JPH02141630A - 分光測光器 - Google Patents
分光測光器Info
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- JPH02141630A JPH02141630A JP63296509A JP29650988A JPH02141630A JP H02141630 A JPH02141630 A JP H02141630A JP 63296509 A JP63296509 A JP 63296509A JP 29650988 A JP29650988 A JP 29650988A JP H02141630 A JPH02141630 A JP H02141630A
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- Japan
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- light
- slit
- spectral dispersion
- dispersion element
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光源からの光や物体の反射光などの分光分布
を測定するための分光光度計で、光源の光色、演色性を
評価したり、物体色の測定に使用するものである。
を測定するための分光光度計で、光源の光色、演色性を
評価したり、物体色の測定に使用するものである。
従来の技術
従来この種の用途には、単一の分光分散素子たとえばプ
リズムやグレーティング（回折格子）を使用した分光器
が使用されているが、迷光が多くまた得られた単色光の
スペクトルにフレアが生ずる問題がある。特に迷光に関
しては、黒体の分光分布に近い光源のような、長波長側
に大きなエネルギーを持つ光源の可視波長域のスペクト
ルを可視測定用分光器で測定する場合、短波長側の単色
光に長波長側の光成分が混入しそれが迷光となる。
リズムやグレーティング（回折格子）を使用した分光器
が使用されているが、迷光が多くまた得られた単色光の
スペクトルにフレアが生ずる問題がある。特に迷光に関
しては、黒体の分光分布に近い光源のような、長波長側
に大きなエネルギーを持つ光源の可視波長域のスペクト
ルを可視測定用分光器で測定する場合、短波長側の単色
光に長波長側の光成分が混入しそれが迷光となる。
（たとえば、三嶋泰雄はか； 「放電ランプの全光束、
色度の分光測光の実際」照明学会誌Ｙｏ１．Ｇ３−１２
（昭和５９年） ｐ６２０〜６２５、大久保： ［回折
格子モノクロメータの高次回折項を利用した２波長域同
時分光測定］照明学会誌Ｖｏ１．７Ｑ−６（昭和６１年
） ｐ２６２〜２６７などの文献でしめされている。）
これは、たとえばツエルニターナ型の回折格子分光器で
は、波長設定が短波長側のときグレーティングの法線は
、出射側であるフォカシングミラー側に向いているため
、グレーティングの格子のエツジ等での散乱光が、分光
分散された単色光と混じり、出射スリットを通って出て
くるからである。
色度の分光測光の実際」照明学会誌Ｙｏ１．Ｇ３−１２
（昭和５９年） ｐ６２０〜６２５、大久保： ［回折
格子モノクロメータの高次回折項を利用した２波長域同
時分光測定］照明学会誌Ｖｏ１．７Ｑ−６（昭和６１年
） ｐ２６２〜２６７などの文献でしめされている。）
これは、たとえばツエルニターナ型の回折格子分光器で
は、波長設定が短波長側のときグレーティングの法線は
、出射側であるフォカシングミラー側に向いているため
、グレーティングの格子のエツジ等での散乱光が、分光
分散された単色光と混じり、出射スリットを通って出て
くるからである。
このため、モノクロメータを２台結合した、ダブルグレ
ーティング分光器やグレーティング、プリズム分光器な
ど、分光分散光学系を２つ使用したり、長波長光カット
フィルタを光路に入れて迷光の除去を行なっているのが
現状であった。
ーティング分光器やグレーティング、プリズム分光器な
ど、分光分散光学系を２つ使用したり、長波長光カット
フィルタを光路に入れて迷光の除去を行なっているのが
現状であった。
発明が解決しようとする課題
上記に述べたように、単一の分光分散素子たとえばプリ
