JPH02127407U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02127407U JPH02127407U JP3890189U JP3890189U JPH02127407U JP H02127407 U JPH02127407 U JP H02127407U JP 3890189 U JP3890189 U JP 3890189U JP 3890189 U JP3890189 U JP 3890189U JP H02127407 U JPH02127407 U JP H02127407U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing head
- arm
- mound
- turntable
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す一部断面側面、
第２図は加工ヘツドの構造並びに動作を説明する
ための部分断面正面図、第３図は第１図装置の要
部下面図、第４図は第１図装置の要部上面図、第
５図及び第６図は加工ヘツドの変形例を示す斜視
図、第７図は本考案の前提となるマウンドカツタ
の一部断面側面図、第８図は第７図装置の要部上
面図、第９図は加工ヘツドの構造を示す正断面図
である。 １……ターンテーブル、２……ウエハ、３……
アーム、９……加工ヘツド、９ａ，９ｂ……ガス
吐出口。
第２図は加工ヘツドの構造並びに動作を説明する
ための部分断面正面図、第３図は第１図装置の要
部下面図、第４図は第１図装置の要部上面図、第
５図及び第６図は加工ヘツドの変形例を示す斜視
図、第７図は本考案の前提となるマウンドカツタ
の一部断面側面図、第８図は第７図装置の要部上
面図、第９図は加工ヘツドの構造を示す正断面図
である。 １……ターンテーブル、２……ウエハ、３……
アーム、９……加工ヘツド、９ａ，９ｂ……ガス
吐出口。
Claims (1)
- ウエハを支持し回転するターンテーブルと、タ
ーンテーブル上で一定間隔を保ちターンテーブル
の半径方向に相対移動するアームと、下面にガス
吐出口を開口しアームに支持された加工ヘツドと
を有し、ウエハと加工ヘツドとの間隔を微小間隔
に保ち加工ヘツド下端エツジでウエハ上のマウン
ドを切削除去するマウンドカツタにおいて、上記
加工ヘツドは、アームの相対移動方向に沿いかつ
加工ヘツド下面中心両側の離隔した位置にガス吐
出口を開口するとともに、ガス吐出口の配列方向
周りに回動可能にアームに支持されたことを特徴
とするマウンドカツタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3890189U JPH02127407U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3890189U JPH02127407U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02127407U true JPH02127407U (ja) | 1990-10-19 |
Family
ID=31547322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3890189U Pending JPH02127407U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02127407U (ja) |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP3890189U patent/JPH02127407U/ja active Pending