JPH02127801U - - Google Patents

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JPH02127801U
JPH02127801U JP3623389U JP3623389U JPH02127801U JP H02127801 U JPH02127801 U JP H02127801U JP 3623389 U JP3623389 U JP 3623389U JP 3623389 U JP3623389 U JP 3623389U JP H02127801 U JPH02127801 U JP H02127801U
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JP
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rotor
vane
rotary actuator
shrinkage fit
fitting groove
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図〜第5図は本考案の実施例の説明図であ
つて、第1図は本考案のロータリアクチエータの
平面図、第2図は第1図のA−A矢視断面図、第
3図はベーン部の拡大図、第4図はベーンの嵌合
部形状(焼ばめ代)の説明図、第5図はロータリ
アクチエータの回動可能範囲の説明図である。第
6図〜第9図は従来技術の説明図であつて、第6
図は従来のロータリアクチエータの平面図、第7
図は第6図のB−B矢視断面図、第8図はロータ
の加工方法の説明図、第9図は従来のロータリア
クチエータの回動範囲の説明図である。 1……ケーシング、2……ステータ、3……ス
テータシール、4……ロータ、4a……開口部(
嵌合溝)、4b……入口部、4c……奥部、5…
…ベーン、5a……テーパ部、6……ベーンシー
ル、7……引込ボルト。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ケーシングとこれに同心状に設けたロータとで
    形成される空間を該ケーシング側に設けたステー
    タと該ロータ側に設けたベーンにより複数室に仕
    切り、相対向する室に圧油を供給・排油して該ロ
    ータを回動運動させるロータリアクチエータにお
    いて、前記ベーンを前記ロータと別体品とし、該
    ベーンの嵌合部を該ロータに形設した嵌合溝の入
    口部においては焼ばめ代が大きく、該嵌合溝の奥
    部に行くにつれて焼ばめ代が小さくなるような先
    細りの極く僅かなテーパ状に形成し、該ベーンを
    該ロータに焼ばめ固定したことを特徴とするロー
    タリアクチエータ。
JP3623389U 1989-03-28 1989-03-28 ロータリアクチエータ Expired - Lifetime JPH0722483Y2 (ja)

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JP3623389U JPH0722483Y2 (ja) 1989-03-28 1989-03-28 ロータリアクチエータ

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JP3623389U JPH0722483Y2 (ja) 1989-03-28 1989-03-28 ロータリアクチエータ

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JPH02127801U true JPH02127801U (ja) 1990-10-22
JPH0722483Y2 JPH0722483Y2 (ja) 1995-05-24

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7515253B2 (en) 2005-01-12 2009-04-07 Kla-Tencor Technologies Corporation System for measuring a sample with a layer containing a periodic diffracting structure

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Publication number Publication date
JPH0722483Y2 (ja) 1995-05-24

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