JPH0214012Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0214012Y2 JPH0214012Y2 JP1981086567U JP8656781U JPH0214012Y2 JP H0214012 Y2 JPH0214012 Y2 JP H0214012Y2 JP 1981086567 U JP1981086567 U JP 1981086567U JP 8656781 U JP8656781 U JP 8656781U JP H0214012 Y2 JPH0214012 Y2 JP H0214012Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- galvanometer
- rotating shaft
- stators
- movable element
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はガルバノメータ型ビームポジシヨナ、
特にその応答特性の改善に関するものである。
特にその応答特性の改善に関するものである。
レーザビームを二次元に移動させることは、レ
ーザ加工などの応用には不可欠な技術である。レ
ーザビームの移動方法にはXYテーブル上に固定
された反射鏡を利用する方法と、ガルバノメータ
型ビームポジシヨナと利用する方法の二つがあ
る。前者は広い移動範囲にわたり、高い位置精度
で微小スポツトを得ることが可能であり、又後者
は極めて高速度の移動が可能である。ビームポジ
シヨナの応用の中で需要の多い厚膜ハイゴリツド
ICや抵抗モジユールのレーザトリミングの場合、
ビームポジシヨナには高速性が要求される。すな
わち、トリミングすべき抵抗から抵抗への位置決
め時のレーザビームの移動、レーザビームを照射
しながら抵抗体をカツテイングする際の移動に高
速性が求められる。この場合には、ビームポジシ
ヨナとしてガルバノメータ型ビームポジシヨナ方
式が優れており、立上り時の加速度数10G、移動
速度数ｍ／秒が容易に得られる。ガルバノメータ
型ビームポジシヨナはムービングコイル型のガル
バノメータ回転軸上に取付けられた反射鏡を位置
信号によつて回転させ、反射鏡に入射した光の反
射光を移動させるものである。ガルバノメータの
回転角は位置信号に正しく対応する様に回転角を
検出するためキヤパシタンスブリツジなどを使用
し、又、回転軸に取付ける反射鏡を小型・軽量化
すると共に、PID制御と呼ばれるサーボ系によつ
て高速な応答を実現している。ガルバノメータ型
ビームポジシヨナの欠点の一つは外部から機械的
振動が与えられた場合特にその振動周波数がガル
バノメータと固有振動周波数と一致した場合、振
動を起こし易く、ビームの行などを生ずることで
ある。例えば、外部から衝撃的な振動が与えられ
た場合、固定しているべきガルバノメータの軸に
微小回転が発生し、サーボ系によつて抑止させよ
うとしても数10mS間の減衰振動を生じてしまう
ことである。この結果振動の完全な減衰まで次の
動作を待つ必要があり、移動時の応答特性を悪く
してしまうことになる。例えばレーザトリミング
装置の場合、大型のXYテーブルパーツハンドラ
を高速で移動させる必要があり、この衝撃で発生
する機械振動ガルバノメータ型ビームポジシヨナ
に微小振動を生じ、本来ならばXYテーブルパー
ツハンドラの移動直後にビームポジシヨナの動作
が可能であるべきであるのに、振動の減衰を待つ
ために数10mSから100mS位の待ち時間を待つ必
要が出てしまう。この考案の目的はガルバノメー
タ型ビームポジシヨナにおいて、ビームポジシヨ
ナの非移動時にガルバノメータの回転軸上に取付
けられた機械的固定機構により、軸の回転を固定
し、外部から与えられる機械的振動による軸の回
転を防止し、移動時の応答を改善することにあ
る。すなわち、本考案によれば、ムービングコイ
ル型ガルバノメータの回転軸上に取付けられた反
射鏡を位置信号によつて回転させ、反射鏡に入射
した光の反射光を移動させ、所定の位置制御を行
うガルバノメータ型ビームポジシヨナにおいて、
前記ムービングコイル型ガルバノメータと、前記
回転軸を挟んで互いにほぼ平行に対向すると共に
スプリングの附勢力によつて所定の回転中心軸の
まわりを回動し前記回転軸に接触してこれを挟持
する一対の固定子と、前記一対の固定子に沿つて
一軸方向に移動し先端が前記固定子の間に挿入さ
れる可動子と、前記可動子の移動を制御する電磁
ソレノイドとを含み、前記ガルバノメータの動作
時には前記可動子が前記固定子の間に挿入される
方向に移動して前記固定子を前記回転軸から離間
させ、非動作時には前記可動子が前記挿入方向と
は逆方向に移動して前記固定子が前記回転軸を挟
持することを特徴とするガルバノメータ型ビーム
ポジシヨナが得られます。次にこの考案につい
