JPH02141973A - 情報記録再生装置の管理方法 - Google Patents
情報記録再生装置の管理方法Info
- Publication number
- JPH02141973A JPH02141973A JP29577588A JP29577588A JPH02141973A JP H02141973 A JPH02141973 A JP H02141973A JP 29577588 A JP29577588 A JP 29577588A JP 29577588 A JP29577588 A JP 29577588A JP H02141973 A JPH02141973 A JP H02141973A
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- Japan
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- sectors
- information recording
- probability
- track
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、セクタ構造の情報記録領域を有する記録ディ
スクに対して情報の記録または再生を行なう情報記録再
生装置に関するものである。
スクに対して情報の記録または再生を行なう情報記録再
生装置に関するものである。
［従来の技術］
一般に、光ディスクでは、記録トラックが同心円状また
はスパイラル状に設けられるとともに、可変長データを
記録することや、アクセスの高速化の点から、各トラッ
クを複数のセクタに分割し、このセクタ単位で光学的記
録再生を行なうようになっている。
はスパイラル状に設けられるとともに、可変長データを
記録することや、アクセスの高速化の点から、各トラッ
クを複数のセクタに分割し、このセクタ単位で光学的記
録再生を行なうようになっている。
そして、このような光ディスクを媒体とする情報記録再
生装置においては、半導体レーザから出射されたレーザ
光を光デイスク上の記録層上に集光し、この記録層に穴
を開けたり、反射率や透過率を変化させるようにして記
録ピットを形成することにより、情報の記録を行なう。
生装置においては、半導体レーザから出射されたレーザ
光を光デイスク上の記録層上に集光し、この記録層に穴
を開けたり、反射率や透過率を変化させるようにして記
録ピットを形成することにより、情報の記録を行なう。
このような情報記録再生装置において、データを記録す
る形態として、記録トラック上に角速度一定で記録ピッ
トを形成するＣＡＶ方式と、線速度一定で記録ピットを
形成するＣＬＶ方式とがある。
る形態として、記録トラック上に角速度一定で記録ピッ
トを形成するＣＡＶ方式と、線速度一定で記録ピットを
形成するＣＬＶ方式とがある。
ＣＡＶ方式では、角速度一定で記録を行なうため、ディ
スクの内周部に比べて外周部側の記録密度が低く、記録
容量の効率的利用という点で、ＣＬＶ方式より劣ってい
る。
スクの内周部に比べて外周部側の記録密度が低く、記録
容量の効率的利用という点で、ＣＬＶ方式より劣ってい
る。
一方、ＣＬＶ方式では、セクタが放射状にならないこと
、および記録位置によって回転数が異ることにより、ア
クセスの時間が長くなる欠点を有している。
、および記録位置によって回転数が異ることにより、ア
クセスの時間が長くなる欠点を有している。
そこで、たとえば特開昭５９−１６７８７４号公報等に
おいて、ＣＡＶ方式のアクセスが容易な点と、ＣＬＶ方
式の記録密度に優れている点の双方を兼備えたＭＣＡＶ
方式が提案されている。
おいて、ＣＡＶ方式のアクセスが容易な点と、ＣＬＶ方
式の記録密度に優れている点の双方を兼備えたＭＣＡＶ
方式が提案されている。
すなわち、このＭＣＡＶ方式は、ディスクを径方向に分
割して複数のゾーンに区分し、外周方向に行くほど回転
数を下げて記録することにより、ＣＡＶ方式の欠点であ
った外周に行くほど記録密度が低くなる点を改善したも
のである。
割して複数のゾーンに区分し、外周方向に行くほど回転
数を下げて記録することにより、ＣＡＶ方式の欠点であ
った外周に行くほど記録密度が低くなる点を改善したも
のである。
また、これと同様の効果を有するＭＣＡＶ方式として、
内外周の回転数は一定にしておき、外周方向に行くほど
記録再生周波数を上げて記録を行なう方式も提案されて
いる。
内外周の回転数は一定にしておき、外周方向に行くほど
記録再生周波数を上げて記録を行なう方式も提案されて
いる。
ところで、ディスク上の欠陥が記録再生の際に種々の悪
影響を及ぼす場合がある。たとえば、情報の記録再生動
作におけるセクタＩＤ部の検出ミスを起したり、情報再
生中にトラッキングエラー（ＡＴはずれ）を引き起こす
ことにより、正常な情報の記録再生動作が不完全な状態
で中断したり、さらには情報記録再生装置が有するエラ
ー制御機能の能力を超えたエラーを引き起こすこともあ
る。
影響を及ぼす場合がある。たとえば、情報の記録再生動
作におけるセクタＩＤ部の検出ミスを起したり、情報再
生中にトラッキングエラー（ＡＴはずれ）を引き起こす
ことにより、正常な情報の記録再生動作が不完全な状態
で中断したり、さらには情報記録再生装置が有するエラ
ー制御機能の能力を超えたエラーを引き起こすこともあ
る。
そこで、このようなエラーをなくすため、ディスクの出
荷前に、全てのディスクについて、その全記録面に渡っ
て完全に欠陥を検出する検査を行うことも考えられるが
、コスト的に不利という問題がある。また１通常の光デ
ィスクのように追記型の記録媒体においては、−度記録
した情報を原理的には消去できないことから、欠陥検出
用のデータを記録して上述のような出荷前の検査を行う
ことはできない。
荷前に、全てのディスクについて、その全記録面に渡っ
て完全に欠陥を検出する検査を行うことも考えられるが