ズムやグレーティングを使用した分光器では、迷光が多
いため分光器を２台結合したダブルグレーティング分光
器やグレーティング、プリズム分光器など、分散光学系
を２つ使用したり、長波長光カットフィルタを光路に入
れて迷光の除去を行なっている。しかし、分光器を２台
結合したダブルグレーティング分光器やグレーティング
。
ズムやグレーティングを使用した分光器では、迷光が多
いため分光器を２台結合したダブルグレーティング分光
器やグレーティング、プリズム分光器など、分散光学系
を２つ使用したり、長波長光カットフィルタを光路に入
れて迷光の除去を行なっている。しかし、分光器を２台
結合したダブルグレーティング分光器やグレーティング
。
プリズム分光器などでは、２つの分光分散光学系の波長
設定を一致させ、かつ同時に波長走査を行なわなければ
ならず、波長走査機構が複雑になりかつ高精度を要求さ
れるという問題点があった。
設定を一致させ、かつ同時に波長走査を行なわなければ
ならず、波長走査機構が複雑になりかつ高精度を要求さ
れるという問題点があった。
また、長波長光カットフィルタなどのフィルタを分光器
と併用した場合、測定波長範囲が限定されるため何枚も
フィルタをさしかえなければならず測定が繁雑になる。
と併用した場合、測定波長範囲が限定されるため何枚も
フィルタをさしかえなければならず測定が繁雑になる。
課題を解決するための手段
第一の発明に係る手段について示す。分光測定しようと
する光を、分光器の入射スリットに導き、コリメータ光
学系で、前記入射スリットを通った光束を平行光束に変
換して分光分散素子（回折格子など）に導く。前記分光
分散素子から得られる単色光を光チ日ツバなどで変調し
、フォカシング光学系で出射スリットに結像し、出射ス
リットから出てくる光を受光器で検出し、同期検波回路
（ロックイン・アンプなど）で前記光チョッパによる光
変調に同期して検出することにより、分光器から得られ
る光のうち変調された単色光のみを検出して、迷光成分
を除去した分光分布測定を実現する。
する光を、分光器の入射スリットに導き、コリメータ光
学系で、前記入射スリットを通った光束を平行光束に変
換して分光分散素子（回折格子など）に導く。前記分光
分散素子から得られる単色光を光チ日ツバなどで変調し
、フォカシング光学系で出射スリットに結像し、出射ス
リットから出てくる光を受光器で検出し、同期検波回路
（ロックイン・アンプなど）で前記光チョッパによる光
変調に同期して検出することにより、分光器から得られ
る光のうち変調された単色光のみを検出して、迷光成分
を除去した分光分布測定を実現する。
第二の発明に係る手段について示す。分光測定しようと
する光を、分光器の入射スリットに導き、第一のコリメ
ータ光学系で、前記入射スリットを通った光束を平行光
束に変換して分光分散素子（回折格子など）に導く。前
記分光分散素子から得られる単色光を、第一のフォカシ
ング光学系で出射スリットに結像し、出射スリットから
得られる単色光束を光学系で光チョッパに導き変調する
。
する光を、分光器の入射スリットに導き、第一のコリメ
ータ光学系で、前記入射スリットを通った光束を平行光
束に変換して分光分散素子（回折格子など）に導く。前
記分光分散素子から得られる単色光を、第一のフォカシ
ング光学系で出射スリットに結像し、出射スリットから
得られる単色光束を光学系で光チョッパに導き変調する
。
変調された単色光束を第二の入射スリットに光学系で導
き、前記第二の入射スリットを通った光束を第二のコリ
メータ光学系で平行光束に変換して前記分光分散素子に
導く。このとき分光分散素子への平行光束の入射角およ
び単色光の出射角条件を、前記第一のコリメータ光学系
と前記第一のフォカシング光学系による分光分散素子へ
の平行光束の入射角および単色光の出射角条件と同じに
なるように設定する。前記分光分散素子で再度分光分散
された単色光を第二のフォカシング光学系により、第二
の出射スリットに結像する。前記第二の出射スリットか
ら出てくる光を受光器で検出し、同期検波回路（ロック
イン舎アンプなど）で前記光チ日ツバによる光変調に同
期して検出することにより、分光器から得られる光のう
ち変調された単色光のみを検出することができ、迷光を
除去し、波長純度を向上しフレアの少ない分光分布測定