て、図面を参照して説明する。第１図はガルバノ
メータ型ビームポジシヨナの構成例を又、第２図
はこの考案の一実施例を示すものである。第１図
において、レーザビーム１１はＸ軸ガルバノメー
タ１２とＹ軸ガルバノメータ１３によつてＸ，Ｙ
方向の向きが変えられ集光レンズ１４によつて集
束され、反射鏡１５によつて下方に向けられ加工
対象物１６に照射される。第２図において、ガル
バノメータ２１の回転軸２２上に反射鏡２３が固
定されている。回転軸２２に機械的固定機構２４
が装着されている。２５は固定子、２６は可動
子、２７はソレノイド、２８，２９はスプリン
グ、３０，３１は固定子２５の回転中心である。
ガルバノメータの動作時にはソレノイド２７の電
源はオフされており、可動子２６はスプリング２
８の反発力によつて左端に押され、固定子２５は
回転軸２２から離れている。回転軸２２の固定が
必要となつた時にはソレノイド２７をオンとする
とすると可動子２６は右端に押しやられ、固定子
２５はスプリング２９の反発力によつて回転軸２
２をはさみ込むことになり、回転が固定されるこ
とになる。外部からの機械的振動が発生する時に
はソレノイド２７をオンとし、回転軸２２を固定
子２５によつて固定し、反射鏡２３の微小回転を
抑止することができる。
ーザ加工などの応用には不可欠な技術である。レ
ーザビームの移動方法にはXYテーブル上に固定
された反射鏡を利用する方法と、ガルバノメータ
型ビームポジシヨナと利用する方法の二つがあ
る。前者は広い移動範囲にわたり、高い位置精度
で微小スポツトを得ることが可能であり、又後者
は極めて高速度の移動が可能である。ビームポジ
シヨナの応用の中で需要の多い厚膜ハイゴリツド
ICや抵抗モジユールのレーザトリミングの場合、
ビームポジシヨナには高速性が要求される。すな
わち、トリミングすべき抵抗から抵抗への位置決
め時のレーザビームの移動、レーザビームを照射
しながら抵抗体をカツテイングする際の移動に高
速性が求められる。この場合には、ビームポジシ
ヨナとしてガルバノメータ型ビームポジシヨナ方
式が優れており、立上り時の加速度数10G、移動
速度数ｍ／秒が容易に得られる。ガルバノメータ
型ビームポジシヨナはムービングコイル型のガル
バノメータ回転軸上に取付けられた反射鏡を位置
信号によつて回転させ、反射鏡に入射した光の反
射光を移動させるものである。ガルバノメータの
回転角は位置信号に正しく対応する様に回転角を
検出するためキヤパシタンスブリツジなどを使用
し、又、回転軸に取付ける反射鏡を小型・軽量化
すると共に、PID制御と呼ばれるサーボ系によつ
て高速な応答を実現している。ガルバノメータ型
ビームポジシヨナの欠点の一つは外部から機械的
振動が与えられた場合特にその振動周波数がガル
バノメータと固有振動周波数と一致した場合、振
動を起こし易く、ビームの行などを生ずることで
ある。例えば、外部から衝撃的な振動が与えられ
た場合、固定しているべきガルバノメータの軸に
微小回転が発生し、サーボ系によつて抑止させよ
うとしても数10mS間の減衰振動を生じてしまう
ことである。この結果振動の完全な減衰まで次の
動作を待つ必要があり、移動時の応答特性を悪く
してしまうことになる。例えばレーザトリミング
装置の場合、大型のXYテーブルパーツハンドラ
を高速で移動させる必要があり、この衝撃で発生
する機械振動ガルバノメータ型ビームポジシヨナ
に微小振動を生じ、本来ならばXYテーブルパー
ツハンドラの移動直後にビームポジシヨナの動作
が可能であるべきであるのに、振動の減衰を待つ
ために数10mSから100mS位の待ち時間を待つ必
要が出てしまう。この考案の目的はガルバノメー
タ型ビームポジシヨナにおいて、ビームポジシヨ
ナの非移動時にガルバノメータの回転軸上に取付
けられた機械的固定機構により、軸の回転を固定
し、外部から与えられる機械的振動による軸の回
転を防止し、移動時の応答を改善することにあ
る。すなわち、本考案によれば、ムービングコイ
ル型ガルバノメータの回転軸上に取付けられた反
射鏡を位置信号によつて回転させ、反射鏡に入射
した光の反射光を移動させ、所定の位置制御を行
うガルバノメータ型ビームポジシヨナにおいて、
前記ムービングコイル型ガルバノメータと、前記
回転軸を挟んで互いにほぼ平行に対向すると共に
スプリングの附勢力によつて所定の回転中心軸の
まわりを回動し前記回転軸に接触してこれを挟持
する一対の固定子と、前記一対の固定子に沿つて
一軸方向に移動し先端が前記固定子の間に挿入さ
れる可動子と、前記可動子の移動を制御する電磁
ソレノイドとを含み、前記ガルバノメータの動作
時には前記可動子が前記固定子の間に挿入される
方向に移動して前記固定子を前記回転軸から離間
させ、非動作時には前記可動子が前記挿入方向と
は逆方向に移動して前記固定子が前記回転軸を挟
持することを特徴とするガルバノメータ型ビーム
ポジシヨナが得られます。次にこの考案につい