、コスト的に不利という問題がある。また１通常の光デ
ィスクのように追記型の記録媒体においては、−度記録
した情報を原理的には消去できないことから、欠陥検出
用のデータを記録して上述のような出荷前の検査を行う
ことはできない。
したがって、このようなディスク上の欠陥を論理的に回
避するため、代替処理方式が必須となっている。
避するため、代替処理方式が必須となっている。
すなわち、この代替処理方式は、実際に記録動作を行っ
た後に、即座に再生動作もしくは、エラーチエツク動作
を行い、不良箇所が検出された時には、所定の交換ブロ
ックに書き換えるものである。そして一般に、光ディス
クにおける代替処理では、光デイスク上のデータフォー
マットに従って、セクタ、トラック等を記録再生単位と
して、不良箇所の数等、欠陥の程度に対応する各段階に
階層化し、各段階で設定された記録品質の基準を満たし
得ないものを、予め用意された交換ブロックに切り換え
るものである。
た後に、即座に再生動作もしくは、エラーチエツク動作
を行い、不良箇所が検出された時には、所定の交換ブロ
ックに書き換えるものである。そして一般に、光ディス
クにおける代替処理では、光デイスク上のデータフォー
マットに従って、セクタ、トラック等を記録再生単位と
して、不良箇所の数等、欠陥の程度に対応する各段階に
階層化し、各段階で設定された記録品質の基準を満たし
得ないものを、予め用意された交換ブロックに切り換え
るものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、複数セクタからなるトラック内に１つの
交換セクタが用意されているような構成では、１）ラッ
クのデータ数が各ゾーンで異るため、１トラックの欠陥
救済確率は、外周側のゾーンはど低くなってしまう欠点
があった。
交換セクタが用意されているような構成では、１）ラッ
クのデータ数が各ゾーンで異るため、１トラックの欠陥
救済確率は、外周側のゾーンはど低くなってしまう欠点
があった。
本発明は、ＭＣＡＶ方式によって情報の記録再生を行う
場合に、外周側のゾーンの欠陥救済確率を高めることに
より、全体としての欠陥救済確率を向上することができ
る情報記録再生装置を提供することを目的とする。
場合に、外周側のゾーンの欠陥救済確率を高めることに
より、全体としての欠陥救済確率を向上することができ
る情報記録再生装置を提供することを目的とする。
［課題を解決する手段］
本発明は、記録ディスクを径方向に分割して複数のゾー
ンに区画し、外周側のゾーンに行くほど回転数を下げて
記録を行なうＭＣＡＶ方式の情報記録再生装置において
、所定数のセクタをひとまとまりとして１論理トラック
を構成することを特徴とする。
ンに区画し、外周側のゾーンに行くほど回転数を下げて
記録を行なうＭＣＡＶ方式の情報記録再生装置において
、所定数のセクタをひとまとまりとして１論理トラック
を構成することを特徴とする。
また本発明は、記録ディスクを径方向に分割して複数の
ゾーンに区画し、外周側のゾーンに行くほど記録再生周
波数を上げて記録を行なうＭＣＡＶ方式の情報記録再生
装置において、所定数のセクタをひとまとまりとしてｌ
論理トラックを構成することを特徴とする。
ゾーンに区画し、外周側のゾーンに行くほど記録再生周
波数を上げて記録を行なうＭＣＡＶ方式の情報記録再生
装置において、所定数のセクタをひとまとまりとしてｌ
論理トラックを構成することを特徴とする。
［作用］
本発明では、ＭＣＡＶ方式の情報記録再生装置において
、所定数のセクタをひきまとまりとして１論理トラック
を構成することから、各論理トラック毎に行われる代替
処理の欠陥救済確率が均一化される。したがって、情報
の記録再生を行う場合に、外周側のゾーンの欠陥救済確
率を高めることができ、全体としての欠陥救済確率を向
上することができる。
、所定数のセクタをひきまとまりとして１論理トラック
を構成することから、各論理トラック毎に行われる代替
処理の欠陥救済確率が均一化される。したがって、情報
の記録再生を行う場合に、外周側のゾーンの欠陥救済確
率を高めることができ、全体としての欠陥救済確率を向
上することができる。
［実施例コ
第１図は１本発明の一実施例を示すブロック図である。
この実施例の情報記録再生装置１は、光ディスクを記録
媒体とするものであり、ＳＣ３Ｉアダプタ１２．ＭＰＵ
１３、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１５゜ＥＣＣ回路１６．Ｉ１
０制御部１７．リード／ライト部１８を有している。ま
た、この情報記録再生装置ｌは、ホストコンピュータ１
１によって制御される。
媒体とするものであり、ＳＣ３Ｉアダプタ１２．ＭＰＵ
１３、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１５゜ＥＣＣ回路１６．Ｉ１
０制御部１７．リード／ライト部１８を有している。ま
た、この情報記録再生装置ｌは、ホストコンピュータ１
１によって制御される。
ＭＰＵ１３は、ＲＯＭ１４内のプログラムに基き、この
情報記録再生装置１を全体的に制御するとともに、光デ
イスク上で発生した不良セクタの代替処理等を行うもの
である。
情報記録再生装置１を全体的に制御するとともに、光デ
イスク上で発生した不良セクタの代替処理等を行うもの
である。
また、ＥＣＣ回路１６は、光ディスクに情報を記録した
際に、不良セクタを検出するためのチエツクを行うもの
である。
際に、不良セクタを検出するためのチエツクを行うもの
である。
さらに、リード／ライト部１８は、光ディスクに対して
情報に記録および再生を行うものであり、光ディスクの
回転制御部、光ピツクアップ装置の駆動制御部および記
録／再生信号の処理回路等を有している。
情報に記録および再生を行うものであり、光ディスクの
回転制御部、光ピツクアップ装置の駆動制御部および記
