JPH02129982A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JPH02129982A JPH02129982A JP63282487A JP28248788A JPH02129982A JP H02129982 A JPH02129982 A JP H02129982A JP 63282487 A JP63282487 A JP 63282487A JP 28248788 A JP28248788 A JP 28248788A JP H02129982 A JPH02129982 A JP H02129982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- frequency
- power supply
- electrodes
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Optics & Photonics (AREA)
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、可変周波数の高周波電源を用いたレーザ装置
に関する。
に関する。
（従来の技術）
レーザ装置の一つの型に、レーザガスを通す放電部を誘
電体で作り、その誘電体の外側に一対の電極を配置し、
その面電極の間に高周波電圧を印加することにより、レ
ーザ光を発生させるよう構成したものがある。
電体で作り、その誘電体の外側に一対の電極を配置し、
その面電極の間に高周波電圧を印加することにより、レ
ーザ光を発生させるよう構成したものがある。
しかし、この従来のレーザ装置においては、放電部の一
対の電極の間に放電に必要な高周波電界を与えるために
使用される高周波電源は、周波数がぼり一定の値ｆ０と
なるような例えば他励式の高周波電源で、！ 、 ＝
１３．５６ＭＨｚ±２ｋＨｚの周波数範囲で使用されて
いた。
対の電極の間に放電に必要な高周波電界を与えるために
使用される高周波電源は、周波数がぼり一定の値ｆ０と
なるような例えば他励式の高周波電源で、！ 、 ＝
１３．５６ＭＨｚ±２ｋＨｚの周波数範囲で使用されて
いた。
（発明が解決しようとする課題）
一般にこの種のレーザ装置において、レーザ出力を得る
ためには、高周波電源から電極に周波数ｆ、の高周波電
圧を印加し、その高周波電界のもとに放電部を流れるレ
ーザガスを励起して放電を発生させることになる。
ためには、高周波電源から電極に周波数ｆ、の高周波電
圧を印加し、その高周波電界のもとに放電部を流れるレ
ーザガスを励起して放電を発生させることになる。
しかして、レーザ装置においては、放電入力と放電部の
放電抵抗とが第２図に示すような関係にあるため、放電
入力の変化とともに放電抵抗も変化する。したがって、
放電入力を増加していくと、放電抵抗の増加にともなっ
て放電部から電源への、反射波電力が増すために、電源
から放電部にわたる回路条件の整合が乱れて電源に悪影
響をおよぼす結果となる。
放電抵抗とが第２図に示すような関係にあるため、放電
入力の変化とともに放電抵抗も変化する。したがって、
放電入力を増加していくと、放電抵抗の増加にともなっ
て放電部から電源への、反射波電力が増すために、電源
から放電部にわたる回路条件の整合が乱れて電源に悪影
響をおよぼす結果となる。
本発明の目的は、あらゆる放電入力に対して回路条件の
整合を計ることにより、高周波電源に対する反射波電力
を抑制することのできるレーザ装置を提供することにあ
る。
整合を計ることにより、高周波電源に対する反射波電力
を抑制することのできるレーザ装置を提供することにあ
る。
（課題を解決するための手段）
本発明のレーザ装置は、レーザ物質が流通する放電部を
誘電体で作り、その放電部の外側に配置した一対の電極
間に高周波電圧を印加することによりレーザ光を発生さ
せるレーザ装置において、前記一対の電極間に可変周波
数の高周波電源を接続したことを特徴とするものである
。
誘電体で作り、その放電部の外側に配置した一対の電極
間に高周波電圧を印加することによりレーザ光を発生さ
せるレーザ装置において、前記一対の電極間に可変周波
数の高周波電源を接続したことを特徴とするものである
。
（作 用）
本発明においては、放電入力が増加することによって放
電抵抗も増加し１周波数の増加によって放電抵抗が逓減
する関係を利用する。ある放電入力に対して可変高周波
電源の周波数を合わせることにより、一定の放電抵抗を
得ることができる。
電抵抗も増加し１周波数の増加によって放電抵抗が逓減
する関係を利用する。ある放電入力に対して可変高周波
電源の周波数を合わせることにより、一定の放電抵抗を
得ることができる。
（実施例）
以下本発明を第１図に示す一実施例を参照して説明する
。第１図において５本発明のレーザ装置の放電部１を誘
電体で作り、この放電部１を紙面に直角にレーザガス２
が流通する。誘電体で作られた放電部１の上下に一対の
電極３ａ、 ３ｂを配置する。
。第１図において５本発明のレーザ装置の放電部１を誘