て、図面を参照して説明する。第１図はガルバノ
メータ型ビームポジシヨナの構成例を又、第２図
はこの考案の一実施例を示すものである。第１図
において、レーザビーム１１はＸ軸ガルバノメー
タ１２とＹ軸ガルバノメータ１３によつてＸ，Ｙ
方向の向きが変えられ集光レンズ１４によつて集
束され、反射鏡１５によつて下方に向けられ加工
対象物１６に照射される。第２図において、ガル
バノメータ２１の回転軸２２上に反射鏡２３が固
定されている。回転軸２２に機械的固定機構２４
が装着されている。２５は固定子、２６は可動
子、２７はソレノイド、２８，２９はスプリン
グ、３０，３１は固定子２５の回転中心である。
ガルバノメータの動作時にはソレノイド２７の電
源はオフされており、可動子２６はスプリング２
８の反発力によつて左端に押され、固定子２５は
回転軸２２から離れている。回転軸２２の固定が
必要となつた時にはソレノイド２７をオンとする
とすると可動子２６は右端に押しやられ、固定子
２５はスプリング２９の反発力によつて回転軸２
２をはさみ込むことになり、回転が固定されるこ
とになる。外部からの機械的振動が発生する時に
はソレノイド２７をオンとし、回転軸２２を固定
子２５によつて固定し、反射鏡２３の微小回転を
抑止することができる。
第１図はガルバノメータ型ビームポジシヨナの
構成例を示し、第２図はこの考案の一実施例を示
すものである。１１はレーザビーム、１２はＸ軸
ガルバノメータ、１３はＹ軸ガルバノメータ、１
４は集光レンズ、１５は反射鏡、１６は加工対象
物、２１はガルバノメータ、２２は回転軸、２３
は反射鏡、２４は機械的固定機構、２５は固定
子、２６は可動子、２７はソレノイド、２８，２
９はスプリング、３０，３１は固定子２５の回転
中心である。
構成例を示し、第２図はこの考案の一実施例を示
すものである。１１はレーザビーム、１２はＸ軸
ガルバノメータ、１３はＹ軸ガルバノメータ、１
４は集光レンズ、１５は反射鏡、１６は加工対象
物、２１はガルバノメータ、２２は回転軸、２３
は反射鏡、２４は機械的固定機構、２５は固定
子、２６は可動子、２７はソレノイド、２８，２
９はスプリング、３０，３１は固定子２５の回転
中心である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ムービングコイル型ガルバノメータの回転軸上
に取付けられた反射鏡を位置信号によつて回転さ
せ、反射鏡に入射した光の反射光を移動させ、所
定の位置制御を行うガルバノメータ型ビームポジ
シヨナにおいて、 前記ムービングコイル型ガルバノメータと、 前記回転軸を挟んで互いにほぼ平行に対向する
とともにスプリングの附勢力によつて所定の回転
中心軸のまわりを回動し前記回転軸に接触してこ
れを挟持する一対の固定子と、 前記一対の固定子に沿つて一軸方向に移動し先
端が前記固定子の間に挿入される可動子と、 前記可動子の移動を制御する電磁ソレノイドと
を含み、 前記ガルバノメータの動作時には前記可動子が
前記固定子の間に挿入される方向に移動して前記
固定子を前記回転軸から離間させ、非動作時には
前記可動子が前記挿入方向とは逆方向に移動して
前記固定子が前記回転軸を挟持することを特徴と
するガルバノメータ型ビームポジシヨナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981086567U JPH0214012Y2 (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981086567U JPH0214012Y2 (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57199314U JPS57199314U (ja) | 1982-12-17 |
| JPH0214012Y2 true JPH0214012Y2 (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=29881783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981086567U Expired JPH0214012Y2 (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0214012Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-06-12 JP JP1981086567U patent/JPH0214012Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57199314U (ja) | 1982-12-17 |
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