を実現する。
き、前記第二の入射スリットを通った光束を第二のコリ
メータ光学系で平行光束に変換して前記分光分散素子に
導く。このとき分光分散素子への平行光束の入射角およ
び単色光の出射角条件を、前記第一のコリメータ光学系
と前記第一のフォカシング光学系による分光分散素子へ
の平行光束の入射角および単色光の出射角条件と同じに
なるように設定する。前記分光分散素子で再度分光分散
された単色光を第二のフォカシング光学系により、第二
の出射スリットに結像する。前記第二の出射スリットか
ら出てくる光を受光器で検出し、同期検波回路（ロック
イン舎アンプなど）で前記光チ日ツバによる光変調に同
期して検出することにより、分光器から得られる光のう
ち変調された単色光のみを検出することができ、迷光を
除去し、波長純度を向上しフレアの少ない分光分布測定
を実現する。
作用
上記の手段によって、分光分散素子から得られる単色光
を光チ日ツバなどで変調し、出射スリットから出てくる
光を受光器で検出し、同期検波回路（ロックイン・アン
プなど）で前記光チョッパによる光変調に同期して検出
することにより、分光器から得られる光のうち変調され
た単色光のみを検出して、迷光成分を除去した分光分布
測定を実現する。
を光チ日ツバなどで変調し、出射スリットから出てくる
光を受光器で検出し、同期検波回路（ロックイン・アン
プなど）で前記光チョッパによる光変調に同期して検出
することにより、分光器から得られる光のうち変調され
た単色光のみを検出して、迷光成分を除去した分光分布
測定を実現する。
第二の発明に係る手段では、上記の作用に加えて次のよ
うな作用がある。入射した光束を分光分散するときの回
折格子の回転角度と出射スリットから再び入射した光束
を分光分散するときの回折格子の回転角度が必ず一致す
ることから、両者の分光波長は一致する。したがって、
２つの分光分散素子を使用した分光器の場合のように、
２つの分光分散光学系の設定波長□を一致させるための
複雑なメカニズムや精密な調整を必要としない。したが
って単一の分光分散素子で構成される分光器を使って、
２つの分光分散素子を使用した分光器の場合と同様に迷
光が少なく波長純度の高い単色光が得られる。
うな作用がある。入射した光束を分光分散するときの回
折格子の回転角度と出射スリットから再び入射した光束
を分光分散するときの回折格子の回転角度が必ず一致す
ることから、両者の分光波長は一致する。したがって、
２つの分光分散素子を使用した分光器の場合のように、
２つの分光分散光学系の設定波長□を一致させるための
複雑なメカニズムや精密な調整を必要としない。したが
って単一の分光分散素子で構成される分光器を使って、
２つの分光分散素子を使用した分光器の場合と同様に迷
光が少なく波長純度の高い単色光が得られる。
ム実施例
第一の発明の一実施例を図面を使って説明する。
第１図に、ツエルニターナ型シングル回折格子分光器を
使用したものに関して、それを使用して光源の分光分布
を測定する場合について示す。
使用したものに関して、それを使用して光源の分光分布
を測定する場合について示す。
図において、１は測定しようとする光源である。
光源１からの光束を、積分球２によって光源１の配光や
形状によって生じる照度むらをなくシ、分光器の入射ス
リット３に導く。入射スリット３から導入された光束は
、第１の平面ミラー４によってコリメータミラー５に入
射し平行光束となって回折格子６に入射する。前記回折
格子６によって分光分散されフォカシングミラー７の方
向に出射したある波長の単色光は、前記回折格子６と前
記フォカシングミラー７との間の光路上で、光チａツバ
８で変調する。変調された単色光は、前記フォカシング
ミラー７によって第２の平面ミラー９を介して出射スリ
ット１０上に結像される。前記出射スリット１０を通っ
た光束は、光検出器１１で検出され前置増幅器１２を経
て、ロックインアンプ１３４により、前記光チジッパ８
による光変調に同期して検出する。これにより分光器か
ら得られる光のうち変調された単色光のみを検出して、
迷光成分を除去した分光分布測定を実現する。
形状によって生じる照度むらをなくシ、分光器の入射ス
リット３に導く。入射スリット３から導入された光束は
、第１の平面ミラー４によってコリメータミラー５に入
