 via the branch pipe 9 and the vacuum furnace body 1. After the inside of the vacuum furnace body 1 is sufficiently vacuumed, the object M to be heated is heated by the electric heater 31, and the surface temperature of the object M to be heated is about 500℃.
When the temperature exceeds .degree. C., the adhering magnesium is vaporized and begins to fly around inside the heating chamber 30 while reflecting at a speed of about 1 km per second, and combines with residual oxygen. When the brazing process is completed in the high vacuum atmosphere thus created, the inside of the heating chamber 30 is cooled by, for example, introducing an inert gas. The temperature of the inner walls of the heating chamber 30 is 400℃.
Before the following happens, for example, immediately after the brazing process is finished, close the third on-off valve 91, open the first on-off valve 8A and the second on-off valve 8B, and open the flow path member 6.
The controller 100 adjusts the opening degree of the flow rate control valve 7 to control the flow rate so that the surface temperature of the flow rate control valve 7 is 400° C. or lower. and the inside of the discharge pipe 5B. Therefore, the vaporized magnesium comes to adhere to the surface of the flow path member 6. Thereafter, the cooling medium in the flow path member 6 is expelled by, for example, introducing air from the introduction pipe 8A, and then the quick joints 53A and 53B are removed and the carriage 4 is pulled out of the vacuum furnace body 1. At this time, the intermediate pipes 51A and 51B are pulled out together with the truck 4. Then, by removing the quick joints 61A, 61B, the channel member 6 is removed from the intermediate pipes 51A, 51B, and replaced with a new channel member 6, in preparation for the next brazing operation. Moreover, the removal of magnesium attached to the channel member 6 can be performed by using a mechanical method using a hammer or the like, a method of igniting and burning, a chemical method, etc. 6 can be used again.

上述の実施例によれば、流路部材6に冷却媒体
を流すことにより当該流路部材6の表面を低温部
としているため、加熱室30内を飛びまわるマグ
ネシウムは流路部材6の表面に集中的に付着する
ようになり、このため他の部分にマグネシウムが
付着するおそれがない。したがつて電気絶縁材の
表面にマグネシウムが付着したために起こる漏電
事故を防止することができ、また台車4と加熱室
30の壁体3との隙間にマグネシウムが固着して
台車4の引き出しを困難にするといつた問題も解
決できる。そして加熱室30の内壁にマグネシウ
ムが付着するおそれがなく、しかも表面にマグネ
シウムが付着した流路部材6は台車4と共に真空
炉体1の外へ引き出されて新たなものと交換され
るので、加熱室30内の清掃作業が不要となり、
この結果従来のように一回のろう付処理が終る度
毎に清掃作業を行わなくて済む。したがつて直ち
に次のろう付処理を開始できるから、操業性を向
上することができる。尚、台車4から取り外した
流路部材6についてのマグネシウムの除去作業
は、操業時間に関係なく行うことができるので、
操業サイクルに影響を与えることがない。更に作
業員が加熱室30内に入つて清掃作業を行わなく
て済むことから、マグネシウムの着火による事故
が避けられるし、またマグネシウムの粉塵により
健康を害することもない。そしてこの実施例のよ
うに、第1の開閉弁8Aから流路部材6を介して
第2の開閉弁8Bに至るまでの流路に分岐管9を
設け、ろう付処理が行われる間は当該流路内を真
空状態となるようにすれば、冷却媒体が加熱室3
0内に漏れることがないのでろう付不良を起こす
おそれもない。したがつてクイツクジヨイントに
それ程高い気密性が要求されないので、例えば耐
熱性の大きなメタルシートを利用したクイツクジ
ヨイントを用いることができる。尚冷却媒体を流
すときにはすでにろう付処理は終了しているので
冷却媒体がクイツクジヨイントから漏れたとして
もろう付処理には影響を及ぼすことがない。また
可撓ホース51A,51B及びクイツクジヨイン
ト53A,53Bを用いれば、中間パイプ52
A,52Bと導入管5A及び排出管5Bとの連
結、分離を容易に行うことができる。
According to the embodiment described above, since the surface of the channel member 6 is made into a low-temperature part by flowing the cooling medium through the channel member 6, the magnesium flying around in the heating chamber 30 is concentrated on the surface of the channel member 6. Therefore, there is no risk of magnesium adhering to other parts. Therefore, it is possible to prevent an electric leakage accident caused by magnesium adhering to the surface of the electrical insulating material, and it is also possible to prevent magnesium from sticking to the gap between the cart 4 and the wall 3 of the heating chamber 30, making it difficult to pull out the cart 4. If you do this, you can solve any problems you may have. There is no risk of magnesium adhering to the inner wall of the heating chamber 30, and the channel member 6 with magnesium adhering to its surface is pulled out of the vacuum furnace body 1 together with the trolley 4 and replaced with a new one. Cleaning work inside the room 30 is no longer required,
As a result, it is no longer necessary to carry out cleaning work every time one brazing process is completed, unlike in the conventional case. Therefore, since the next brazing process can be started immediately, operability can be improved. In addition, since the work of removing magnesium from the channel member 6 removed from the trolley 4 can be performed regardless of the operating time,
It does not affect the operating cycle. Furthermore, since the worker does not have to enter the heating chamber 30 to perform cleaning work, accidents caused by magnesium ignition can be avoided, and magnesium dust will not harm health. As in this embodiment, a branch pipe 9 is provided in the flow path from the first on-off valve 8A to the second on-off valve 8B via the flow path member 6, and the branch pipe 9 is provided during the brazing process. By creating a vacuum state in the flow path, the cooling medium flows into the heating chamber 3.
Since there is no leakage within 0, there is no risk of brazing failure. Therefore, the quick joint is not required to have very high airtightness, so a quick joint made of a metal sheet with high heat resistance, for example, can be used. Furthermore, since the brazing process has already been completed when the cooling medium is allowed to flow, even if the cooling medium leaks from the quick joint, the brazing process will not be affected. Also, if flexible hoses 51A, 51B and quick joints 53A, 53B are used, the intermediate pipe 52
A, 52B can be easily connected and separated from the inlet pipe 5A and the discharge pipe 5B.