録／再生信号の処理回路等を有している。
この実施例では、光ディスクの記録領域を径方向に分割
して環状に複数のゾーンを形成し、内周側のゾーンから
外周側のゾーンに行くほど回転数を下げて記録を行なう
ＭＣＡＶ方式を採用している。
して環状に複数のゾーンを形成し、内周側のゾーンから
外周側のゾーンに行くほど回転数を下げて記録を行なう
ＭＣＡＶ方式を採用している。
第２図は、この情報記録再生装置における光ディスクの
物理トラック２の構成を示す模式図である。
物理トラック２の構成を示す模式図である。
この第２図では、３つのゾーン１Ｏ１２０，３０を示し
ている。そして、一番内側のゾーン１０は、１物理トラ
ック２ａに１０のセクタ３を有し、２番目のゾーン２０
は、１物理トラック２ｂに１１のセクタ３を有し、さら
に一番外側のゾーン３０は、ｌ物理トラック２ｃに１２
のセクタ３を有している。
ている。そして、一番内側のゾーン１０は、１物理トラ
ック２ａに１０のセクタ３を有し、２番目のゾーン２０
は、１物理トラック２ｂに１１のセクタ３を有し、さら
に一番外側のゾーン３０は、ｌ物理トラック２ｃに１２
のセクタ３を有している。
また、代替処理を行うための交換セクタ３ａ（第２図中
斜線部）は、各ゾーンで共通に１０セクタ毎に１セクタ
ずつ割当てられている。したがって、１物理トラックが
１０セクタのゾーン１０では、各物理トラック２ａの１
０番目のセクタ３が交換セクタ３ａとして確保される。
斜線部）は、各ゾーンで共通に１０セクタ毎に１セクタ
ずつ割当てられている。したがって、１物理トラックが
１０セクタのゾーン１０では、各物理トラック２ａの１
０番目のセクタ３が交換セクタ３ａとして確保される。
また、１物理トラックが１１セクタのゾーン２０では、
このゾーン２０の最内周物理トラック２ｂでは１０番目
のセクタ３が交換セクタ３ａとなるが、その外側の物理
トラック２ｂでは９番目のセクタ３が交換セクタ３ａと
なり、さらにその外側の物理トラック２ｂでは８番目の
セクタ３が交換セクタ３ａとなるといように、交換セク
タ３ａの周回り方向の物理位置が、ｌ物理トラック毎に
１セクタずつずれたものとなる。また、ゾーン３０にお
いては、ｌ物理トラック２Ｃのセクタ数がゾーン２０よ
り１つ多いので、交換セクタ３ａは、ｌ物理トラック毎
２Ｃに、周回り方向に２セクタずつずれた位置に配置さ
れる。
このゾーン２０の最内周物理トラック２ｂでは１０番目
のセクタ３が交換セクタ３ａとなるが、その外側の物理
トラック２ｂでは９番目のセクタ３が交換セクタ３ａと
なり、さらにその外側の物理トラック２ｂでは８番目の
セクタ３が交換セクタ３ａとなるといように、交換セク
タ３ａの周回り方向の物理位置が、ｌ物理トラック毎に
１セクタずつずれたものとなる。また、ゾーン３０にお
いては、ｌ物理トラック２Ｃのセクタ数がゾーン２０よ
り１つ多いので、交換セクタ３ａは、ｌ物理トラック毎
２Ｃに、周回り方向に２セクタずつずれた位置に配置さ
れる。
そして、この実施例では、以上のように交換セクタ３ａ
を配置した物理トラック２から、ＩＯセクタで１論理ト
ラック４を構成する。
を配置した物理トラック２から、ＩＯセクタで１論理ト
ラック４を構成する。
第３図は、この論理トラック４の構成を示す模式図であ
る。
る。
この第３図から分かるように、上記第２図において、物
理トラック毎にずれて配置されていた外側のゾーン２０
．３０の交換セクタ３ａが、各論理トラック４では、内
側のゾーンｌＯの交換セクタ３ａと同様に、各論理トラ
ック４における１０番目の位置に整然と配置される。
理トラック毎にずれて配置されていた外側のゾーン２０
．３０の交換セクタ３ａが、各論理トラック４では、内
側のゾーンｌＯの交換セクタ３ａと同様に、各論理トラ
ック４における１０番目の位置に整然と配置される。
したがって、この交換セクタ３ａによる代替処理を管理
するためのソフトウェアの負担を大幅に軽減することが
できる。
するためのソフトウェアの負担を大幅に軽減することが
できる。
なお、本発明は１以上の実施例に限定されるものではな
い、たとえば、ｌ論理トラックのセクタ数を最内周ゾー
ン１０の物理トラックのセクタ数（１０セクタ）に一致
させたが、この限りではない、また、論理トラックをｌ
Ｏセクタとした時の交換セクタを１０番目に配置したが
、これを１番目にしてもよいし、５番目にしてもよい、
さらに本発明は、上記実施例のように光ディスクを記録
媒体とする情報記録再生装置に限らず、セクタ単位で記
録再生を行う他の情報記録媒体を使用した装置に適用し
得るものである。
い、たとえば、ｌ論理トラックのセクタ数を最内周ゾー
ン１０の物理トラックのセクタ数（１０セクタ）に一致
させたが、この限りではない、また、論理トラックをｌ
Ｏセクタとした時の交換セクタを１０番目に配置したが
、これを１番目にしてもよいし、５番目にしてもよい、
さらに本発明は、上記実施例のように光ディスクを記録
媒体とする情報記録再生装置に限らず、セクタ単位で記
録再生を行う他の情報記録媒体を使用した装置に適用し
得るものである。
［発明の効果］
本発明によれば、ＭＣＡＶ方式の情報記録再生装置にお
いて、所定数のセクタをひとまとまりとして１論理トラ
ックを構成することから、情報の記録再生を行う場合に
、外周側のゾーンの欠陥救済確率を改善することができ
、全体としての欠陥救済確率を向上することができる効
果がある。
いて、所定数のセクタをひとまとまりとして１論理トラ
ックを構成することから、情報の記録再生を行う場合に
、外周側のゾーンの欠陥救済確率を改善することができ
、全体としての欠陥救済確率を向上することができる効
果がある。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
第２図は、同実施例装置に用いられる光ディスクの物理
トラックの構成を示す模式図である。 第３図は、同実施例装置に用いられる光ディスクの論理