射し平行光束となって回折格子６に入射する。前記回折
格子６によって分光分散されフォカシングミラー７の方
向に出射したある波長の単色光は、前記回折格子６と前
記フォカシングミラー７との間の光路上で、光チａツバ
８で変調する。変調された単色光は、前記フォカシング
ミラー７によって第２の平面ミラー９を介して出射スリ
ット１０上に結像される。前記出射スリット１０を通っ
た光束は、光検出器１１で検出され前置増幅器１２を経
て、ロックインアンプ１３４により、前記光チジッパ８
による光変調に同期して検出する。これにより分光器か
ら得られる光のうち変調された単色光のみを検出して、
迷光成分を除去した分光分布測定を実現する。
次に、第二の発明の一実施例を図面を使って説明する。
第２図に、ツエルニターナ型シングルグレーティング分
光器を使用したものに関して、それを使用して光源の分
光分布を測定する場合について示す。
光器を使用したものに関して、それを使用して光源の分
光分布を測定する場合について示す。
図において、１は測定しようとする光源である。
光源１４からの光束を、積分球１５によって光源１４の
配光や形状によって生じる照度むらをなくし、分光器１
５の第１の入射スリット１６に導く。
配光や形状によって生じる照度むらをなくし、分光器１
５の第１の入射スリット１６に導く。
第１の入射スリット１６から導入された光束は、第１の
平面ミラー１７によ・うて第１のコリメータミラー１８
に入射し平行光束となって回折格子１９に入射する。前
記回折格子１９によって分光分散され第１のフォカシン
グミラー２０の方向に出射したある波長の単色光は、前
記第１のフォカシングミラー２０によって第２の平面ミ
ラー２１を介して第１の出射スリット２２上に結像され
る。
平面ミラー１７によ・うて第１のコリメータミラー１８
に入射し平行光束となって回折格子１９に入射する。前
記回折格子１９によって分光分散され第１のフォカシン
グミラー２０の方向に出射したある波長の単色光は、前
記第１のフォカシングミラー２０によって第２の平面ミ
ラー２１を介して第１の出射スリット２２上に結像され
る。
前記第１の出射スリット２２を通った単色光束は、前記
第１の出射スリット２２上に焦点のある第１の凹面鏡２
３によって平行光束となり第２の入射スリット２４上に
焦点を持つ第２の凹面鏡２５に導かれる。前記第１の凹
面鏡２３と前記第２の凹面鏡２５との間の光路上で、光
チＢツバ２８で変調する。変調された単色光束は、前記
第２の凹面鏡２５により前記第２の入射スリット２４上
に結像され、第３の平面ミラー２７を介して第２のコリ
メータミラー２８に導かれる。前記第２のコリメータミ
ラー２８は、導入された単色光束を平行光束に変換して
前記回折格子１９に導く。前記回折格子１９に導かれた
単色光束は、再度分光分散され、波長純度の高い単色光
束となって前記第２のフォカシングミラー２９に入射す
る。そして前記第２のフォカシングミラー２９によって
第４の平面ミラー３０を介して第２の出射スリット３１
上に結像される。
第１の出射スリット２２上に焦点のある第１の凹面鏡２
３によって平行光束となり第２の入射スリット２４上に
焦点を持つ第２の凹面鏡２５に導かれる。前記第１の凹
面鏡２３と前記第２の凹面鏡２５との間の光路上で、光
チＢツバ２８で変調する。変調された単色光束は、前記
第２の凹面鏡２５により前記第２の入射スリット２４上
に結像され、第３の平面ミラー２７を介して第２のコリ
メータミラー２８に導かれる。前記第２のコリメータミ
ラー２８は、導入された単色光束を平行光束に変換して
前記回折格子１９に導く。前記回折格子１９に導かれた
単色光束は、再度分光分散され、波長純度の高い単色光
束となって前記第２のフォカシングミラー２９に入射す
る。そして前記第２のフォカシングミラー２９によって
第４の平面ミラー３０を介して第２の出射スリット３１
上に結像される。
このとき回折格子１９への平行光束の入射角および単色
光の出射角条件を、前記第１のコリメータミラー１８と
前記第１のフォカシングミラー２０による回折格子１９
への平行光束の入射角および単色光の出射角条件と同じ
になるように設定する。この場合、二つの分光分散の光
路を含む平面ができる。第１の平面は、前記第１の入射
