JPH02126751U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02126751U JPH02126751U JP3356089U JP3356089U JPH02126751U JP H02126751 U JPH02126751 U JP H02126751U JP 3356089 U JP3356089 U JP 3356089U JP 3356089 U JP3356089 U JP 3356089U JP H02126751 U JPH02126751 U JP H02126751U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- distance sensor
- distance
- measuring device
- detection signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係るラツプ盤のワークピース
厚み測定装置の実施例を示す断面図、第２図は従
来例を示す断面図である。第３図は温度補償機構
のブロツク図である。 ３……上定盤、４……下定盤、５……ワークピ
ース、１３……間隔センサ、１４……コントロー
ラ、１８……温度センサ。
厚み測定装置の実施例を示す断面図、第２図は従
来例を示す断面図である。第３図は温度補償機構
のブロツク図である。 ３……上定盤、４……下定盤、５……ワークピ
ース、１３……間隔センサ、１４……コントロー
ラ、１８……温度センサ。
Claims (1)
- ワークピースの両面を接触加工する上定盤、下
定盤の一方の定盤に他方の定盤との間隔を検出す
る間隔センサを取付け、コントローラで間隔セン
サの検出信号から実際のワークピースの厚みとの
誤差要素を補正するようにしてなるラツプ盤のワ
ークピース厚み測定装置において、間隔センサ及
びその周りに温度を検出する温度センサを設けて
、この温度センサの検出信号をも補正対象の誤差
要素としたことを特徴とするラツプ盤のワークピ
ース厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356089U JPH02126751U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3356089U JPH02126751U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126751U true JPH02126751U (ja) | 1990-10-18 |
Family
ID=31537316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3356089U Pending JPH02126751U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02126751U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5775777A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-12 | Supiide Fuamu Kk | Polishing machine |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP3356089U patent/JPH02126751U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5775777A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-12 | Supiide Fuamu Kk | Polishing machine |
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