トラックの構成を示す模式図である。 ｌ・・・情報記録再生装置、 ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・物理トラック、３・・・セクタ
、 ３ａ・・・交換セクタ、 ４・・・論理トラック、 １０．２０．３０・・・ゾーン。 第１図
トラックの構成を示す模式図である。 第３図は、同実施例装置に用いられる光ディスクの論理
トラックの構成を示す模式図である。 ｌ・・・情報記録再生装置、 ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・物理トラック、３・・・セクタ
、 ３ａ・・・交換セクタ、 ４・・・論理トラック、 １０．２０．３０・・・ゾーン。 第１図
Claims (4)
- （１）記録ディスクを径方向に分割して複数のゾーンに
区画し、外周側のゾーンに行くほど回転数を下げて記録
を行なうＭＣＡＶ方式の情報記録再生装置において、 所定数のセクタをひとまとまりとして１論理トラックを
構成することを特徴とする情報記録再生装置。 - （２）記録ディスクを径方向に分割して複数のゾーンに
区画し、外周側のゾーンに行くほど記録再生周波数を上
げて記録を行なうＭＣＡＶ方式の情報記録再生装置にお
いて、 所定数のセクタをひとまとまりとして１論理トラックを
構成することを特徴とする情報記録再生装置。 - （３）請求項（１）または（２）において、上記１論理
トラックに交換セクタを配置したことを特徴とする情報
記録再生装置。 - （４）請求項（１）、（２）、（３）のうちの少なくと
も１項において、 上記１論理トラックのセクタ数を記録ディスクの内周部
ゾーンの１物理トラックのセクタ数に一致させたことを
特徴とする情報記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29577588A JP2651612B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 情報記録再生装置の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29577588A JP2651612B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 情報記録再生装置の管理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02141973A true JPH02141973A (ja) | 1990-05-31 |
| JP2651612B2 JP2651612B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=17825001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29577588A Expired - Fee Related JP2651612B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 情報記録再生装置の管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2651612B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5323380A (en) * | 1990-07-02 | 1994-06-21 | Hitachi, Ltd. | Information recording disc and system |
| WO1997036296A1 (en) * | 1996-03-25 | 1997-10-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for replacement for optical disc, and an optical disc |
| US6151292A (en) * | 1992-10-05 | 2000-11-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk having sequentially numbered sectors and logical tracks formed by a series of 2n sectors, and disk drive apparatus for using such an optical disk |
| US6529451B2 (en) | 1992-10-05 | 2003-03-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7548497B2 (en) | 1992-10-05 | 2009-06-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7566417B2 (en) | 2002-08-08 | 2009-07-28 | Kobe Steel, Ltd. | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP29577588A patent/JP2651612B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6853611B2 (en) | 1992-10-05 | 2005-02-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US6151292A (en) * | 1992-10-05 | 2000-11-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk having sequentially numbered sectors and logical tracks formed by a series of 2n sectors, and disk drive apparatus for using such an optical disk |