スリット１６から前記第１のクリメータミラー１８、前
記回折格子１９、前記第１のフォカシングミラー２０、
前記第２の出射スリット２２から形成される第１の分光
分散の光路を含む平面である。そして第２の平面は、前
記第２の入射スリット２４から前記第２のコリメータミ
ラー２８、前記回折格子１９、前記第２のフォカシング
ミラー２９、前記第２の出射スリット３１から形成され
る第２の分光分散の光路を含む平面である。このふたつ
の平面上の光路は、回折格子１９の格子面に平行な線上
にある、前記第１の出射スリット２２および前記第２の
入射スリット２４で結ばれる。また、ふたつの平面は、
両者が交差してできる直線上に、回折格子１９が位置す
るようになっている。
光の出射角条件を、前記第１のコリメータミラー１８と
前記第１のフォカシングミラー２０による回折格子１９
への平行光束の入射角および単色光の出射角条件と同じ
になるように設定する。この場合、二つの分光分散の光
路を含む平面ができる。第１の平面は、前記第１の入射
スリット１６から前記第１のクリメータミラー１８、前
記回折格子１９、前記第１のフォカシングミラー２０、
前記第２の出射スリット２２から形成される第１の分光
分散の光路を含む平面である。そして第２の平面は、前
記第２の入射スリット２４から前記第２のコリメータミ
ラー２８、前記回折格子１９、前記第２のフォカシング
ミラー２９、前記第２の出射スリット３１から形成され
る第２の分光分散の光路を含む平面である。このふたつ
の平面上の光路は、回折格子１９の格子面に平行な線上
にある、前記第１の出射スリット２２および前記第２の
入射スリット２４で結ばれる。また、ふたつの平面は、
両者が交差してできる直線上に、回折格子１９が位置す
るようになっている。
これによって、回折格子１９への平行光束の入射角およ
び単色光の出射角条件を、光路を共有することなく、前
記第１のコリメータミラー１８と前記第１のフォカシン
グミラー２０による回折格子１９への平行光束の入射角
および単色光の出射角条件と同じにすることができる。
び単色光の出射角条件を、光路を共有することなく、前
記第１のコリメータミラー１８と前記第１のフォカシン
グミラー２０による回折格子１９への平行光束の入射角
および単色光の出射角条件と同じにすることができる。
前記第二の出射スリット３１から出てくる単色光を受光
器３２で検出し、前置増幅器３３を通してロックイン・
アンプ（同期検波回路など）３４で前記光チョッパ２６
による光変調に同期して検出することにより、分光器か
ら得られる光のうち変調された単色光のみを検出するこ
とができ、迷光を除去し、波長純度を向上しフレアの少
ない分光分布測定を実現する。
器３２で検出し、前置増幅器３３を通してロックイン・
アンプ（同期検波回路など）３４で前記光チョッパ２６
による光変調に同期して検出することにより、分光器か
ら得られる光のうち変調された単色光のみを検出するこ
とができ、迷光を除去し、波長純度を向上しフレアの少
ない分光分布測定を実現する。
この場合、入射した光束を分光分散するときの回折格子
１９の回転角度と第２の入射スリットから再び入射した
光束を分光分散するときの回折格子１９の回転角度が必
ず一致するこきから、両者の分光波長は一致する。した
がって、２つの分光分散素子を使用したモノクロメータ
の場合のように、２つの分光分散光学系の設定波長を一
致させるための複雑なメカニズムや精密な調整を必要と
しない。
１９の回転角度と第２の入射スリットから再び入射した
光束を分光分散するときの回折格子１９の回転角度が必
ず一致するこきから、両者の分光波長は一致する。した
がって、２つの分光分散素子を使用したモノクロメータ
の場合のように、２つの分光分散光学系の設定波長を一
致させるための複雑なメカニズムや精密な調整を必要と
しない。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明の構成によって、分光分
散素子から得られる単色光を光チＢ ツバなどで変調し
、出射スリットから出てくる光を受光器で検出し、同期
検波回路（ロックイン・アンプなど）で前記光チョッパ
による光変調に同期して検出することにより、分光器か
ら得られる光のうち変調された単色光のみを検出して、