ここで本発明は、台車を用いることなく被加熱
処理物を加熱室の天井に吊り下げる構成の真空炉
装置に適用してもよいし、或いは真空炉体内に別
途加熱室が設けられるのではなく真空炉体自体が
加熱室の壁体を構成する真空炉装置に適用しても
よい。
Here, the present invention may be applied to a vacuum furnace apparatus in which the object to be heated is suspended from the ceiling of a heating chamber without using a trolley, or in which a heating chamber is not separately provided within the vacuum furnace. The present invention may be applied to a vacuum furnace device in which the vacuum furnace body itself constitutes the wall of the heating chamber.

また本発明では、流路部材に熱電対を設け、こ
の熱電対により検出された温度に基づいて、コン
トローラにより或いは手動により流量制御弁の開
度を調整するようにしてもよい。
Further, in the present invention, a thermocouple may be provided in the flow path member, and the opening degree of the flow control valve may be adjusted by a controller or manually based on the temperature detected by the thermocouple.

以上のように本発明によれば、流路部材に冷却
媒体を流すことにより、酸素除去物質を流路部材
の表面に集中的に付着させるようにしているた
め、電気絶縁材への酸素除去物質の付着による漏
電事故等を防止することができる。しかも流路部
材は加熱室に着脱自在に設けられているから、酸
素除去物質の付着した流路部材を新たなものと交
換することによつて次の加熱処理作業に備えるこ
とができ、このため酸素除去物質の除去のための
清掃作業が不要になつて操業性の向上を図ること
ができる上、加熱室内における酸素除去物質の着
火による事故等が避けられる。
As described above, according to the present invention, by flowing the cooling medium through the channel member, the oxygen removing substance is concentratedly attached to the surface of the channel member, so that the oxygen removing substance is applied to the electrical insulating material. It is possible to prevent electrical leakage accidents caused by adhesion of Moreover, since the channel member is removably installed in the heating chamber, the channel member to which the oxygen removing substance has adhered can be replaced with a new one to prepare for the next heat treatment operation. Cleaning work for removing the oxygen-removing substance is no longer necessary, and operability can be improved, and accidents caused by ignition of the oxygen-removing substance in the heating chamber can be avoided.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例に係る真空炉装置を示
す縦断正面図、第2図は真空炉体及び被加熱処理
物の搬入のための機構を示す側面図、第3図は流
路部材を示す側面図である。 1……真空炉体、12……真空ポンプ、2……
扉、3……壁体、30……加熱室、4……台車、
5A……冷却媒体導入管、5B……冷却媒体排出
管、51A,51B……可撓ホース、6……冷却
媒体流路部材、7……流量制御弁、8A,8B,
91……開閉弁、9……分岐管、100……コン
トローラ、M……被加熱処理物。
FIG. 1 is a longitudinal sectional front view showing a vacuum furnace apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view showing a vacuum furnace body and a mechanism for carrying in the object to be heated, and FIG. 3 is a flow path member. FIG. 1... Vacuum furnace body, 12... Vacuum pump, 2...
Door, 3... Wall, 30... Heating chamber, 4... Cart,
5A...Cooling medium introduction pipe, 5B...Cooling medium discharge pipe, 51A, 51B...Flexible hose, 6...Cooling medium flow path member, 7...Flow rate control valve, 8A, 8B,
91... Opening/closing valve, 9... Branch pipe, 100... Controller, M... Item to be heated.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 真空炉体内の加熱室にて酸素除去物質を加熱
気化して残留酸素と結合させることにより残留酸
素を除去するようにした真空炉装置において、気
化した酸素除去物質を表面に付着させるための冷
却媒体流路部材を前記加熱室に着脱自在に設け、
前記冷却媒体流路部材の両端に、夫々真空炉体の
外部に伸びる冷却媒体導入管と冷却媒体排出管と
を連結して設けたことを特徴とする真空炉装置。
1 In a vacuum furnace device that removes residual oxygen by heating and vaporizing the oxygen removing substance in a heating chamber inside the vacuum furnace and combining it with residual oxygen, cooling is performed to make the vaporized oxygen removing substance adhere to the surface. A medium flow path member is removably provided in the heating chamber,
A vacuum furnace apparatus characterized in that a cooling medium inlet pipe and a cooling medium discharge pipe, each extending to the outside of the vacuum furnace body, are connected and provided at both ends of the cooling medium flow path member.
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