電体で作り、この放電部１を紙面に直角にレーザガス２
が流通する。誘電体で作られた放電部１の上下に一対の
電極３ａ、 ３ｂを配置する。
しかして、レーザ装置においては、電極３ａ、 ３ｂの
間に高周波電圧を印加し、放電部１を通るレーザガスを
励起してレーザ光を発することになるが、本発明におい
ては、その電極３ａ、 ３ｂに印加する電源として、自
励インバータのような周波数ｆが１１からｆ２まで可変
できる高周波電源４を用いたことを特徴とするものであ
る。衆知の如く自励インバータのような可変高周波電源
４は、その出力周波数を中心発振周波数ｆｌｌに対して
±１０％までの周波数に変えることは容易にできる。
間に高周波電圧を印加し、放電部１を通るレーザガスを
励起してレーザ光を発することになるが、本発明におい
ては、その電極３ａ、 ３ｂに印加する電源として、自
励インバータのような周波数ｆが１１からｆ２まで可変
できる高周波電源４を用いたことを特徴とするものであ
る。衆知の如く自励インバータのような可変高周波電源
４は、その出力周波数を中心発振周波数ｆｌｌに対して
±１０％までの周波数に変えることは容易にできる。
さて、レーザ装置における放電部１の電極３ａ。
３ｂの間に印加する放電入力と放電抵抗とは、第２図に
示すように放電入力が増加するにしたがって、放電抵抗
も増加する関係を有するものである。−方電極３ａ、３
ｂに印加する放電入力の周波数と放電抵抗とは、第３図
に示すように周波数が増えるにしたがって放電抵抗が逓
減する関係を有するものである。
示すように放電入力が増加するにしたがって、放電抵抗
も増加する関係を有するものである。−方電極３ａ、３
ｂに印加する放電入力の周波数と放電抵抗とは、第３図
に示すように周波数が増えるにしたがって放電抵抗が逓
減する関係を有するものである。
したがって、レーザ装置の放電部１における第２図の特
性および第３図の特性に示す関係を利用し、例えば放電
入力を増加する場合、その増加分に見合って周波数を増
すことにより、放電抵抗が一定になるように整合をとる
ことが可能となる。
性および第３図の特性に示す関係を利用し、例えば放電
入力を増加する場合、その増加分に見合って周波数を増
すことにより、放電抵抗が一定になるように整合をとる
ことが可能となる。
このように放電入力と周波数とを調整することにより、
放電部１から電源４への反射波電力を有効に抑制し得て
電源を保護することができる。
放電部１から電源４への反射波電力を有効に抑制し得て
電源を保護することができる。
以上のように本発明においては、放電部の電源に可変周
波数の高周波電源を用いたことにより、放電入力の変化
時にその変化分に応じて周波数を可変することによって
放電抵抗をはシ一定に維持することができ、放電部から
電源への反射波電力を抑制して電源を有効に保護するこ
とができる。
波数の高周波電源を用いたことにより、放電入力の変化
時にその変化分に応じて周波数を可変することによって
放電抵抗をはシ一定に維持することができ、放電部から
電源への反射波電力を抑制して電源を有効に保護するこ
とができる。
第１図は本発明のレーザ装置の放電部と電源との関係を
示す概略構成図、第２図および第３図はレーザ装置の放
電部における放電人力−放電抵抗および周波数−放電抵
抗の関係を示す特性図である。
示す概略構成図、第２図および第３図はレーザ装置の放
電部における放電人力−放電抵抗および周波数−放電抵
抗の関係を示す特性図である。
Claims (1)
- レーザ物質が流通する放電部を誘電体で作り、その放電
部の外側に配置した一対の電極間に高周波電圧を印加す
ることによりレーザ光を発生させるレーザ装置において
、前記一対の電極間に可変周波数の高周波電源を接続し
たことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282487A JPH02129982A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282487A JPH02129982A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129982A true JPH02129982A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17653079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63282487A Pending JPH02129982A (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129982A (ja) |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP63282487A patent/JPH02129982A/ja active Pending
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