迷光成分を除去した分光分布測定を実現する。
散素子から得られる単色光を光チＢ ツバなどで変調し
、出射スリットから出てくる光を受光器で検出し、同期
検波回路（ロックイン・アンプなど）で前記光チョッパ
による光変調に同期して検出することにより、分光器か
ら得られる光のうち変調された単色光のみを検出して、
迷光成分を除去した分光分布測定を実現する。
第二の発明の手段では、上記の効果に加えて次のような
作用がある。入射した光束を分光分散するときの回折格
子の回転角度と出射スリットから再び入射した光束を分
光分散するときの回折格子の回転角度が必ず一致するこ
とから、両者の分光波長は一致する。したがって、２つ
の分光分散素子を使用した分光器の場合のように、２つ
の分光分散光学系の設定波長を一致させるための複雑な
メカニズムや精密な調整を必要としない。したがって単
一の分光分散素子で構成される分光器を使って、２つの
分光分散素子を使用した分光器の場合と同様に迷光が少
なく波長純度の高い単色光が得られる。
作用がある。入射した光束を分光分散するときの回折格
子の回転角度と出射スリットから再び入射した光束を分
光分散するときの回折格子の回転角度が必ず一致するこ
とから、両者の分光波長は一致する。したがって、２つ
の分光分散素子を使用した分光器の場合のように、２つ
の分光分散光学系の設定波長を一致させるための複雑な
メカニズムや精密な調整を必要としない。したがって単
一の分光分散素子で構成される分光器を使って、２つの
分光分散素子を使用した分光器の場合と同様に迷光が少
なく波長純度の高い単色光が得られる。
第１図は第一の発明の一実施例であるツエルニターナ型
シングル回折格子分光器を使用したちの二の発明の一実
施例であるツエルニターナ型シンべｔ、９゜ 陰ボした←舎である。 ｌ１２．光源、２．、、積分球、３０９．入射スリット
、４゜０．第１の平面ミラー ５１１．コリメータミラ
ー 〇。 ０１回折格子、７００．フォーカシングミラー ８６０
．光チａツバ、９．、、第２の平面ミラー ｌＯｏ、出
射スリット、１１１．受光器、１２．、前置増幅器、＋
３．、ロックイン・アンプ、１４０．光源、１５１．積
分球、ｔｅ、、第１の入射スリット、＋７．、第１の平
面ミラー １８１．第１のコリメータミラー １９１９
回折格子、２０１．第１のフォカシングミラー ２１１
．第２の平面ミラー２２１．第１の出射スリット、２３
１．第１の凹面鏡、２４０．第２の入射スリット、２５
１．第２の凹面鏡、２Ｂ、。 光チョッパ、２７．、第３の平面ミラー、２８．、第２
のコリメータミラー、２９．、第２のフォカシングミラ
ー３０１．第４の平面ミラー ３１１．第２の出射スリ
ット、３２５．受光器、３３．、前置増幅器、３４．、
ロックイン・アンプ。
シングル回折格子分光器を使用したちの二の発明の一実
施例であるツエルニターナ型シンべｔ、９゜ 陰ボした←舎である。 ｌ１２．光源、２．、、積分球、３０９．入射スリット
、４゜０．第１の平面ミラー ５１１．コリメータミラ
ー 〇。 ０１回折格子、７００．フォーカシングミラー ８６０
．光チａツバ、９．、、第２の平面ミラー ｌＯｏ、出
射スリット、１１１．受光器、１２．、前置増幅器、＋
３．、ロックイン・アンプ、１４０．光源、１５１．積
分球、ｔｅ、、第１の入射スリット、＋７．、第１の平
面ミラー １８１．第１のコリメータミラー １９１９
回折格子、２０１．第１のフォカシングミラー ２１１
．第２の平面ミラー２２１．第１の出射スリット、２３
１．第１の凹面鏡、２４０．第２の入射スリット、２５
１．第２の凹面鏡、２Ｂ、。 光チョッパ、２７．、第３の平面ミラー、２８．、第２
のコリメータミラー、２９．、第２のフォカシングミラ
ー３０１．第４の平面ミラー ３１１．第２の出射スリ
ット、３２５．受光器、３３．、前置増幅器、３４．、
ロックイン・アンプ。
Claims (2)
- （１）入射スリットと、前記入射スリットを通った光束
を平行光束に変換して分光分散素子に導くコリメータ光
学系と、入射した平行光束を分光分散する分光分散素子
と、前記分光分散素子から得られる単色光を変調する光
チョッパと、前記分光分散素子から得られる単色光を出
射スリットに結像するフォカシング光学系と、前記単色
光を、前記光チョッパによる光変調に同期して検出する
