JPH02132383A - 半導体測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体測定装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の半導体測定装置の電源供給回路は第２図に示すよ
うに電源ＡｍＰ、帰還抵抗Ｒ，、入力抵抗Ｒ，、出力オ
ープン時の短絡抵抗ＲＤで構成されており、半導体測定
装置におけるケルビン接続の帰還線は単線であり、被測
定の半導体装置内の１点についてのみの電位によって帰
還をかけていた。図中、Ｔ１ｎは入力端子、ＴｆＢは帰
還端子、Ｔｆは電源供給端子である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体測定装置の電源供給におけるケル
ビン接続の帰還線は１点についてのめ行っていたので、
半導体装置内の電位ドロップによる入出力電圧の偏位が
発生することによる測定トラブルが発生していた。

本発明の目的は前記課題を解決した半導体測定装置を提
供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の半導体測定装置の電源供給回路に対して
、本発明は帰還線を複数設けることにより、被測定の半
導体装置内の電位ドロップの平均値を得るという相違点
を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明に係る半導体測定装置
においては、半導体測定装置の電源供給におけるケルビ
ン接続の帰還線を複数設け、複数の平均値を帰還電圧と
する回路を装備したものである。

〔実施例〕

２一 ？に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す回路図である。

図において、本発明は電源ＡＩ，，Ｐと、帰還抵抗Ｒ，
と、入力抵抗Ｒ１と、ダミー抵抗ＲＤにより通常の半導
体測定用電源回路を構成し、さらに電源供給端子Ｔ，と
複数本の帰還端子ＴｆＢｔ・・・。を設け、各帰還端子
ＴｆＢ■・・。と電源の帰還端子ＴｆＢｏとの間に直列
に比較的低抵抗の抵抗Ｒ１・・・、を設けている。以上
の構成により、本発明は帰還線を複数本設け、各帰還線
に比較的低抵抗を直列に挿入し、抵抗の他の一端を共通
の一点に接続し帰還をかけているため、各帰還端子Ｔｆ
Ｂｔ〜ＴｆＢｎにおいて測定される帰還電位の平均が帰
還端子ＴｆＢｏに得られる。

以上により、現在の半導体装置の大ペレット化に伴う半
導体装置内の電位低下を平均的に測定できるため、測定
時の電源に掛ねる問題を解決できる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は半導体測定装置の電源供給
回路の帰還端子を複数設けることにより、半導体装置内
の電源線の平均的電位を帰還できるため、半導体装置内
の電位ドロップに対し最小限度の測定規格の補正等によ
り半導体装置の測定ができる効果が有る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る半導体測定装置の電源供給回路の
一例を示す回路図、第２図は従来の半導体測定装置の電
源供給回路を示す回路図である。 ＡｍＰ・・・電源　　　　　Ｒｆ・・・帰還抵抗Ｒ１・
・・入力抵抗　　　Ｔｊ．ｎ・・・入力端子ＲＤ−ダミ
ー抵抗　　ＴｆＢｏ　＋ＴｆＢ＋・・・ＴｆＢｎ　’・
・帰還端子Ｔ，・・・電源供給端子

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体測定装置の電源供給におけるケルビン接続
   の帰還線を複数設け、複数の平均値を帰還電圧とする回
   路を装備したことを特徴とする半導体測定装置。