| US6229784B1 (en) | 1992-10-05 | 2001-05-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk having an attribute which designates whether a recording area permits rewriting or not |
| US6434099B1 (en) | 1992-10-05 | 2002-08-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk having an attribute which designates whether a recording area permits rewriting or not |
| US6526019B2 (en) | 1992-10-05 | 2003-02-25 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk having a recording area on each side and attribute data designating each recording area as rewriteable or not rewriteable |
| US6529451B2 (en) | 1992-10-05 | 2003-03-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US6633525B2 (en) | 1992-10-05 | 2003-10-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk having an attribute which designates whether a recording area permits rewriting or not |
| US6775220B2 (en) | 1992-10-05 | 2004-08-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7924693B2 (en) | 1992-10-05 | 2011-04-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US6834033B2 (en) | 1992-10-05 | 2004-12-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7207051B2 (en) | 1992-10-05 | 2007-04-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7164641B2 (en) | 1992-10-05 | 2007-01-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US6930965B2 (en) | 1992-10-05 | 2005-08-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7227815B2 (en) | 1992-10-05 | 2007-06-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7254104B2 (en) | 1992-10-05 | 2007-08-07 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| US7548497B2 (en) | 1992-10-05 | 2009-06-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical disk and optical disk drive device |
| WO1997036296A1 (en) * | 1996-03-25 | 1997-10-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for replacement for optical disc, and an optical disc |
| US7566417B2 (en) | 2002-08-08 | 2009-07-28 | Kobe Steel, Ltd. | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US7722942B2 (en) | 2002-08-08 | 2010-05-25 | Kobe Steel, Ltd. | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
| US7776420B2 (en) | 2002-08-08 | 2010-08-17 | Kobe Steel, Ltd. | Ag base alloy thin film and sputtering target for forming Ag base alloy thin film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2651612B2 (ja) | 1997-09-10 |
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