受光器および同期検波回路からなり、分光器の迷光を除
去し変調された単色光のみを検出して、入射光の分光分
布を測定する分光測光器。 - （２）入射スリットと、前記入射スリットを通った光束
を平行光束に変換して分光分散素子に導くコリメータ光
学系と、入射した平行光束を分光分散する分光分散素子
と、前記分光分散素子から得られる単色光を出射スリッ
トに結像するフォカシング光学系と、前記出射スリット
から得られる単色光束を光チョッパに導く光学系と、前
記単色光束を変調する光チョッパと、変調された単色光
束を第二の入射スリットに導く光学系と、前記第二の入
射スリットを通った光束を平行光束に変換して前記分光
分散素子に導く第二のコリメータ光学系と、前記分光分
散素子で再度分光分散された単色光を第二の出射スリッ
トに結像する第二のフォカシング光学系と、前記第二の
出射スリットからの単色光を前記光チョッパによる光変
調に同期して検出する受光器および同期検波回路からな
り、分光器の迷光を除去し変調された単色光のみを検出
して、波長純度が高く迷光の少ない単色光を検出して、
入射光の分光分布を測定する分光測光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63296509A JPH02141630A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | 分光測光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63296509A JPH02141630A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | 分光測光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02141630A true JPH02141630A (ja) | 1990-05-31 |
Family
ID=17834461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63296509A Pending JPH02141630A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | 分光測光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02141630A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5497230A (en) * | 1993-11-04 | 1996-03-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Spectroradiometer |
| WO2014108311A1 (en) | 2013-01-10 | 2014-07-17 | Elias Kristensson | Spectrometry system and method for determining a stray-light induced intensity offset in a spectrum |
-
1988
- 1988-11-24 JP JP63296509A patent/JPH02141630A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5497230A (en) * | 1993-11-04 | 1996-03-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Spectroradiometer |
| WO2014108311A1 (en) | 2013-01-10 | 2014-07-17 | Elias Kristensson | Spectrometry system and method for determining a stray-light induced intensity offset in a spectrum |
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